المواد والتصميم

يعد اختيار مجموعة الركيزة والطلاء المتطابقة هو المفتاح لمنع فشل المكونات المبكر، وتقليل تلوث الجسيمات، وزيادة إنتاج الرقاقة إلى الحد الأقصى. نحن نقدم حلولًا مخصصة للمواد والتصميم الهيكلي حول نافذة العمليات المحددة للعميل (درجة حرارة التشغيل، وكيمياء الغاز التفاعلية، ومعدلات المنحدر).

قدرات التصميم الأساسية لدينا:

مطابقة الإجهاد CTE الصارمة:بالنسبة للتدوير الحراري السريع (> 100 درجة مئوية/دقيقة)، فإننا نطابق بدقة منحنيات درجة حرارة CTE لركائز الجرافيت عالية النقاء وطلاءات الأمراض القلبية الوعائية، مما يقلل بشكل أساسي من خطر تصفيح الطلاء والتشققات الدقيقة.
اختيار الطلاء الخاص بسيناريو العملية:طلاء CVD SiC لبيئات Si/SiC epitaxy (Epi)، MOCVD، وبيئات حفر البلازما؛ طلاء CVD TaC لدرجات الحرارة المرتفعة والظروف شديدة التآكل (على سبيل المثال، نمو PVT أحادي البلورة SiC).
المقاومة التي يمكن التحكم فيها وتحسين التوصيل الحراري:التحكم الدقيق في المقاومة السائبة والتوصيل الحراري للركيزة والطلاء لتلبية متطلبات المجال الكهربائي والحراري المحددة للترددات اللاسلكية أو ظرفات الكهرباء الساكنة ESC أو مناطق التسخين.
التحكم في مصدر التلوث وتقليل ثاني أكسيد الكربون:تعمل طبقات ترسيب الأمراض القلبية الوعائية عالية النقاء على إغلاق الجرافيت المسامي بكثافة، مما يقلل بشكل كبير من تساقط الجسيمات، وانتشار الشوائب المعدنية فائقة النزرة، ومخاطر إطلاق الغازات في درجات الحرارة العالية.

مقارنة اختيار الطلاء النموذجي (دليل سريع)

طلاء	اتجاهات التطبيق النموذجية	المزايا الأساسية
الأمراض القلبية الوعائية كربيد	نضوج Si/SiC (Epi)، MOCVD، النقش الجزئي للبلازما	درجة نقاء عالية، ثبات حراري جيد، مقاومة للتآكل الكيميائي، أداء عالي من حيث التكلفة بشكل عام
الأمراض القلبية الوعائية تاك	نمو بلورة مفردة من كربيد السيليكون (PVT) عالي الحرارة، ومكونات حاملة شديدة الحرارة العالية	تصنيف درجة حرارة أعلى (> 1600 درجة مئوية)، مقاومة قوية للتآكل، مقاومة ممتازة للأكسدة

الحالة الحقيقية وفوائد العملاء (الخبرة):

إحدى الشركات الرائدة في مجال تصنيع صفائح SiC (Epi):استخدم المكون الأصلي طلاء CVD TaC غير متطابق، مما أدى إلى إجهاد مفرط بين الوجه وشقوق صغيرة متكررة عند درجة حرارة عالية. أعدنا تشغيل عمليات المحاكاة الديناميكية الحرارية وانتقلنا إلى أركيزة جرافيت عالية النقاء ومتوافقة مع CTE + طبقة عازلة + طلاء الأمراض القلبية الوعائية كربيدحل. النتيجة: زيادة متوسط عمر المكون من 200 ساعة إلى 850 ساعة؛ انخفض معدل الاستبدال السنوي لكل أداة من 40 إلى 9 مرات؛ تجاوزت الوفورات في تكاليف تشغيل وصيانة المعدات الشاملة 650,000 يوان صيني سنويًا.

GDMS purity analysis report for TaC coating

GDMS purity analysis report for SiC coating

تقرير تحليل نقاء GDMS لطلاءات TaC وSiC

التعليمات

1. س: كيف يمكنني الاختيار بين طلاء CVD SiC وطلاء CVD TaC؟

▼

ج:انظر إلى درجة حرارة العملية وكثافة التآكل في الطور الغازي. إذا كانت درجة حرارة العملية أقل من 1000 درجة مئوية وتتضمن بشكل أساسي النقش المعتمد على Cl₂/F₂ أو التنقيح التقليدي، فاخترالأمراض القلبية الوعائية كربيدللحصول على أفضل أداء من حيث التكلفة؛ إذا تجاوزت درجة حرارة العملية 1200 درجة مئوية وتتضمن أجواء شديدة التآكل (على سبيل المثال، نمو بلورة أحادية SiC PVT)، فإننا نوصيالأمراض القلبية الوعائية تاك، والذي يوفر درجة حرارة فائقة ومقاومة للتآكل. يمكننا تقديم تقرير توصية اختيار مجاني بناءً على معلمات العملية المحددة الخاصة بك.

2. س: هل تدعمون النماذج الأولية ذات القطعة الواحدة/الدفعة الصغيرة؟ ما هي المهلة الزمنية ؟

▼

ج:نعم! بالنسبة لنماذج الهندسة العكسية،موك هو 1 قطعة. بالنسبة للأجزاء التقليدية البسيطة، بدءًا من استلام العينة وحتى تسليم الجزء المعين، تكون أسرع مهلة تقريبًا10-15 يوم عمل; بالنسبة للأجزاء التي تتضمن عمليات طلاء معقدة، فهي تقريبًا20-25 يوم عمل. اتصل بمهندسينا لإجراء تقييم سريع.

3. س: ما الذي يسبب تصفيح طلاء CVD على أجزاء الجرافيت أثناء الاستخدام؟ هل يمكن حلها؟

▼

ج:90% من حالات التصفيح ناتجة عن عدم التطابق بين معامل التمدد الحراري (CTE) لركيزة الجرافيت والطلاء، مما يؤدي إلى تقشير الكلال تحت التسخين/التبريد السريع. الحل الذي نقدمه: قم أولاً بقياس منحنى CTE للجزء الأصلي بدقة، ثم قم بضبط كثافة الركيزة وتدرج درجة حرارة الترسيب بشكل خاص بحيث يكون CTEs متطابقين بشكل كبير. يمكن تحسين قوة السندات إلى أكثر من1.5 مرةالمستوى التقليدي للصناعة.

4. س: هل يمكنك تقديم شهادة التحليل (CoA) للمنتجات؟ ما هي البيانات التي تتضمنها؟

▼

ج:يأتي كل منتج يتم شحنه بشكل قياسي مع أرقم تسلسلي فريد + تقرير CoA كامل. يتضمن التقرير: بيانات فحص CMM للأبعاد الحرجة، وخريطة توزيع سمك الطلاء متعدد النقاط، وقيم خشونة السطح (Ra)، واستنتاجات تحليل نقاء المواد (GDMS).