فرن الأكسدة والانتشار

يتم استخدام أفران الأكسدة والانتشار في مختلف المجالات مثل أجهزة أشباه الموصلات ، والأجهزة المنفصلة ، والأجهزة الإلكترونية البصرية ، والأجهزة الإلكترونية للطاقة ، والخلايا الشمسية ، وتصنيع الدوائر المتكاملة على نطاق واسع. يتم استخدامها للعمليات بما في ذلك الانتشار ، والأكسدة ، والصلصة ، والسبائك ، والتلبيخ من الرقائق.

تعتبر أشباه الموصلات الفيتيكية الشركة الرائدة في إنتاج مكونات الجرافيت عالية النقاء ، والكربيد السيليكون والكوارتز في أفران الأكسدة والانتشار. نحن ملتزمون بتوفير مكونات فرن عالية الجودة للصناعات شبه الموصلات والصناعات الكهروضوئية ، ونحن في طليعة تكنولوجيا الطلاء السطحي ، مثل CVD-SIC ، CVD-TAC ، pyrocarbon ، إلخ.

مزايا مكونات كربيد سيليكون أشباه الموصلات النقش:

● مقاومة درجات الحرارة العالية (حتى 1600 ℃)

● الموصلية الحرارية الممتازة والاستقرار الحراري

● مقاومة التآكل الكيميائي الجيد

● معامل منخفض للتوسع الحراري

● القوة العالية والصلابة

● خدمة الخدمة الطويلة

في أفران الأكسدة والانتشار ، نظرًا لوجود ارتفاع درجة الحرارة والغازات المسببة للتآكل ، تتطلب العديد من المكونات استخدام مواد عالية درجة الحرارة والمقاومة للتآكل ، من بينها كربيد السيليكون (SIC) هو اختيار شائع الاستخدام. فيما يلي مكونات كربيد السيليكون الشائعة الموجودة في أفران الأكسدة وأفران الانتشار:

● قارب الرقاقة

قارب رقاقة كربيد السيليكون هو حاوية تستخدم لحمل رقائق السيليكون ، والتي يمكن أن تحمل درجات حرارة عالية ولن تتفاعل مع رقائق السيليكون.

● أنبوب الفرن

أنبوب الفرن هو المكون الأساسي لفرن الانتشار ، ويستخدم لاستيعاب رقائق السيليكون والتحكم في بيئة التفاعل. أنابيب فرن كربيد السيليكون لها أداء ممتازة في درجات الحرارة العالية والتآكل.

● لوحة الحرس

تستخدم لتنظيم تدفق الهواء وتوزيع درجة الحرارة داخل الفرن

● أنبوب الحماية الحرارية

تستخدم لحماية درجة الحرارة لقياس المزدوجات الحرارية من الاتصال المباشر مع الغازات المسببة للتآكل.

● مجداف ناتئ

تُقاوم مجاذيف الكابينة من السيليكون كربيد من درجة الحرارة والتهاب ، وتستخدم لنقل قوارب السيليكون أو قوارب الكوارتز التي تحمل رقائق السيليكون في أنابيب فرن الانتشار.

● حاقن الغاز

تستخدم لإدخال غاز التفاعل في الفرن ، يجب أن يكون مقاومًا لدرجة الحرارة المرتفعة والتآكل.

● حاملة القوارب

يتم استخدام حاملة القوارب القارب كربيد السيليكون لإصلاح ودعم رقائق السيليكون ، والتي لها مزايا مثل القوة العالية ، ومقاومة التآكل ، والاستقرار الهيكلي الجيد.

● باب الفرن

يمكن أيضًا استخدام الطلاء أو المكونات كربيد السيليكون في الجزء الداخلي من باب الفرن.

● عنصر التدفئة

تعتبر عناصر تسخين كربيد السيليكون مناسبة لدرجات الحرارة المرتفعة ، والطاقة العالية ، ويمكن أن ترفع درجات الحرارة بسرعة إلى أكثر من 1000 ℃.

● SIC بطانة

يستخدم لحماية الجدار الداخلي لأنابيب الفرن ، يمكن أن يساعد في تقليل فقدان الطاقة الحرارية وتحمل البيئات القاسية مثل ارتفاع درجة الحرارة والضغط العالي.

