فرن الأكسدة والانتشار

تُستخدم أفران الأكسدة والانتشار في مجالات مختلفة مثل أجهزة أشباه الموصلات، والأجهزة المنفصلة، ​​والأجهزة الإلكترونية الضوئية، وأجهزة الطاقة الإلكترونية، والخلايا الشمسية، وتصنيع الدوائر المتكاملة على نطاق واسع. يتم استخدامها في العمليات بما في ذلك الانتشار، والأكسدة، والتليين، وسبائك، وتلبد الرقاقات.

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة متخصصة في إنتاج مكونات الجرافيت وكربيد السيليكون والكوارتز عالية النقاء في أفران الأكسدة والانتشار. نحن ملتزمون بتوفير مكونات الفرن عالية الجودة لصناعات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية، ونحن في طليعة تكنولوجيا طلاء الأسطح، مثل CVD-SiC، CVD-TaC، البيروكربون، إلخ.

مزايا مكونات كربيد السيليكون لأشباه الموصلات VeTek:

مقاومة درجات الحرارة العالية (حتى 1600 درجة مئوية)

الموصلية الحرارية ممتازة والاستقرار الحراري

مقاومة جيدة للتآكل الكيميائي

معامل منخفض للتمدد الحراري

قوة وصلابة عالية

عمر خدمة طويل

في أفران الأكسدة والانتشار، نظرًا لوجود درجات حرارة عالية وغازات مسببة للتآكل، تتطلب العديد من المكونات استخدام مواد ذات درجة حرارة عالية ومقاومة للتآكل، ومن بينها كربيد السيليكون (SiC) الذي يعد خيارًا شائع الاستخدام. فيما يلي مكونات كربيد السيليكون الشائعة الموجودة في أفران الأكسدة وأفران الانتشار:

قارب الويفر

قارب رقاقة كربيد السيليكون عبارة عن حاوية تستخدم لحمل رقائق السيليكون، والتي يمكنها تحمل درجات الحرارة العالية ولن تتفاعل مع رقائق السيليكون.

أنبوب الفرن

أنبوب الفرن هو المكون الأساسي لفرن الانتشار، المستخدم لاستيعاب رقائق السيليكون والتحكم في بيئة التفاعل. تتميز أنابيب فرن كربيد السيليكون بأداء ممتاز في درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل.

لوحة يربك

يستخدم لتنظيم تدفق الهواء وتوزيع درجة الحرارة داخل الفرن

أنبوب الحماية الحرارية

يستخدم لحماية المزدوجات الحرارية لقياس درجة الحرارة من الاتصال المباشر بالغازات المسببة للتآكل.

مجداف ناتئ

المجاذيف الكابولية من كربيد السيليكون مقاومة لدرجة الحرارة العالية والتآكل، وتستخدم لنقل قوارب السيليكون أو قوارب الكوارتز التي تحمل رقائق السيليكون إلى أنابيب فرن الانتشار.

حاقن الغاز

يتم استخدامه لإدخال غاز التفاعل إلى الفرن، ويجب أن يكون مقاومًا لدرجة الحرارة العالية والتآكل.

حاملة القارب

يتم استخدام حامل القارب لرقائق كربيد السيليكون لإصلاح ودعم رقائق السيليكون، والتي تتميز بمزايا مثل القوة العالية، ومقاومة التآكل، والاستقرار الهيكلي الجيد.

باب الفرن

يمكن أيضًا استخدام طبقات أو مكونات كربيد السيليكون داخل باب الفرن.

عنصر التسخين

عناصر التسخين من كربيد السيليكون مناسبة لدرجات الحرارة العالية، والطاقة العالية، ويمكن أن ترفع درجات الحرارة بسرعة إلى أكثر من 1000 درجة مئوية.

بطانة كربيد السيليكون

يتم استخدامه لحماية الجدار الداخلي لأنابيب الفرن، ويمكن أن يساعد في تقليل فقدان الطاقة الحرارية ويتحمل البيئات القاسية مثل درجة الحرارة العالية والضغط العالي.