ما هو التطبيق المحدد للأجزاء المغلفة TAC في مجال أشباه الموصلات؟

الخواص الفيزيائية لطلاء كربيد التانتالوم (TAC)

تطبيق طلاء Tantalum Carbide (TAC) في حقل أشباه الموصلات

1. مكونات مفاعل النمو الفوقي

يستخدم طلاء TAC على نطاق واسع في مكونات تفاعل ترسيب البخار الكيميائي (CVD) من نيتريد غاليوم (GAN) الفوسيكي والسيليكون (SIC) ، بما في ذلك الفوقي ، بما في ذلكحركات البسكويت، وأطباق الأقمار الصناعية ، والفوهات وأجهزة الاستشعار. تتطلب هذه المكونات متانة عالية للغاية واستقرار في بيئات عالية من درجة الحرارة والبيئات المسببة للتآكل. يمكن لطلاء TAC تمديد عمر خدمتهم بشكل فعال ويحسن العائد.

2. مكون نمو بلوري واحد

في عملية النمو الكريستال المفردة للمواد مثل SIC و GAN و Nitride (AIN) ،طلاء TACيتم تطبيقه على المكونات الرئيسية مثل البوتقات وحاملي بلورات البذور وحلقات التوجيه والمرشحات. مواد الجرافيت مع طلاء TAC يمكن أن تقلل من هجرة الشوائب ، وتحسين جودة البلورة وتقليل كثافة العيوب.

3. مكونات صناعية عالية درجة الحرارة

يمكن استخدام طلاء TAC في التطبيقات الصناعية عالية درجات الحرارة مثل عناصر التدفئة المقاومة ، وفوهات الحقن ، وحلقات التدريع ، وتركيبات النحاس. تحتاج هذه المكونات إلى الحفاظ على أداء جيد في بيئات درجات الحرارة العالية ، وجعل مقاومة الحرارة ومقاومة التآكل TAC خيارًا مثاليًا.

4. سخانات في أنظمة MOCVD

تم إدخال سخانات الجرافيت المغلفة TAC بنجاح في أنظمة ترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD). بالمقارنة مع السخانات المغلفة التقليدية PBN ، يمكن أن توفر سخانات TAC كفاءة وتوحيد أفضل ، وتقليل استهلاك الطاقة ، وتقليل انبعاث السطح ، وبالتالي تحسين النزاهة.

5. حركات الويفر

تلعب ناقلات الرقاقة المغلفة TAC دورًا مهمًا في إعداد مواد أشباه الموصلات من الجيل الثالث مثل SIC و AIN و GAN. أظهرت الدراسات أن معدل التآكلالطلاء TACفي بيئات الأمونيا والهيدروجين ذات درجة الحرارة العالية أقل بكثير من تلكالطلاء كذا، مما يجعلها تظهر استقرارًا أفضل ومتانة في الاستخدام على المدى الطويل.