قائمة الويب

بحث منتوج

لغة

منتجات

كربيد السيليكون الصلب

يعتبر كربيد السيليكون الصلب VeTek لأشباه الموصلات مكونًا سيراميكيًا مهمًا في معدات حفر البلازما، وكربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) تشمل الأجزاء الموجودة في معدات الحفرحلقات التركيز، رأس دش غاز، صينية، حلقات حافة، إلخ. نظرًا لانخفاض تفاعل وتوصيل كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) إلى الكلور - وغازات الحفر المحتوية على الفلور، فهي مادة مثالية لمعدات حفر البلازما التي تركز على الحلقات وغيرها عناصر.


على سبيل المثال، تعد حلقة التركيز جزءًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة وعلى اتصال مباشر بالرقاقة، عن طريق تطبيق جهد كهربائي على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين انتظام يعالج. حلقة التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أوكوارتز، السيليكون الموصل كمواد حلقة التركيز الشائعة، فهو قريب تقريبًا من موصلية رقائق السيليكون، ولكن النقص هو ضعف مقاومة النقش في البلازما المحتوية على الفلور، غالبًا ما تستخدم مواد قطع غيار الآلات لفترة من الوقت، سيكون هناك خطورة ظاهرة التآكل، مما يقلل بشكل خطير من كفاءة الإنتاج.


Sحلقة التركيز SiC الصلبةمبدأ العمل：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


مقارنة بين حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز CVD SiC:

مقارنة حلقة التركيز المستندة إلى Si وحلقة التركيز الأمراض القلبية الوعائية كربيد
غرض و الأمراض القلبية الوعائية كربيد
الكثافة (جم / سم3) 2.33 3.21
فجوة النطاق (فولت) 1.12 2.3
الموصلية الحرارية (ث/سم°C) 1.5 5
سي تي إي (x10-6/ درجه مئوية) 2.6 4
معامل المرونة (GPa) 150 440
الصلابة (المعدل العالمي) 11.4 24.5
مقاومة التآكل والتآكل فقير ممتاز


تقدم شركة VeTek Semiconductor أجزاء متقدمة من كربيد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) مثل حلقات التركيز SiC لمعدات أشباه الموصلات. تتفوق حلقات التركيز المصنوعة من كربيد السيليكون الصلب على السيليكون التقليدي من حيث القوة الميكانيكية، والمقاومة الكيميائية، والتوصيل الحراري، والمتانة في درجات الحرارة العالية، ومقاومة الحفر الأيوني.


تتضمن الميزات الرئيسية لحلقات التركيز SiC الخاصة بنا:

كثافة عالية لتقليل معدلات الحفر.

عزل ممتاز مع فجوة نطاق عالية.

الموصلية الحرارية العالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض.

مقاومة الصدمات الميكانيكية الفائقة والمرونة.

صلابة عالية، مقاومة التآكل، ومقاومة التآكل.

تصنيعها باستخدامترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)التقنيات، فإن حلقات التركيز SiC الخاصة بنا تلبي المتطلبات المتزايدة لعمليات الحفر في تصنيع أشباه الموصلات. وهي مصممة لتحمل قوة وطاقة البلازما الأعلى، خاصة فيالبلازما المقترنة بالسعة (CCP)أنظمة.

توفر حلقات التركيز SiC من VeTek Semiconductor أداءً استثنائيًا وموثوقية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. اختر مكونات SiC الخاصة بنا للحصول على الجودة والكفاءة الفائقة.


View as  
 
ارتفاع نقاء الأمراض القلبية الوعائية كذا المواد الخام

ارتفاع نقاء الأمراض القلبية الوعائية كذا المواد الخام

تعتبر المواد الخام عالية النقاء CVD SIC التي أعدتها الأمراض القلبية الوعائية هي أفضل مصدر للمواد لنمو بلورة كربيد السيليكون عن طريق نقل البخار المادي. إن كثافة المواد الخام عالية النقاء CVD التي توفرها أشباه الموصلات النقش أعلى من الجسيمات الصغيرة التي تتكون من الاحتراق التلقائي للغازات SI والغازات المحتوية على C ، ولا تتطلب فرنًا مخصصًا للتلبيس وله معدل تبخر ثابت تقريبًا. يمكن أن تنمو بلورات واحدة عالية الجودة. نتطلع إلى استفسارك.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>
حامل رقاقة SIC الصلبة

