ما هي المادة الأساسية لنمو كذا؟

في إعداد ركائز كربيد السيليكون عالية الجودة وعالية العائد ، يتطلب القلب التحكم الدقيق في درجة حرارة الإنتاج عن طريق مواد حقل حرارية جيدة. حاليًا ، تعد مجموعات بوتقة المجال الحراري المستخدمة بشكل أساسي مكونات هيكلية للجرافيت عالية النقاء ، والتي تتمثل وظائفها في تسخين مسحوق الكربون المنصهر ومسحوق السيليكون وكذلك للحفاظ على الحرارة. تتمتع مواد الجرافيت بخصائص قوة عالية محددة ومعامل محددة ، ومقاومة صدمة حرارية جيدة ومقاومة للتآكل ، وما إلى ذلك. ومع ذلك ، فإنها لها عيوب مثل أكسدة سهلة في البيئات الغنية بالأكسجين عالية درجة الحرارة ، ومقاومة الأمونيا الضعيفة ، ومقاومة الخدش الضعيفة. في نمو البلورات المفردة من سيليكون كربيد وإنتاج رقائق سيليكون كربيد الفوقية ، يصعب تلبية متطلبات الاستخدام الصارمة بشكل متزايد لمواد الجرافيت ، مما يقيد بشكل خطير تطويرها وتطبيقه العملي. لذلك ، الطلاء درجات الحرارة العالية مثلكربيد تانتالومبدأت في الارتفاع.

تتمتع Ceramics TAC بنقطة انصهار تصل إلى 3880 ℃ ، والتي تتميز بصلابة عالية (صلابة MOHS 9-10) ، وموصلية حرارية كبيرة نسبيًا (22W · M-1 · K-1) ، وقوة انتقائية كبيرة (340-400 ميجا باسكال) ، ومعامل صغير نسبيًا للتوسع الحراري (6.6 × 10-6-6). كما أنها تظهر الاستقرار الكيميائي الحراري الممتاز والخصائص الفيزيائية المتميزة. تتمتع الطلاء TAC بالتوافق الكيميائي والميكانيكي الممتاز مع مركبات الجرافيت و C/C. لذلك ، يتم استخدامها على نطاق واسع في الحماية الحرارية للفضاء ، ونمو الكريستال الفردي ، وإلكترونيات الطاقة ، والأجهزة الطبية ، من بين مجالات أخرى.

يحتوي الجرافيت المطلي TAC على مقاومة تآكل كيميائية أفضل من الجرافيت العاري أوكذا المغلفةالجرافيت. يمكن استخدامه بثبات عند درجة حرارة عالية تبلغ 2600 درجة مئوية ولا يتفاعل مع العديد من العناصر المعدنية. إنه أفضل طلاء أداء في سيناريوهات نمو البلورة الواحدة وحفر رقاقة أشباه الموصلات من الجيل الثالث ، ويمكن أن يحسن بشكل كبير من السيطرة على درجة الحرارة والشوائب في العملية. تحضير رقائق كربيد السيليكون عالية الجودة والرقصات الفوقية ذات الصلة. إنه مناسب بشكل خاص لزراعة بلورات GAN أو ALN على معدات MOCVD والبلورات الفردية SIC على معدات PVT ، وقد تم تحسين جودة البلورات الفردية المزروعة بشكل كبير.