شباك الصلب الحراري السريع

يتميز VeTek Semiconductor Rapid Thermal Analing Susceptor بجودة عالية وعمر طويل، مرحبًا بكم في استفسارنا.

التلدين الحراري السريع (RTA) هو مجموعة فرعية مهمة من المعالجة الحرارية السريعة المستخدمة في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. أنها تنطوي على تسخين الرقائق الفردية لتعديل خصائصها الكهربائية من خلال مختلف المعالجات الحرارية المستهدفة. تتيح عملية RTA تنشيط المنشطات، وتغيير واجهات الركيزة من فيلم إلى فيلم أو من فيلم إلى رقاقة، وتكثيف الأفلام المودعة، وتعديل حالات الفيلم المزروع، وإصلاح تلف زرع الأيونات، وحركة المنشطات، ودفع المنشطات بين الأفلام أو في الركيزة رقاقة.

يلعب منتجات أشباه الموصلات الفيتينية ، وهو حسس الصلب الحراري السريع ، دورًا حيويًا في عملية RTP. تم بناؤه باستخدام مادة الجرافيت عالية النقاء مع طلاء واقية من كربيد السيليكون الخامل (SIC). يمكن للركيزة السيليكون المغلفة SIC تحمل درجات حرارة تصل إلى 1100 درجة مئوية ، مما يضمن أداء موثوق به حتى في ظل الظروف القاسية. يوفر طلاء SIC حماية ممتازة ضد تسرب الغاز وسقوط الجسيمات ، مما يضمن طول طول المنتج.

وللحفاظ على التحكم الدقيق في درجة الحرارة، يتم تغليف الرقاقة بين مكونين من الجرافيت عالي النقاء ومطليين بمادة SiC. يمكن الحصول على قياسات دقيقة لدرجة الحرارة من خلال أجهزة استشعار مدمجة لدرجة الحرارة العالية أو المزدوجات الحرارية التي تتلامس مع الركيزة.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SIC:

متجر VeTek لإنتاج أشباه الموصلات:

نظرة عامة على سلسلة صناعة رقائق أشباه الموصلات: