عملية هيئة الطرق والمواصلات/RTP

توفر شركة VeTek Semiconductor حاملة رقاقة عملية RTA/RTP، مصنوعة من الجرافيت عالي النقاء وطلاء SiC معالشوائب أقل من 5ppm.

فرن التلدين السريع هو نوع من المعدات لمعالجة وتليين الموادعملية هيئة الطرق والمواصلات/RTP، من خلال التحكم في عملية التسخين والتبريد للمادة، يمكنها تحسين الهيكل البلوري للمادة، وتقليل الضغط الداخلي، وتحسين الخواص الميكانيكية والفيزيائية للمادة. أحد المكونات الأساسية في غرفة فرن التلدين السريع هو حامل الرقاقة/جهاز استقبال الويفرلتحميل الرقائق. كسخان الرقاقة في غرفة العملية، هذالوحة الناقليلعب دورًا مهمًا في التسخين السريع ومعالجة معادلة درجة الحرارة.

كربيد السيليكون، نيتريد الألومنيوم وكربيد السيليكون الجرافيت هي مواد متوفرة لفرن التلدين السريع، والاختيار الرئيسي في السوق هو الجرافيت وطلاء كربيد السيليكون كمواد. 

فيما يليالميزات والأداء الممتازمن ناقل الرقاقة لعملية RTA RTP المطلي بـ VeTek لأشباه الموصلات SiC:

-استقرار درجة الحرارة العالية: يُظهر طلاء SiC ثباتًا رائعًا في درجات الحرارة العالية، مما يضمن سلامة الهيكل والقوة الميكانيكية حتى في درجات الحرارة القصوى. هذه القدرة تجعلها مناسبة للغاية لعمليات المعالجة الحرارية الصعبة.

-الموصلية الحرارية ممتازة: تتميز طبقة طلاء SiC بموصلية حرارية استثنائية، مما يتيح توزيع سريع وموحد للحرارة. وهذا يُترجم إلى معالجة حرارية أسرع، مما يقلل بشكل كبير من وقت التسخين ويعزز الإنتاجية الإجمالية. ومن خلال تحسين كفاءة نقل الحرارة، فإنه يساهم في زيادة كفاءة الإنتاج وجودة المنتج الفائقة.

-الخمول الكيميائي: يوفر الخمول الكيميائي المتأصل لكربيد السيليكون مقاومة ممتازة للتآكل الناتج عن المواد الكيميائية المختلفة. يمكن لحامل رقائق كربيد السيليكون المطلي بالكربون أن يعمل بشكل موثوق في بيئات كيميائية متنوعة دون تلويث الرقائق أو إتلافها.

-التسطيح السطحي: تضمن طبقة كربيد السيليكون CVD سطحًا مسطحًا وناعمًا للغاية، مما يضمن اتصالًا مستقرًا بالرقائق أثناء المعالجة الحرارية. وهذا يلغي إدخال عيوب سطحية إضافية، مما يضمن نتائج المعالجة المثالية.

-خفيفة الوزن وعالية القوة: تتميز حاملة الرقاقة RTP المطلية بـ SiC بخفة الوزن ولكنها تمتلك قوة ملحوظة. هذه الخاصية تسهل التحميل والتفريغ المريح والموثوق للرقائق.

كيفية استخدام ناقل الرقاقة الخاص بعملية RTA RTP ：

جهاز استقبال وغطاء جهاز الاستقبال بطبقة طلاء SiC لأشباه الموصلات من VeTek

جهاز استقبال RTA RTP حاملة الرقاقات RTA RTP صينية RTP (للمعالجة الحرارية السريعة لهيئة الطرق والمواصلات) صينية RTP (للمعالجة الحرارية السريعة لهيئة الطرق والمواصلات) استقبال RTP صينية دعم رقاقة RTP