فرن الأكسدة والانتشار

يتم استخدام أفران الأكسدة والانتشار في مختلف المجالات مثل أجهزة أشباه الموصلات ، والأجهزة المنفصلة ، والأجهزة الإلكترونية البصرية ، والأجهزة الإلكترونية للطاقة ، والخلايا الشمسية ، وتصنيع الدوائر المتكاملة على نطاق واسع. يتم استخدامها للعمليات بما في ذلك الانتشار ، والأكسدة ، والصلصة ، والسبائك ، والتلبيخ من الرقائق.

تعتبر أشباه الموصلات الفيتيكية الشركة الرائدة في إنتاج مكونات الجرافيت عالية النقاء ، والكربيد السيليكون والكوارتز في أفران الأكسدة والانتشار. نحن ملتزمون بتوفير مكونات فرن عالية الجودة للصناعات شبه الموصلات والصناعات الكهروضوئية ، ونحن في طليعة تكنولوجيا الطلاء السطحي ، مثل CVD-SIC ، CVD-TAC ، pyrocarbon ، إلخ.

مزايا مكونات كربيد سيليكون أشباه الموصلات النقش:

● مقاومة درجات الحرارة العالية (حتى 1600 ℃)

● الموصلية الحرارية الممتازة والاستقرار الحراري

● مقاومة التآكل الكيميائي الجيد

● معامل منخفض للتوسع الحراري

● القوة العالية والصلابة

● خدمة الخدمة الطويلة

في أفران الأكسدة والانتشار ، نظرًا لوجود ارتفاع درجة الحرارة والغازات المسببة للتآكل ، تتطلب العديد من المكونات استخدام مواد عالية درجة الحرارة والمقاومة للتآكل ، من بينها كربيد السيليكون (SIC) هو اختيار شائع الاستخدام. فيما يلي مكونات كربيد السيليكون الشائعة الموجودة في أفران الأكسدة وأفران الانتشار:

● قارب الرقاقة

قارب رقاقة كربيد السيليكون هو حاوية تستخدم لحمل رقائق السيليكون ، والتي يمكن أن تحمل درجات حرارة عالية ولن تتفاعل مع رقائق السيليكون.

● أنبوب الفرن

أنبوب الفرن هو المكون الأساسي لفرن الانتشار ، ويستخدم لاستيعاب رقائق السيليكون والتحكم في بيئة التفاعل. أنابيب فرن كربيد السيليكون لها أداء ممتازة في درجات الحرارة العالية والتآكل.

● لوحة الحرس

تستخدم لتنظيم تدفق الهواء وتوزيع درجة الحرارة داخل الفرن

● أنبوب الحماية الحرارية

تستخدم لحماية درجة الحرارة لقياس المزدوجات الحرارية من الاتصال المباشر مع الغازات المسببة للتآكل.

● مجداف ناتئ

تُقاوم مجاذيف الكابينة من السيليكون كربيد من درجة الحرارة والتهاب ، وتستخدم لنقل قوارب السيليكون أو قوارب الكوارتز التي تحمل رقائق السيليكون في أنابيب فرن الانتشار.

● حاقن الغاز

تستخدم لإدخال غاز التفاعل في الفرن ، يجب أن يكون مقاومًا لدرجة الحرارة المرتفعة والتآكل.

● حاملة القوارب

يتم استخدام حاملة القوارب القارب كربيد السيليكون لإصلاح ودعم رقائق السيليكون ، والتي لها مزايا مثل القوة العالية ، ومقاومة التآكل ، والاستقرار الهيكلي الجيد.

● باب الفرن

يمكن أيضًا استخدام الطلاء أو المكونات كربيد السيليكون في الجزء الداخلي من باب الفرن.

● عنصر التدفئة

تعتبر عناصر تسخين كربيد السيليكون مناسبة لدرجات الحرارة المرتفعة ، والطاقة العالية ، ويمكن أن ترفع درجات الحرارة بسرعة إلى أكثر من 1000 ℃.

● SIC بطانة

يستخدم لحماية الجدار الداخلي لأنابيب الفرن ، يمكن أن يساعد في تقليل فقدان الطاقة الحرارية وتحمل البيئات القاسية مثل ارتفاع درجة الحرارة والضغط العالي.

