CVD SIC المغلفة رأس دش دش

رأس دش الجرافيت المغلفة في PeteKsemicon CVD ، يضمن سطحه الدقيق للهندسة توزيعًا موحدًا للغاز ، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق ترسب الأفلام المتسق عبر رقائق. الطلاء كذالا يعزز فقط مقاومة التآكل ومقاومة الأكسدة ، ولكن أيضًا يمتد عمر الخدمة في ظل ظروف العملية القاسية.

يتم تطبيقه على نطاق واسع في تصنيع رقاقة أشباه الموصلات ، والترسبات الرقيقة ، وترسب الأغشية الرقيقة ، ويعد رأس دش الجرافيت المغطى بـ CVD SIC خيارًا مثاليًا للمصنعين الذين يبحثون عن مكونات موثوقة وعالية الأطوار وعلى مدار فترة طويلة تلبي متطلبات إنتاج أشباه الموصلات الجيل التالي.

يتم تصنيع رأس دش كربيد السيليكون CVD VETEKSEMI من كربيد السيليكون الكيميائي عالي النقاء ، ويتم تحسينه لعمليات CVD و MOCVD في صناعات أشباه الموصلات ، و LED ، و REDACTINCELICES Electronics. يضمن الاستقرار الحراري المتميز ، ومقاومة التآكل ، وتوزيع الغاز الموحد التشغيل المستقر على المدى الطويل في بيئات ذات درجة حرارة عالية ، وتآكل للغاية ، وتحسين تكرار العملية والعائد بشكل كبير.

Veteksemicon CVD SIC المغلفة بالمزايا الأساسية دش الدش

● نقاء وكثافة عالية عالية

يتم تصنيع رأس دش الجرافيت المطلي بـ CVD SIC باستخدام عملية CVD عالية النقاء ، مما يضمن نقاءًا ماديًا قدره 99.99995 ٪ ، مما يلغي أي شوائب معدنية. يمنع هيكله غير المسامي بشكل فعال تغلغل الغاز وسقوط الجسيمات ، مما يجعله مثاليًا لعمليات التغليف شبه الموصل وعمليات التغليف المتقدمة التي تتطلب نظافة عالية للغاية. بالمقارنة مع مكونات SIC أو الجرافيت التقليدية ، يحافظ منتجنا على أداء مستقر حتى بعد تشغيل درجات الحرارة المرتفعة لفترة طويلة ، مما يقلل من تردد الصيانة وتكاليف الإنتاج.

● استقرار حراري ممتاز

في عمليات CVD و MOCVD عالية الحرارة ، تكون المواد التقليدية عرضة للتشوه أو التكسير بسبب الإجهاد الحراري. يتحمل رأس دش CVD SIC درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية ويتميز بمعامل منخفض للغاية من التمدد الحراري ، مما يضمن الاستقرار الهيكلي أثناء زيادة درجة الحرارة السريعة وتناقص. تعمل الموصلية الحرارية الموحدة على تحسين توزيع درجة الحرارة داخل غرفة التفاعل ، مما يقلل من اختلافات معدل الترسيب بين حافة الرقاقة والمركز ، وتحسين توحيد الفيلم.

● التآكل المضاد لللاسما

أثناء عمليات الحفر أو الترسيب ، غازات شديدة التآكل (مثل CF₄، Cl₂و HBR) تآكل بسرعة كوارتز التقليدية أو مكونات الجرافيت. تُظهر مادة CVD SIC مقاومة تآكل استثنائية في بيئات البلازما ، مع عمر من 3-5 مرات من المواد التقليدية. أظهر اختبار العملاء الفعلي أنه حتى بعد 2000 ساعة من التشغيل المستمر ، يظل تباين حجم المسام ضمن ± 1 ٪ ، مما يضمن توزيع تدفق الغاز المستقر على المدى الطويل.

● حياة طويلة وتكاليف الصيانة المنخفضة

في حين أن مكونات الجرافيت التقليدية تتطلب استبدالًا متكررًا ، فإن رأس دش CVD مع SIC المطلي يحافظ على أداء مستقر حتى في البيئات القاسية. هذا يقلل من التكاليف الإجمالية بأكثر من 40 ٪. علاوة على ذلك ، فإن القوة الميكانيكية العالية للمادة تمنع الأضرار العرضية أثناء المناولة أو التثبيت.

● تأييد التحقق من السلسلة البيئية

تغطي Venteksemicon CVD Carbide Dearshead 'التحقق من السلسلة البيئية المواد الخام للإنتاج ، وقد مرّت بالشهادة القياسية الدولية ، ولديها عدد من التقنيات الحاصلة على براءة اختراع لضمان موثوقيتها واستدامتها في أشباه الموصلات وحقول الطاقة الجديدة.

المعلمات الفنية

مشروع	المعلمة
مادة	CVD SIC (خيارات الطلاء المتاحة)
نطاق القطر	100mm-450mm (قابل للتخصيص)
تسامح سمك	± 0.05mm
خشونة السطح	≤0.2μm
العملية المعمول بها	CVD/MOCVD/PECVD/ETCHING/EPITAXY

حقول التطبيق الرئيسية

اتجاه التطبيق	سيناريو نموذجي
تصنيع أشباه الموصلات	سيليكون Epitaxy ، أجهزة Gan/Gaas
إلكترونيات الطاقة	إنتاج رقاقة الويفر السكفي
قاد	ترسب الركيزة MOCVD SAPPHIRE
معدات البحث العلمي	نظام ترسب أفلام رفيع للغاية

تأييد التحقق من السلسلة البيئية

تغطي Venteksemicon CVD Carbide Dearshead 'التحقق من السلسلة البيئية المواد الخام للإنتاج ، وقد مرّت بالشهادة القياسية الدولية ، ولديها عدد من التقنيات الحاصلة على براءة اختراع لضمان موثوقيتها واستدامتها في أشباه الموصلات وحقول الطاقة الجديدة.

للحصول على المواصفات الفنية التفصيلية أو الأوراق البيضاء أو ترتيبات اختبار العينة ، من فضلكاتصل بفريق الدعم الفني الخاص بنالاستكشاف كيف يمكن لـ Veteksemicon تعزيز كفاءة العملية.