لماذا طلاء SIC مادة أساسية رئيسية للنمو الفوقي؟

في معدات الأمراض القلبية الوعائية ، لا يمكن وضع الركيزة مباشرة على المعدن أو ببساطة على قاعدة للترسب الفوقي ، لأنها تتضمن عوامل مختلفة مثل اتجاه تدفق الغاز (الأفقي ، الرأسي) ، ودرجة الحرارة ، والضغط ، والتثبيت ، والسقوط. لذلك ، هناك حاجة إلى قاعدة ، ثم يتم وضع الركيزة على القرص ، ثم يتم تنفيذ ترسب الفوقي على الركيزة باستخدام تقنية CVD. هذه القاعدة هيقاعدة الجرافيت المغلفة كذا.

كمكون أساسي ، فإن قاعدة الجرافيت لها قوة ومعامل محدد ، ومقاومة جيدة للصدمة ومقاومة التآكل ، ولكن خلال عملية الإنتاج ، سيتم تآكل الجرافيت ومسحوقه بسبب الغاز المتبقي المتبقي والمواد العضوية المعدنية ، وسيتم تقليل عمر خدمة قاعدة الجرافيت إلى حد كبير. في الوقت نفسه ، سوف يتسبب مسحوق الجرافيت الساقط في تلوث الشريحة. في عملية إنتاجرقائق سيليكون كربيد الفائقة، من الصعب تلبية متطلبات الاستخدام الصارمة للأشخاص لمواد الجرافيت ، مما يقيد بشكل خطير تطوره وتطبيقه العملي. لذلك ، بدأت تكنولوجيا الطلاء في الارتفاع.

مزايا طلاء SIC في صناعة أشباه الموصلات

الخصائص الفيزيائية والكيميائية للطلاء لها متطلبات صارمة لمقاومة درجة الحرارة العالية ومقاومة التآكل ، والتي تؤثر بشكل مباشر على إنتاجية المنتج وحياة. مادة SIC لها قوة عالية ، صلابة عالية ، معامل التوسع الحراري المنخفض والتوصيل الحراري الجيد. إنها مادة هيكلية هامة في درجة الحرارة العالية ومواد أشباه الموصلات عالية الحرارة. يتم تطبيقه على قاعدة الجرافيت. مزاياها هي:

1) SIC مقاوم للتآكل ويمكن أن يلف قاعدة الجرافيت بالكامل. لها كثافة جيدة وتتجنب الأضرار التي تحدث عن طريق التآكل.

2) يتمتع SIC بتوصيل حراري عالي وقوة الترابط العالية مع قاعدة الجرافيت ، مما يضمن أن الطلاء ليس من السهل الانخفاض بعد دورات درجات حرارة عالية ودرجات حرارة منخفضة.

3) يتمتع SIC باستقرار كيميائي جيد لتجنب فشل الطلاء في أجواء عالية الحرارة وتآكل.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SIC

بالإضافة إلى ذلك ، تتطلب الأفران الفوقية للمواد المختلفة صواني الجرافيت مع مؤشرات أداء مختلفة. يتطلب مطابقة معامل التمدد الحراري لمواد الجرافيت التكيف مع درجة حرارة نمو الفرن الفوقي. على سبيل المثال ، درجة حرارةسيليكون كربيد epitaxyعالية ، ودرج مع معامل التمدد الحراري العالي مطلوب. يكون معامل التمدد الحراري لـ SIC قريبًا جدًا من معامل الجرافيت ، مما يجعله مناسبًا كمواد مفضلة للطلاء السطحي لقاعدة الجرافيت.

مواد SIC لها مجموعة متنوعة من الأشكال البلورية. الأكثر شيوعا هي 3C و 4H و 6H. كذا من أشكال البلورة المختلفة لها استخدامات مختلفة. على سبيل المثال ، يمكن استخدام 4H-SIC لتصنيع الأجهزة عالية الطاقة ؛ 6H-SIC هي الأكثر استقرارًا ويمكن استخدامها لتصنيع الأجهزة الإلكترونية الضوئية ؛ يمكن استخدام 3C-SIC لإنتاج طبقات GAN الفوقية وتصنيع أجهزة RF SIC-GAN بسبب هيكلها المماثل لـ GAN. يشار إلى 3C-SIC أيضًا باسم β-SIC. الاستخدام المهم لـ β-SIC هو فيلم رفيع وطبقة. لذلك ، β-SIC هو حاليا المادة الرئيسية للطلاء.

بنية كيميائية من SIC

باعتبارها شائعة الاستهلاك في إنتاج أشباه الموصلات ، يستخدم طلاء SIC بشكل أساسي في ركائز ، Epitaxy ،انتشار الأكسدة، حفر وزرع أيون. الخصائص الفيزيائية والكيميائية للطلاء لها متطلبات صارمة لمقاومة درجة الحرارة العالية ومقاومة التآكل ، والتي تؤثر بشكل مباشر على إنتاجية المنتج وحياة. لذلك ، فإن إعداد طلاء SIC أمر بالغ الأهمية.