View as

ذراع روبوت كربيد السيليكون

تم تصميم ذراعنا الروبوتية كربيد السيليكون (SIC) لمعالجة رقاقة عالية الأداء في تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة. مصنوعة من كربيد السيليكون عالي النقاء ، يوفر هذا الذراع الآلي مقاومة استثنائية لدرجات الحرارة العالية ، وتآكل البلازما ، والهجوم الكيميائي ، مما يضمن تشغيل موثوق في بيئات الغرفة النظيفة. تتيح قوتها الميكانيكية الاستثنائية واستقرار الأبعاد التعامل الدقيق للسكن مع تقليل مخاطر التلوث ، مما يجعلها خيارًا مثاليًا لتطبيقات MOCVD ، و Epitaxy ، وزرع أيون ، وغيرها من تطبيقات معالجة الويفر الحرجة. نرحب باستفساراتك.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

قارب رقاقة كربيد السيليكون

تُستخدم قوارب الرقاقة في PeteKsemicon على نطاق واسع في عمليات حرجة عالية الحرارة في تصنيع أشباه الموصلات ، وتكون بمثابة ناقلات موثوقة للأكسدة ، والانتشار ، وعمليات الصلب للدوائر المتكاملة القائمة على السيليكون. كما يتفوقون في قطاع أشباه الموصلات من الجيل الثالث ، وهو مناسب تمامًا للعمليات الصعبة مثل النمو الفوقي (EPI) وترسب البخار الكيميائي المعدني العضوي (MOCVD) لأجهزة الطاقة SIC و GAN. كما أنها تدعم التصنيع العالي درجات الحرارة للخلايا الشمسية عالية الكفاءة في صناعة الكهروضوئية. نتطلع إلى مشاورة أخرى.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

كيب ناتئ المجاذيف

مجاذيف Veteksemicon sic الكابولي عبارة عن أذرع دعم كربيد السيليكون عالية النقاء المصممة للتعامل مع الويفر في أفران الانتشار الأفقي والمفاعلات الفوقية. مع الموصلية الحرارية الاستثنائية ، ومقاومة التآكل ، والقوة الميكانيكية ، تضمن هذه المجاذيف الاستقرار والنظافة في بيئات أشباه الموصلات. متوفر بأحجام مخصصة ومحسّنة لحياة الخدمة الطويلة.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

غشاء السيراميك كذا

أغشية السيراميك في PeteKsemicon هي نوع من الغشاء غير العضوي وتنتمي إلى مواد غشاء صلبة في تكنولوجيا فصل الغشاء. يتم إطلاق أغشية كذا عند درجة حرارة تزيد عن 2000 ℃. سطح الجزيئات ناعمة وجولة. لا توجد مسام أو قنوات مغلقة في طبقة الدعم وكل طبقة. عادة ما تتكون من ثلاث طبقات ذات أحجام مسام مختلفة.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

صفيحة سيراميك كذا مسامية

لوحات السيراميك التي يسهل اختراقها هي مواد سيراميك مسامية مصنوعة من كربيد السيليكون كمكون رئيسي ومعالجته بواسطة عمليات خاصة. فهي مواد لا غنى عنها في تصنيع أشباه الموصلات ، وترسب البخار الكيميائي (CVD) وغيرها من العمليات.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

قارب رقاقة السيراميك

Vetek Semiconductor هو مورد القوارب في السيراميك الرائد ، والمصنع والمصنع في الصين. يعد قارب SIC Ceramics Wefer مكونًا حيويًا في عمليات معالجة الرقاقة المتقدمة ، ويعتزم الصناعات الكهروضوئية والإلكترونيات وشبكيات الموصلات. نتطلع إلى مشاورتك.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء فرن الأكسدة والانتشار المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.

رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا

منتجات

اتصل بنا

هاتف
+86-18069220752
فاكس
+86-579-87223657
بريد إلكتروني
anny@veteksemi.com
عنوان
طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين

قائمة الويب

بحث منتوج

لغة

قائمة الخروج

فرن الأكسدة والانتشار

مزايا مكونات كربيد سيليكون أشباه الموصلات النقش:

ذراع روبوت كربيد السيليكون

قارب رقاقة كربيد السيليكون

كيب ناتئ المجاذيف

غشاء السيراميك كذا

صفيحة سيراميك كذا مسامية

قارب رقاقة السيراميك

إرسال الاستفسار

رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا

منتجات

اتصل بنا

هاتف

فاكس

بريد إلكتروني

عنوان