View as

قارب رقاقة السيراميك السيليكون

تتخصص شركة VeTek Semiconductor في توفير قوارب الويفر والركائز وحاملات الرقاقات المخصصة ذات الجودة العالية في تكوينات رأسية/عمودية وأفقية لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات المختلفة. باعتبارنا شركة رائدة في تصنيع وتوريد أفلام طلاء كربيد السيليكون، فإن قارب الويفر الخزفي من كربيد السيليكون مفضل في الأسواق الأوروبية والأمريكية نظرًا لفعاليته العالية من حيث التكلفة والجودة الممتازة، ويستخدم على نطاق واسع في عمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة. تلتزم شركة VeTek Semiconductor بإقامة علاقات تعاونية طويلة الأمد ومستقرة مع العملاء العالميين، وتأمل بشكل خاص أن تصبح شريكًا موثوقًا في معالجة أشباه الموصلات في الصين.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

سيليكون كربيد (كذا) مجداف ناتئ

إن دور مجداف الكابيب في السيليكون (SIC) في صناعة أشباه الموصلات هو دعم ونقل رقائق النقل. في العمليات ذات درجة الحرارة العالية مثل الانتشار والأكسدة ، يمكن أن يحمل مجداف ناتئ الكابولي بشكل ثابت قوارب الرقاقة والرقائق دون تشوه أو أضرار بسبب ارتفاع درجة الحرارة ، مما يضمن التقدم السلس لهذه العملية. إن جعل الانتشار والأكسدة والعمليات الأخرى أكثر اتساقًا أمر بالغ الأهمية لتحسين اتساق ومعالجة الويفر. يستخدم أشباه الموصلات الفيتيك تقنية متقدمة لبناء مجداف ناتئ كذا مع كربيد السيليكون عالي النقاء لضمان عدم تلوث الرقاقات. يتطلع أشباه الموصلات الفيتيكية إلى التعاون طويل الأجل معك على منتجات مجداف الكابينة السيليكون (SIC).

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

كوارتز بوتقة

VeTek Semiconductor هي شركة رائدة في توريد وتصنيع بوتقة الكوارتز في الصين. تُستخدم بوتقات الكوارتز التي ننتجها بشكل أساسي في مجالات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية. لديهم خصائص النظافة ومقاومة درجات الحرارة العالية. وتدعم بوتقة الكوارتز لأشباه الموصلات الخاصة بنا عمليات إنتاج سحب قضبان السيليكون، وتحميل وتفريغ المواد الخام من البولي سيليكون في عملية إنتاج رقائق السيليكون شبه الموصلة، وهي مواد مستهلكة رئيسية لإنتاج رقائق السيليكون. تتطلع شركة VeTek Semiconductor إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

حاملة رقاقة كربيد السيليكون

بصفته أحد الموردين المحترفين لحامل الويفر للكربيد في الصين ، فإن الناقل النيميائي للرقص هو أداة تستخدم خصيصًا للتعامل مع رقائق أشباه الموصلات ومعالجتها ، والتي تلعب دورًا لا يمكن الاستغناء عنه في عملية رقائق أشباه الموصلات. مرحبًا بك في مشاورة أخرى.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

قاعدة التمثال السيليكون

يعتبر VeTek Semiconductor Silicon Pedestal مكونًا رئيسيًا في عمليات نشر أشباه الموصلات والأكسدة. وباعتبارها منصة مخصصة لحمل قوارب السيليكون في أفران عالية الحرارة، تتمتع Silicon Pedestal بالعديد من المزايا الفريدة، بما في ذلك تحسين توحيد درجة الحرارة، وتحسين جودة الرقاقة، والأداء المعزز لأجهزة أشباه الموصلات. لمزيد من المعلومات عن المنتج، فلا تتردد في الاتصال بنا.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

خاتم ختم السيراميك كذا

بصفته مصنعًا واسع النطاق ومورد لمنتجات ختم الختم السيراميك في الصين ، فإن حلقة ختم السيراميك شبه الموصلات الفيضوية لها مجموعة واسعة من التطبيقات في المجال الصناعي بسبب الموصلية الحرارية الممتازة ، ومقاومة المواد الكيميائية والتآكل المتميزة ، وقوة عالية وتصلب. مرحبا بكم في استفساراتك الإضافية.

عرض المزيد >> إرسال استفسار >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء فرن الأكسدة والانتشار المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.

رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا

منتجات

اتصل بنا

هاتف
+86-18069220752
فاكس
+86-579-87223657
بريد إلكتروني
anny@veteksemi.com
عنوان
طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين

قائمة الويب

بحث منتوج

لغة

قائمة الخروج

فرن الأكسدة والانتشار

مزايا مكونات كربيد سيليكون أشباه الموصلات النقش:

قارب رقاقة السيراميك السيليكون

سيليكون كربيد (كذا) مجداف ناتئ

كوارتز بوتقة

حاملة رقاقة كربيد السيليكون

قاعدة التمثال السيليكون

خاتم ختم السيراميك كذا

إرسال الاستفسار

رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا

منتجات

اتصل بنا

هاتف

فاكس

بريد إلكتروني

عنوان