حلقة الصلبة في التركيز على حلقة التركيز

أحرزت أشباه الموصلات الفيتيكية تقدمًا كبيرًا في تقنية SIC الصلبة في CVD وأصبحت الآن قادرة على إنتاج حلقة تركيز محفورة على مستوى الرائد في العالم. إن حلقة التركيز الصلبة للبنية الصلبات في الفيتوك هي عبارة عن منتج مواد كربيد من السيليكون الفائق نقاء تم إنشاؤه من خلال عملية ترسب البخار الكيميائي.

يتم استخدام حلقة التركيز الصلبة في عمليات تصنيع أشباه الموصلات ، وخاصة في أنظمة حفر البلازما. حلقة التركيز SIC هي مكون حاسم يساعد على تحقيق الحفر الدقيق والسيطرة على رقائق كربيد السيليكون (SIC).

أثناء عملية حفر البلازما ، تلعب حلقة التركيز أدوارًا متعددة على النحو التالي:

● تركيز البلازما: يساعد حلقة تركيز الحفر الصلبة في تشكيل البلازما حول الرقاقة وتركيزها حول الرقاقة ، مما يضمن حدوث عملية الحفر بشكل موحد وكفاءة. يساعد على حصر البلازما في المنطقة المطلوبة ، مما يمنع حفر الطائر أو تلف المناطق المحيطة.

●  حماية جدران الغرفة: يعمل حلقة التركيز كحاجز بين البلازما وجدران الغرفة ، مما يمنع الاتصال المباشر والأضرار المحتملة. SIC مقاوم للغاية لتآكل البلازما ويوفر حماية ممتازة لجدران الغرفة.

●  Tالتحكم في درجة الحرارة: تساعد حلقة التركيز SIC في الحفاظ على توزيع درجة الحرارة الموحدة عبر الرقاقة أثناء عملية الحفر. يساعد على تبديد الحرارة ويمنع التدرجات المرتبطة بالارتفاع أو الحرارية التي قد تؤثر على نتائج الحفر.

يتم اختيار Solid SiC لتركيز الحلقات نظرًا لاستقرارها الحراري والكيميائي المتميز، وقوتها الميكانيكية العالية، ومقاومتها لتآكل البلازما. هذه الخصائص تجعل من SiC مادة مناسبة للظروف القاسية والمتطلبة داخل أنظمة الحفر بالبلازما.

تجدر الإشارة إلى أن تصميم ومواصفات تركيز حلقات يمكن أن يختلف باختلاف نظام حفر البلازما المحدد ومتطلبات العملية. تعمل أشباه الموصلات الفيتيكية على تحسين الشكل والأبعاد والخصائص السطحية لخواتم التركيز لضمان أداء الحفر الأمثل وطول العمر. يستخدم SONC SIC على نطاق واسع في ناقلات الرقاقة ، والصحافين ، والرقاقة الوهمية ، وحلقات التوجيه ، وأجزاء لعملية الحفر ، وعملية الأمراض القلبية الوعائية ، إلخ.