مبادئ وتكنولوجيا طلاء ترسيب البخار المادي (1/2) - انتصار النقش الفيض

العملية البدنيةطبقة فراغ

يمكن تقسيم طلاء الفراغ بشكل أساسي إلى ثلاث عمليات: "تبخير مادة الفيلم" و "النقل الفراغ" و "نمو الفيلم الرقيق". في طلاء الفراغ ، إذا كانت مادة الفيلم صلبة ، فيجب اتخاذ تدابير لتبخير أو تسوي مادة الفيلم الصلبة في الغاز ، ثم يتم نقل جزيئات مواد الفيلم البخارية في فراغ. أثناء عملية النقل ، قد لا تواجه الجسيمات تصادمات وتصل مباشرة إلى الركيزة ، أو قد تصطدم في الفضاء والوصول إلى سطح الركيزة بعد الانتثار. أخيرًا ، تكثف الجسيمات على الركيزة وتنمو لتصبح فيلمًا رقيقًا. لذلك ، تتضمن عملية الطلاء تبخر أو تسامي مادة الفيلم ، ونقل الذرات الغازية في فراغ ، والامتصاص ، والانتشار ، والنواة وامتصاص الذرات الغازية على السطح الصلب.

تصنيف طلاء الفراغ

وفقًا للطرق المختلفة التي تتغير بها مادة الفيلم من الصلبة إلى الغازية ، وعمليات النقل المختلفة لذرات مادة الفيلم في فراغ ، يمكن تقسيم طلاء الفراغ إلى أربعة أنواع: التبخر الفراغ ، والتفريغ الفراغي ، وتصفيات الفراغ ، ونفس البخار الكيميائي الفراغ. تسمى الطرق الثلاثة الأولىترسب البخار المادي (PVD)، ويتم استدعاء الأخيرترسيب البخار الكيميائي (CVD).

طبقة التبخر الفراغ

طلاء التبخر الفراغ هو واحد من أقدم تقنيات الطلاء الفراغ. في عام 1887 ، أبلغ R. Nahrwold عن تحضير فيلم البلاتين من خلال تسامي البلاتين في الفراغ ، والذي يعتبر أصل طلاء التبخر. لقد تطورت طلاء التبخر الآن من طلاء تبخر المقاومة الأولي إلى تقنيات مختلفة مثل طلاء تبخر شعاع الإلكترون ، طلاء تبخر التدفئة الحثية وطلاء تبخر الليزر النبض.

تسخين المقاومةطبقة التبخر الفراغ

مصدر تبخر المقاومة هو جهاز يستخدم الطاقة الكهربائية لتسخين مادة الفيلم بشكل مباشر أو غير مباشر. عادةً ما يكون مصدر تبخر المقاومة مصنوعًا من المعادن أو الأكاسيد أو النيتريدات ذات النقطة العالية للذوبان ، وضغط البخار المنخفض ، والاستقرار الكيميائي الجيد والميكانيكي ، مثل التنغستن ، الموليبدينوم ، التانتالوم ، الجرافيت المرتفع نقاء ، سيراميك أكسيد الألومنيوم ، السيراميك النيتريد البورون ومواد أخرى. تشمل أشكال مصادر تبخر المقاومة بشكل رئيسي مصادر الخيوط ومصادر الرقائق والكوليسونات.

عند استخدام ، لمصادر الشعيرة ومصادر الرقائق ، فقط إصلاح طرفي مصدر التبخر إلى المنشورات الطرفية مع المكسرات. عادةً ما يتم وضع البوتقة في سلك حلزوني ، ويتم تشغيل السلك الحلزوني لتسخين البوتقة ، ثم ينتقل بوتقة إلى مادة الفيلم.

الفيتوك شبه الموصلات هي الشركة المصنعة الصينية المحترفةطلاء كربيد تانتالوم, طلاء كربيد السيليكون, الجرافيت الخاص, السيراميك سيليكون كربيدوسيراميك أشباه الموصلات الأخرى.تلتزم شركة Vetek Semiconductor بتوفير حلول متقدمة لمختلف منتجات الطلاء لصناعة أشباه الموصلات.

إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

البريد الإلكتروني: anny@veteksemi.com