رأس دش

يوفر أشباه الموصلات Vetek رأس دش متقدم إلى صناعة أشباه الموصلات. تحتوي مواد كربيد السيليكون على مزيج فريد من الخصائص الحرارية والكهربائية والكيميائية الممتازة ، مما يجعلها مثالية للتطبيقات في صناعة أشباه الموصلات حيث تكون المواد عالية الأداء مطلوبة. يتمتع أشباه الموصلات بنقارة الدموية خبرة طويلة المتراكمة في تقنية SIC الصلبة CVD. تتيح التكنولوجيا الثورية لل أشباهية في Vetek من إنتاج SIC Shower Head ، وهي مادة كربيد السيليكون عالية النقاء التي تم إنشاؤها من خلال عملية ترسب البخار الكيميائي.

يعد رأس الدش SIC مكونًا حاسمًا في تصنيع أشباه الموصلات ، ومصمم خصيصًا لأنظمة MOCVD ، و silicon epitaxy ، وكذاعمليات epitaxy. مصنوعة من قويةكربيد السيليكون الصلب (كذا)، يمكن لهذا المكون تحمل الظروف القصوى لمعالجة البلازما والتطبيقات عالية الحرارة.

كربيد السيليكون (كذا)تشتهر بتوصيلها الحراري العالي ، ومقاومة التآكل الكيميائي ، والقوة الميكانيكية الاستثنائية ، مما يجعلها مادة مثالية لمكونات SIC السائبة مثل رأس دش SIC. يضمن رأس دش الغاز حتى توزيع غازات العمليات على سطح الرقاقة ، وهو أمر ضروري لإنتاج طبقات مثقبة عالية الجودة. حلقات التركيز وحلقات الحافة ، التي غالباً ما تكون مصنوعة من CVD-SIC ، تحافظ على توزيع البلازما الموحدة وحماية الغرفة من التلوث ، وتعزيز كفاءة وعائد النمو الفوقي.

من خلال التحكم الدقيق لتدفق الغاز وخصائص المواد المتميزة ، يعد رأس دش SIC مكونًا رئيسيًا في معالجة أشباه الموصلات الحديثة ، ويدعم التطبيقات المتقدمة في سيليكون Epitaxy و SIC Epitaxy.

يوفر أشباه الموصلات النقش نقضًا منخفضًا مقاومة للسيليكون الملبد بالسيليكون. لدينا القدرة على المهندس المخصص والتوريدمواد السيراميك المتقدمةباستخدام مجموعة متنوعة من القدرات الفريدة.