حامل رقاقة SIC الصلبة

تم تصميم ناقل رقاقة SIC الصلب من أشباه الموصلات في VETEK لبيئات عالية من درجة الحرارة والمقاومة للتآكل في العمليات الفوقية أشباه الموصلات وهي مناسبة لجميع أنواع عمليات تصنيع الرقاقة مع متطلبات نقاء عالية. Vetek Semiconductor هو مورد Carier Carrier رائد في الصين ويتطلع إلى أن تصبح شريكك طويل الأجل في صناعة أشباه الموصلات.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>
رأس دش على شكل قرص صلب

رأس دش على شكل قرص صلب

Vetek Semiconductor هي الشركة الرائدة في مجال معدات أشباه الموصلات في الصين ومصنع محترف ومورد لرأس دش على شكل قرص SIC. يستخدم رأس الدش على شكل قرص على نطاق واسع في إنتاج ترسب الأفلام الرقيق مثل عملية CVD لضمان توزيع موحد لغاز التفاعل وهو أحد المكونات الأساسية لفرن CVD.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>
جزء الختم كذا

جزء الختم كذا

باعتبارها شركة تصنيع المنتج المتقدمة من المنتجات والمصنع في الصين. يعد Vetek Semicondicucto SiC Sealing جزءًا عالي الأداء مكونًا يستخدم على نطاق واسع في معالجة أشباه الموصلات وغيرها من عمليات ارتفاع درجة الحرارة المرتفعة والضغط العالي. مرحبًا بكم مزيد من الاستشارة.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>
رأس دش كربيد السيليكون

رأس دش كربيد السيليكون

يحتوي رأس دش كربيد السيليكون على تحمل درجات الحرارة العالي الممتاز ، والاستقرار الكيميائي ، والتوصيل الحراري ، وأداء توزيع الغاز الجيد ، والذي يمكن أن يحقق توزيع غاز موحد ويحسن جودة الفيلم. لذلك ، يتم استخدامه عادة في عمليات درجات الحرارة العالية مثل ترسب البخار الكيميائي (CVD) أو عمليات ترسب البخار الفيزيائي (PVD). مرحبًا بكم مزيد من الاستشارة إلينا ، فتيك أشباه الموصلات.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>
حلقة ختم كربيد السيليكون

حلقة ختم كربيد السيليكون

بصفتها شركة مصنّعة ومصنع لختم الختم من السيليكون المحترفين في الصين ، تستخدم حلقة ختم السيليكون في سيليكون سيليكون في فتيك على نطاق واسع في معدات معالجة أشباه الموصلات بسبب مقاومة الحرارة الممتازة ، ومقاومة التآكل ، والقوة الميكانيكية والموظف الحراري. إنه مناسب بشكل خاص للعمليات التي تنطوي على درجة حرارة عالية والغازات التفاعلية مثل CVD و PVD وحفر البلازما ، وهي اختيار مادة رئيسية في عملية تصنيع أشباه الموصلات. استفساراتك الإضافية موضع ترحيب.
عرض المزيد >> إرسال استفسار >>
بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كربيد السيليكون الصلب المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.
توصيات الأخبار
كربيد tantalum المسامي: جيل جديد من المواد لنمو الكريستال كذا
كربيد tantalum المسامي: جيل جديد من المواد لنمو الكريستال كذاعرض المزيد >>
ما هو طلاء Tantalum Carbide TAC؟ - Veteksemicon
ما هو طلاء Tantalum Carbide TAC؟ - Veteksemiconعرض المزيد >>
ما هي عملية epitaxy أشباه الموصلات؟
ما هي عملية epitaxy أشباه الموصلات؟عرض المزيد >>
أفضل 3 موردي المواد الكوارتز في العالم
أفضل 3 موردي المواد الكوارتز في العالمعرض المزيد >>
ما هو النمو الفوقي الذي يتحكم فيه الخطوة？
ما هو النمو الفوقي الذي يتحكم فيه الخطوة？عرض المزيد >>
ما هو الفرن الفوقي EPI؟ - فيتيك لأشباه الموصلات
ما هو الفرن الفوقي EPI؟ - فيتيك لأشباه الموصلاتعرض المزيد >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept