منتجات

كربيد السيليكون الصلب

تعتبر كربيد السيليكون الصلبة في الفيتوكية مكونًا مهمًا للسيراميك في معدات حفر البلازما ، كربيد السيليكون الصلب (CVD سيليكون كربيد) تشمل الأجزاء في معدات الحفرتركيز الخواتم، رأس دش الغاز ، صينية ، حلقات الحافة ، وما إلى ذلك بسبب انخفاض التفاعل والتوصيل لكربريد السيليكون الصلب (كربيد السيليكون CVD) إلى غازات الحفر الكلور - والفلور ، وهي مادة مثالية لمعدات حفر البلازما التي تركز حلقات ومكونات أخرى.


على سبيل المثال ، تعد حلقة التركيز جزءًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة والاتصال المباشر بالرقاقة ، من خلال تطبيق الجهد على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة ، وبالتالي تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين توحيد المعالجة. حلقة التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أوكوارتز، السيليكون الموصل كمواد حلقة مركّزة شائعة ، فهي قريبة تقريبًا من توصيل رقائق السيليكون ، ولكن النقص ضعيف مقاومة الحفر في البلازما المحتوية على الفلور ، وتقلل مواد أجزاء آلة الحفر غالبًا لفترة زمنية ، وسيكون هناك ظاهرة في تآكل خطيرة ، مما يقلل بشكل خطير من فعاليته في إنتاجه.


Sحلقة التركيز Olid sicمبدأ العمل

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


مقارنة بين حلقة التركيز القائمة على SI و CVD SIC RING :

مقارنة بين حلقة التركيز القائمة على SI و CVD SIC RING
غرض و CVD كذا
الكثافة (ز/سم3) 2.33 3.21
فجوة الفرقة (EV) 1.12 2.3
الموصلية الحرارية (ث/سم ℃) 1.5 5
CTE (X10-6/℃) 2.6 4
معامل مرن (GPA) 150 440
صلابة (GPA) 11.4 24.5
مقاومة التآكل والتآكل فقير ممتاز


تقدم أشباه الموصلات الفيتيكية كربيد السيليكون المتقدم (CVD CARBIDE) مثل حلقات التركيز على معدات أشباه الموصلات. يتفوق كربيد السيليكون الصلب الذي يركز على حلقات السيليكون التقليدي من حيث القوة الميكانيكية ، والمقاومة الكيميائية ، والتوصيل الحراري ، ومتانة درجة الحرارة العالية ، ومقاومة الحفر الأيوني.


تتضمن الميزات الرئيسية لخواتم التركيز الخاصة بنا SIC:

كثافة عالية لخفض معدلات الحفر.

عزل ممتاز مع فجوة النطاق العالي.

الموصلية الحرارية العالية ومعامل منخفض للتوسع الحراري.

مقاومة التأثير الميكانيكي المتفوق والمرونة.

صلابة عالية ، وارتداء المقاومة ، ومقاومة التآكل.

المصنعة باستخدامترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)التقنيات ، تلبي حلقات تركيزنا في SIC المتطلبات المتزايدة لعمليات الحفر في تصنيع أشباه الموصلات. وهي مصممة لتحمل طاقة البلازما المرتفعة والطاقة ، وتحديدا فيالبلازما المقترنة بالسعة (CCP)الأنظمة.

توفر حلقات التركيز على أشباه الموصلات في VETEK أداءً استثنائياً وموثوقية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. اختر مكونات SIC الخاصة بنا لجودة وكفاءة فائقة.


View as  
 
CVD SIC المغلفة رأس دش دش

CVD SIC المغلفة رأس دش دش

رأس دش الجرافيت المغطى بـ CVD SIC من Veteksemicon هو مكون عالي الأداء مصمم خصيصًا لعمليات ترسيب البخار الكيميائي شبه الموصل (CVD). تم تصنيع رأس كربيد السيليكون (SIC) ، المصنّع من طلاء كربيد السيليكون (SIC) ، الذي تم تصنيعه من طلاء كربيد السيليكون (CVD) للبخار. نتطلع إلى مشاورة أخرى.
حلقة حافة كذا

حلقة حافة كذا

تتميز حلقات SIC ذات الحافة العالية في PeteKsemicon ، المصممة خصيصًا لمعدات الحفر أشباه الموصلات ، ومقاومة تآكل متميزة واستقرار حراري ، مما يعزز العائد بشكل كبير على الرقاقة
ارتفاع نقاء الأمراض القلبية الوعائية كذا المواد الخام

ارتفاع نقاء الأمراض القلبية الوعائية كذا المواد الخام

تعتبر المواد الخام عالية النقاء CVD SIC التي أعدتها الأمراض القلبية الوعائية هي أفضل مصدر للمواد لنمو بلورة كربيد السيليكون عن طريق نقل البخار المادي. إن كثافة المواد الخام عالية النقاء CVD التي توفرها أشباه الموصلات النقش أعلى من الجسيمات الصغيرة التي تتكون من الاحتراق التلقائي للغازات SI والغازات المحتوية على C ، ولا تتطلب فرنًا مخصصًا للتلبيس وله معدل تبخر ثابت تقريبًا. يمكن أن تنمو بلورات واحدة عالية الجودة. نتطلع إلى استفسارك.
حامل رقاقة SIC الصلبة

حامل رقاقة SIC الصلبة

تم تصميم ناقل رقاقة SIC الصلب من أشباه الموصلات في VETEK لبيئات عالية من درجة الحرارة والمقاومة للتآكل في العمليات الفوقية أشباه الموصلات وهي مناسبة لجميع أنواع عمليات تصنيع الرقاقة مع متطلبات نقاء عالية. Vetek Semiconductor هو مورد Carier Carrier رائد في الصين ويتطلع إلى أن تصبح شريكك طويل الأجل في صناعة أشباه الموصلات.
رأس دش على شكل قرص صلب

رأس دش على شكل قرص صلب

Vetek Semiconductor هي الشركة الرائدة في مجال معدات أشباه الموصلات في الصين ومصنع محترف ومورد لرأس دش على شكل قرص SIC. يستخدم رأس الدش على شكل قرص على نطاق واسع في إنتاج ترسب الأفلام الرقيق مثل عملية CVD لضمان توزيع موحد لغاز التفاعل وهو أحد المكونات الأساسية لفرن CVD.
جزء الختم كذا

جزء الختم كذا

باعتبارها شركة تصنيع المنتج المتقدمة من المنتجات والمصنع في الصين. يعد Vetek Semicondicucto SiC Sealing جزءًا عالي الأداء مكونًا يستخدم على نطاق واسع في معالجة أشباه الموصلات وغيرها من عمليات ارتفاع درجة الحرارة المرتفعة والضغط العالي. مرحبًا بكم مزيد من الاستشارة.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كربيد السيليكون الصلب المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept