صفيحة سيراميك كذا مسامية

لوحة السيراميك التي يسهل اختراقها هي مادة سيراميك بنية مسامية مصنوعة منكربيد السيليكونكمكون رئيسي ومدمج مع عملية تلبيد خاصة. مسامية قابلة للتعديل (عادة ما تكون 30 ٪-70 ٪) ، وتوزيع حجم المسام موحدة ، ويحتوي على مقاومة عالية للدرجات حرارة عالية ، واستقرار كيميائي ونفاذية الغاز الممتازة ، ويستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ، وترسب البخار الكيميائي (CVD) ، وترشيح غاز درجة الحرارة العالية وغيرها من الحقول.

ولمزيد من المعلومات حول لوحة السيراميك التي يسهل اختراقها ، يرجى مراجعة هذه المدونة.

قرص سيراميك كذا مساميخصائص مادية ممتازة

● مقاومة عالية الحرارة عالية:

تبلغ نقطة انصهار السيراميك SIC 2700 درجة مئوية ، ولا يزال بإمكانها الحفاظ على الاستقرار الهيكلي فوق 1600 درجة مئوية ، مما يتجاوز بكثير سيراميك الألومينا التقليدي (حوالي 2000 درجة مئوية) ، وخاصةً لعمليات درجات الحرارة المرتفعة لأشباه الموصلات.

● أداء الإدارة الحرارية الممتازة:

✔ الموصلية الحرارية العالية: الموصلية الحرارية لـ SIC الكثيفة حوالي 120 واط/(م · ك). على الرغم من أن الهيكل المسامي يقلل قليلاً من الموصلية الحرارية ، إلا أنه لا يزال أفضل بكثير من معظم السيراميك ويدعم تبديد الحرارة الفعال.

✔ معامل التمدد الحراري المنخفض (4.0 × 10⁻⁶/درجة مئوية): لا يوجد تشوه تقريبًا في درجة حرارة عالية ، وتجنب فشل الجهاز الناجم عن الإجهاد الحراري.

● الاستقرار الكيميائي الممتاز

مقاومة التآكل الحمضية والقلوية (خاصة في بيئة HF) ، ومقاومة أكسدة درجة الحرارة العالية ، ومناسبة للبيئات القاسية مثل الحفر والتنظيف.

● الخصائص الميكانيكية المتميزة

✔ صلابة عالية (صلابة Mohs 9.2 ، في المرتبة الثانية فقط إلى الماس) ، مقاومة لبس قوية.

✔ يمكن أن تصل قوة الانحناء إلى 300-400 ميجا باسكال ، ويأخذ تصميم بنية المسام في الاعتبار كل من القوة الخفيفة الوزن والميكانيكية.

● بنية مسامية وظيفية

✔ مساحة سطح محددة عالية: تعزيز كفاءة انتشار الغاز ، مناسبة كوحة توزيع غاز التفاعل.

✔ المسامية التي يمكن التحكم فيها: تحسين تغلغل السوائل وأداء الترشيح ، مثل تكوين الأفلام الموحدة في عملية الأمراض القلبية الوعائية.

دور محدد في تصنيع أشباه الموصلات

● دعم عملية ارتفاع درجة الحرارة وعزل الحرارة

كوحة دعم الرقاقة ، يتم استخدامها في معدات درجات الحرارة العالية (> 1200 درجة مئوية) مثل أفران الانتشار والأفران الصلب لتجنب تلوث المعادن.

الهيكل المسامي له وظائف العزل والدعم على حد سواء ، مما يقلل من فقدان الحرارة.

● توزيع الغاز الموحد والتحكم في التفاعل

في معدات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ، كوحة توزيع الغاز ، يتم استخدام المسام لنقل الغازات التفاعلية بشكل موحد (مثل SiH₄ ، NH₃) لتحسين توحيد ترسب الفيلم الرقيق.

في الحفر الجاف ، يعمل الهيكل المسامي على تحسين توزيع البلازما ويحسن دقة الحفر.

● مكونات Core Electrostatic Chuck (ESC)

يتم استخدام SIC المسامية كركيزة chuck electrostatic ، والتي تحقق امتصاص الفراغ من خلال micropores ، ويصلح بدقة الرقاقة ، ومقاومة لقصف البلازما ولديه عمر خدمة طويلة.

● مكونات مقاومة للتآكل

يستخدم لبطانة تجويف معدات الحفر والتنظيف الرطب ، ويقاوم التآكل بواسطة الأحماض القوية (مثل h₂so₄ ، hno₃) والقلويات القوية (مثل KOH).

● التحكم في توحيد المجال الحراري

في أفران نمو السيليكون الكريستالية المفردة (مثل طريقة Czochralski) ، كدرع أو دعم حراري ، يتم استخدام ثباته الحراري العالي للحفاظ على حقول حرارية موحدة وتقليل عيوب الشبكة.

● الترشيح والتنقية

يمكن للهيكل المسامي اعتراض الملوثات الجسيمية ويستخدم في أنظمة توصيل الغاز/السائل فائقة النشر لضمان نظافة العملية.

المزايا على المواد التقليدية