رمز الاستجابة السريعة
منتجات
اتصل بنا


فاكس
+86-579-87223657

بريد إلكتروني

عنوان
طريق وانغدا، شارع زيانغ، مقاطعة وويي، مدينة جينهوا، مقاطعة تشجيانغ، الصين
VeTek Semiconductor هو شريكك المبتكر في مجال معالجة أشباه الموصلات. بفضل مجموعتنا الواسعة من مجموعات مواد سيراميك كربيد السيليكون من فئة أشباه الموصلات، وإمكانات تصنيع المكونات، وخدمات هندسة التطبيقات، يمكننا مساعدتك في التغلب على التحديات الكبيرة. يتم تطبيق سيراميك كربيد السيليكون الفني الهندسي على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات نظرًا لأدائها المادي الاستثنائي. يتم استخدام سيراميك كربيد السيليكون فائق النقاء من VeTek Semiconductor بشكل متكرر طوال الدورة الكاملة لتصنيع أشباه الموصلات ومعالجتها.
توفر شركة VeTek Semiconductor مكونات سيراميكية مصممة خصيصًا لنشر الدفعات ومتطلبات LPCVD بما في ذلك:
● يحير وحاملي
● الحقن
● البطانات وأنابيب المعالجة
● المجاذيف الكابولية من كربيد السيليكون
● قوارب الويفر والركائز
يمكنك تقليل التلوث والصيانة غير المجدولة باستخدام مكونات عالية النقاء تم تصميمها للتعامل مع قسوة معالجة حفر البلازما، بما في ذلك:
● حلقات التركيز
● الفوهات
● الدروع
● رؤوس الدش
● النوافذ / الأغطية
● مكونات مخصصة أخرى
توفر VeTek Semiconductor مكونات مواد متقدمة مصممة خصيصًا لتطبيقات المعالجة الحرارية ذات درجات الحرارة العالية في صناعة أشباه الموصلات. تشمل هذه التطبيقات عمليات RTP وEpi والانتشار والأكسدة والتليين. تم تصميم السيراميك الفني الخاص بنا ليتحمل الصدمات الحرارية، مما يوفر أداءً موثوقًا ومتسقًا. باستخدام مكونات VeTek Semiconductor، يمكن لمصنعي أشباه الموصلات تحقيق معالجة حرارية فعالة وعالية الجودة، مما يساهم في النجاح الشامل لإنتاج أشباه الموصلات.
● الناشرون
● العوازل
● المشتبه بهم
● المكونات الحرارية المخصصة الأخرى
مجداف ناتئ SiC
أنابيب عملية كربيد السيليكون
أنبوب معالجة كربيد السيليكون
قارب رقاقة عمودي SiC
قارب رقاقة أفقي SiC
SiC Horizontals Quare قارب ويفر
قارب الويفر SiC LPCVD
قارب ذو لوحة أفقية SiC
حلقة ختم السيراميك SiC
● نقاء فائق: محتوى SiC > 99.96%، السيليكون الحر <0.1%، مما يقلل من التلوث المعدني.
● أداء ممتاز في درجات الحرارة العالية: درجة حرارة العمل تصل إلى 1600 درجة مئوية (أكسدة) / 1700 درجة مئوية (اختزال).
● مقاومة فائقة للصدمات الحرارية وتمدد حراري منخفض للحصول على أداء موثوق به في ظل الدورات الحرارية السريعة.
● قوة ميكانيكية عالية (ضغط > 600 ميجا باسكال) وخمول كيميائي ضد الغازات المعالجة والبلازما.
● مجموعة منتجات شاملة لعمليات النشر/LPCVD، والحفر، وRTP، وEPI - بدءًا من قوارب الرقاقات وحتى حلقات التركيز والأجزاء المخصصة.
● عمر خدمة طويل وتقليل توليد الجسيمات، مما يساعد على تقليل تكرار الصيانة وتحسين الإنتاجية.
الخصائص الفيزيائية لكربيد السيليكون المعاد بلورته
| ملكية | القيمة النموذجية |
| درجة حرارة العمل (درجة مئوية) | 1600 درجة مئوية (مع الأكسجين)، 1700 درجة مئوية (تقليل البيئة) |
| محتوى SiC / SiC | > 99.96% |
| محتوى Si / Si مجاني | <0.1% |
| الكثافة الظاهرية | 2.60-2.70 جم/سم3 |
| المسامية الظاهرة | < 16% |
| قوة الضغط | > 600 ميجا باسكال |
| قوة الانحناء الباردة | 80-90 ميجا باسكال (20 درجة مئوية) |
| قوة الانحناء الساخنة | 90-100 ميجا باسكال (1400 درجة مئوية) |
| التمدد الحراري عند 1500 درجة مئوية | 4.70 × 10⁻⁶/درجة مئوية |
| الموصلية الحرارية عند 1200 درجة مئوية | 23 وات/م·ك |
| معامل مرن | 240 جيجا |
| مقاومة الصدمات الحرارية | جيد جدًا |
لتلبية الاحتياجات المتنوعة لعمليات أشباه الموصلات، تقدم VeTek منتجات سيراميك كربيد السيليكون المستهدفة. يصنفها الجدول التالي حسب مجالات التطبيق الرئيسية:
| مجال التطبيق | المنتجات النموذجية | وصف التطبيق |
| الانتشار و LPCVD | قوارب رقاقة SiC, المجاذيف ناتئ, أنابيب العملية، بطانات، عن طريق الحقن،يحير وحاملي | مكونات SiC عالية النقاء لنشر الدفعات وأفران LPCVD؛ ثبات حراري ممتاز ومقاومة كيميائية تصل إلى 1600-1700 درجة مئوية، وتلوث منخفض. |
| عملية حفر البلازما | حلقات التركيز, الفوهاتوالدروع ورؤوس الدش والنوافذ/الأغطية ومكونات الحفر المخصصة | أجزاء SiC عالية النقاء مصممة لبيئات حفر البلازما؛ تقليل توليد الجسيمات والصيانة غير المجدولة، ومقاومة البلازما الفائقة. |
| RTP / الفوقي / المعالجة الحرارية | المستشعرون, الناشرون، العوازل، المكونات الحرارية المخصصة | مكونات RTP، epi، الانتشار، الأكسدة والتليين؛ مصممة لتحمل الصدمات الحرارية وتقديم أداء ثابت في درجات الحرارة العالية. |
| نمو كريستال SiC (PVT) | مسحوق كربيد عالي النقاء،7N CVD كربيد المواد الخام، الأجزاء المتعلقة بربط البذور | مواد مصدر SiC فائقة النقاء ومكونات داعمة لنمو بلورة واحدة من PVT SiC، مما يحسن الإنتاجية وجودة البلورة. |
| مناولة الويفر وناقلاتها | قوارب ويفر عمودية/أفقية من كربيد السيليكون, قوارب كاسيت السيليكون, الركائز, حلقات الختم | ناقلات دقيقة ومكونات مانعة للتسرب توفر التجانس الحراري والاستقرار الميكانيكي والحد الأدنى من التلوث أثناء المعالجة في درجات الحرارة العالية. |
للحصول على حلول مطابقة أكثر تفصيلاً للعملية، يرجى الرجوع إلىفرن الأكسدة والانتشارالصفحات ذات الصلة.
باعتبارنا شركة متخصصة في تصنيع وتوريد سيراميك كربيد السيليكون في الصين، لدينا مصنعنا الخاص. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء سيراميك كربيد السيليكون المتقدم والمتين المصنوع في الصين، يمكنكترك لنا رسالة.