كذا مسامي

كذا مسامي


Vetek Semiconductor هي الشركة الرائدة في السيراميك SIC المسامي لصناعة أشباه الموصلات. مرر ISO9001 ، فتيك أشباه الموصلات لديه سيطرة جيدة على الجودة. لطالما ملتزم بنقارة النيميكاتور أن يصبح مبتكرًا ورائد في صناعة السيراميك التي يسهل اختراقها.


Porous SiC Ceramic Disc

قرص سيراميك كذا مسامي


السيراميك المسامي عبارة عن مواد خزفية يتم إطلاقها في درجات حرارة عالية ولها عدد كبير من المسام المترابطة أو المغلقة في الداخل. ومن المعروف أيضًا باسم كوب شفط الفراغ الدقيق ، بأحجام مسام تتراوح من 2 إلى 100وم.


تم استخدام سيراميك SIC المسامي على نطاق واسع في المعادن والصناعة الكيميائية وحماية البيئة وعلم الأحياء وأشباه الموصلات وغيرها من المجالات. يمكن تحضير السيراميك المسامي SIC بواسطة طريقة الرغوة ، طريقة SOL هلام ، طريقة صب الشريط ، طريقة التلبيد الصلبة وطريقة الانحلال الحراري.


Preparation of porous SiC ceramics by sintering method

تحضير السيراميك المسامي من خلال طريقة التلبيد

Compressive strength of Porous SiC ceramicsFlexural strength of Porous SiC ceramicsFracture toughness of Porous SiC ceramicsthermal conductivity ofPorous SiC ceramics

خصائص سيراميك كربيد السيليكون المسامية التي أعدتها طرق مختلفة كدالة للمسامية



porous SiC ceramics Suction Cups in Semiconductor Wafer Fabrication

أكواب شفط السيراميك المسامية في تصنيع رقاقة أشباه الموصلات


تلعب السيراميكات التي يسرع من أشباه الموصلات الفيتيك دور الجمع وحمل الرقائق في إنتاج أشباه الموصلات. فهي كثيفة وموحدة ، عالية في القوة ، جيدة في نفاذية الهواء ، وموحدة في الامتزاز.


يعالجون بشكل فعال العديد من المشكلات الصعبة مثل مسافة بادئة الرقاقة والانهيار الإلكتروستاتيكي للرقاقة ، ويساعدون في تحقيق معالجة رقائق عالية الجودة للغاية.

مخطط العمل للسيراميك المسامي:

Working diagram of porous SiC ceramics


مبدأ العمل من السيراميك المسامي: يتم إصلاح رقاقة السيليكون بواسطة مبدأ امتصاص الفراغ. أثناء المعالجة ، يتم استخدام الثقوب الصغيرة الموجودة على السيراميك SIC المسامي لاستخراج الهواء بين رقاقة السيليكون وسطح السيراميك ، بحيث يكون رقاقة السيليكون وسطح السيراميك في ضغط منخفض ، وبالتالي إصلاح رقاقة السيليكون.


بعد المعالجة ، تتدفق مياه البلازما من الثقوب لمنع رقاقة السيليكون من الالتزام بسطح السيراميك ، وفي الوقت نفسه ، يتم تنظيف رقاقة السيليكون والسطح السيراميك.


Microstructure of the porous SiC ceramics

البنية المجهرية من السيراميك السكفيس المسامي


تسليط الضوء على المزايا والميزات:


● مقاومة ارتفاع درجة الحرارة

● مقاومة التآكل

● المقاومة الكيميائية

● قوة ميكانيكية عالية

● سهل التجديد

● مقاومة صدمة حرارية ممتازة


غرض
وحدة
السيراميك كذا المسامي
قطر المسام
واحد
10 ~ 30
كثافة
ز / سم 3
1.2 ~ 1.3
السطح روجإله
واحد
2.5 ~ 3
قيمة امتصاص الهواء
KPA
-45
قوة الانثناء
MPA
30
ثابت العزل الكهربائي
1MHz
33
الموصلية الحرارية
ث/(م · ك)
60 ~ 70

هناك العديد من المتطلبات العالية للسيراميك المسامي:


1. امتصاص فراغ قوي

2. التسطيح مهم للغاية ، وإلا ستكون هناك مشاكل أثناء التشغيل

3. لا تشوه ولا شوائب معدنية


لذلك ، تصل قيمة امتصاص الهواء للسيراميك المسامي للتربؤات النقلية إلى -45KPa. في الوقت نفسه ، يتم تخفيفها عند 1200 ℃ لمدة 1.5 ساعة قبل مغادرة المصنع لإزالة الشوائب وتعبئتها في أكياس فراغ.


تستخدم سيراميك SIC المسامية على نطاق واسع في تكنولوجيا معالجة الرقاقة والنقل والروابط الأخرى. لقد حققوا إنجازات كبيرة في الترابط ، والتركيب ، والتصاعد ، والتلميع وغيرها من الروابط.


View as  
 
تشاك فراغ مسامية SiC

تشاك فراغ مسامية SiC

عادةً ما يتم استخدام الفراغ الفراغ المسامي في النيميك في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات ، خاصة عندما يتعلق الأمر بعمليات الأمراض القلبية الوعائية و PECVD. Vetek Semiconductor متخصص في تصنيع وتزويد فراغ SIC المسامي عالي الأداء. مرحبًا بك في استفساراتك الإضافية.
تشاك فراغ السيراميك المسامية

تشاك فراغ السيراميك المسامية

إن ظرف الفراغ الخزفي المسامي من Vetek Semiconductor's مصنوع من مادة سيراميك كربيد السيليكون (SiC)، التي تتمتع بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، وثبات كيميائي وقوة ميكانيكية. إنه مكون أساسي لا غنى عنه في عملية أشباه الموصلات. نرحب بمزيد من الاستفسارات الخاصة بك.
تشاك السيراميك الساك

تشاك السيراميك الساك

تقدم أشباه الموصلات الفيتيكية تشاك ساك المسامية التي تستخدم على نطاق واسع في تكنولوجيا معالجة الرقاقة ، والنقل والروابط الأخرى ، ومناسبة للترابط ، والخطب ، والتصحيح ، والتلميع وغيرها من الروابط ، ومعالجة الليزر. يمتلك تشاك السيراميك الذي يسهل اختراقه امتصاصًا فراغًا قويًا للغاية ، وارتفاع التسطيح والنقاء العالي يلبي احتياجات معظم صناعات أشباه الموصلات.

Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.


Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.


Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.


Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.


بصفتنا الشركة المصنعة والمورد المحترف في الصين ، لدينا مصنع خاص بنا. سواء كنت بحاجة إلى خدمات مخصصة لتلبية الاحتياجات المحددة لمنطقتك أو ترغب في شراء كذا مسامي المتقدمة والمتينة في الصين ، يمكنك ترك رسالة لنا.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept