قارب الجرافيت لPECVD

طلب: يعتبر قارب الجرافيت Veteksemicon الخاص بـ PECVD مكونًا أساسيًا في عملية ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما. لقد تم تصميمه خصيصًا لترسيب نيتريد السيليكون وأكسيد السيليكون والأغشية الرقيقة الأخرى عالية الجودة على رقائق السيليكون وأشباه الموصلات المركبة وركائز لوحة العرض. أدائها يحدد بشكل مباشر تجانس الفيلم واستقرار العملية وتكلفة الإنتاج.

الخدمات التي يمكن تقديمها: تحليل سيناريو تطبيق العميل، مطابقة المواد، حل المشكلات الفنية.

ملف الشركة： لدى Veteksemicon مختبرين، وفريق من الخبراء يتمتعون بخبرة 20 عامًا في مجال المواد، مع إمكانات البحث والتطوير والإنتاج والاختبار والتحقق.

معلومات عامة عن المنتج

شروط عمل المنتج

مجالات التطبيق الرئيسية

قارب Veteksemicon Graphite لمزايا PECVD الأساسية

1. ركائز عالية النقاء، والسيطرة على التلوث من المصدر

نحن نصر على استخدام الجرافيت عالي النقاء المضغوط بشكل متساوي مع نقاء ثابت يزيد عن 99.995% كمادة أساسية لضمان عدم ترسيب الشوائب المعدنية حتى في بيئة التشغيل المستمرة التي تصل إلى 1600 درجة مئوية. يمكن لهذا المتطلب الصارم للمواد أن يتجنب بشكل مباشر تدهور أداء الرقاقة الناتج عن تلوث الناقل، مما يوفر الضمان الأساسي لترسيب نيتريد السيليكون عالي الجودة أو أفلام أكسيد السيليكون.

2. المجال الحراري الدقيق والتصميم الهيكلي لضمان توحيد العملية

من خلال محاكاة السوائل الشاملة وبيانات قياس العملية، قمنا بتحسين زاوية فتحة القارب، وعمق أخدود التوجيه، ومسار تدفق الغاز. يتيح هذا الاعتبار الهيكلي الدقيق التوزيع الموحد للغازات التفاعلية بين الرقاقات. تظهر القياسات الفعلية أنه عند التحميل الكامل، يمكن التحكم بشكل ثابت في انحراف تجانس سماكة الفيلم بين الرقاقات في نفس الدفعة في حدود ±1.5%، مما يحسن إنتاجية المنتج بشكل ملحوظ.

3. حلول طلاء مخصصة لمعالجة التآكل الناتج عن عمليات محددة

لتلبية بيئات معالجة الغاز المختلفة للعملاء المختلفين، فإننا نقدم خيارين للطلاء الناضج: الكربون الحراري وكربيد السيليكون. إذا قمت بشكل أساسي بترسيب نيتريد السيليكون واستخدام التنظيف بالهيدروجين، فإن طلاء الكربون الحراري الكثيف يمكن أن يوفر مقاومة ممتازة لتآكل بلازما الهيدروجين. إذا كانت العملية الخاصة بك تتضمن غازات تنظيف تحتوي على الفلور، فإن طلاء كربيد السيليكون عالي الصلابة هو الخيار الأفضل. يمكنه إطالة عمر خدمة قارب الجرافيت في البيئات شديدة التآكل إلى أكثر من ثلاثة أضعاف عمر المنتجات العادية غير المطلية.

4. استقرار ممتاز للصدمات الحرارية، قابل للتكيف مع دورات درجات الحرارة المتكررة

بفضل تركيبة الجرافيت الفريدة لدينا وتصميم ضلع التعزيز الداخلي، يمكن لقوارب الجرافيت الخاصة بنا أن تتحمل صدمات التبريد والتسخين السريعة المتكررة لعملية PECVD. في الاختبارات المعملية الصارمة، بعد 500 دورة حرارية سريعة من درجة حرارة الغرفة إلى 800 درجة مئوية، لا يزال معدل الاحتفاظ بقوة الانحناء للقارب يتجاوز 90%، مما يتجنب بشكل فعال التشقق الناجم عن الإجهاد الحراري ويضمن استمرارية الإنتاج وسلامته.

5. إقرار التحقق من السلسلة البيئية

يغطي قارب Veteksemicon Graphite للتحقق من السلسلة البيئية لـ PECVD المواد الخام حتى الإنتاج، وقد حصل على شهادة المعايير الدولية، ولديه عدد من التقنيات الحاصلة على براءة اختراع لضمان موثوقيته واستدامته في مجالات أشباه الموصلات والطاقة الجديدة.

للحصول على المواصفات الفنية التفصيلية أو المستندات التقنية أو ترتيبات اختبار العينات، يرجى الاتصال بفريق الدعم الفني لدينا لاستكشاف كيف يمكن لـ Veteksemicon تعزيز كفاءة العملية لديك.