رمز الاستجابة السريعة

معلومات عنا
منتجات
اتصل بنا
هاتف
فاكس
+86-579-87223657
بريد إلكتروني
عنوان
طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين
Vetek Semiconductor هي الشركة الرائدة في السيراميك SIC المسامي لصناعة أشباه الموصلات. مرر ISO9001 ، فتيك أشباه الموصلات لديه سيطرة جيدة على الجودة. لطالما ملتزم بنقارة النيميكاتور أن يصبح مبتكرًا ورائد في صناعة السيراميك التي يسهل اختراقها.
قرص سيراميك كذا مسامي
السيراميك المسامي عبارة عن مواد خزفية يتم إطلاقها في درجات حرارة عالية ولها عدد كبير من المسام المترابطة أو المغلقة في الداخل. ومن المعروف أيضًا باسم كوب شفط الفراغ الدقيق ، بأحجام مسام تتراوح من 2 إلى 100وم.
تم استخدام سيراميك SIC المسامي على نطاق واسع في المعادن والصناعة الكيميائية وحماية البيئة وعلم الأحياء وأشباه الموصلات وغيرها من المجالات. يمكن تحضير السيراميك المسامي SIC بواسطة طريقة الرغوة ، طريقة SOL هلام ، طريقة صب الشريط ، طريقة التلبيد الصلبة وطريقة الانحلال الحراري.
تحضير السيراميك المسامي من خلال طريقة التلبيد
خصائص سيراميك كربيد السيليكون المسامية التي أعدتها طرق مختلفة كدالة للمسامية
أكواب شفط السيراميك المسامية في تصنيع رقاقة أشباه الموصلات
تلعب السيراميكات التي يسرع من أشباه الموصلات الفيتيك دور الجمع وحمل الرقائق في إنتاج أشباه الموصلات. فهي كثيفة وموحدة ، عالية في القوة ، جيدة في نفاذية الهواء ، وموحدة في الامتزاز.
يعالجون بشكل فعال العديد من المشكلات الصعبة مثل مسافة بادئة الرقاقة والانهيار الإلكتروستاتيكي للرقاقة ، ويساعدون في تحقيق معالجة رقائق عالية الجودة للغاية.
مخطط العمل للسيراميك المسامي:
مبدأ العمل من السيراميك المسامي: يتم إصلاح رقاقة السيليكون بواسطة مبدأ امتصاص الفراغ. أثناء المعالجة ، يتم استخدام الثقوب الصغيرة الموجودة على السيراميك SIC المسامي لاستخراج الهواء بين رقاقة السيليكون وسطح السيراميك ، بحيث يكون رقاقة السيليكون وسطح السيراميك في ضغط منخفض ، وبالتالي إصلاح رقاقة السيليكون.
بعد المعالجة ، تتدفق مياه البلازما من الثقوب لمنع رقاقة السيليكون من الالتزام بسطح السيراميك ، وفي الوقت نفسه ، يتم تنظيف رقاقة السيليكون والسطح السيراميك.
البنية المجهرية من السيراميك السكفيس المسامي
تسليط الضوء على المزايا والميزات:
● مقاومة ارتفاع درجة الحرارة
● مقاومة التآكل
● المقاومة الكيميائية
● قوة ميكانيكية عالية
● سهل التجديد
● مقاومة صدمة حرارية ممتازة
غرض
وحدة
السيراميك كذا المسامي
قطر المسام
واحد
10 ~ 30
كثافة
ز / سم 3
1.2 ~ 1.3
السطح روجإله
واحد
2.5 ~ 3
قيمة امتصاص الهواء
KPA
-45
قوة الانثناء
MPA
30 ثابت العزل الكهربائي
1MHz
33 الموصلية الحرارية
ث/(م · ك)
60 ~ 70
هناك العديد من المتطلبات العالية للسيراميك المسامي:
1. امتصاص فراغ قوي
2. التسطيح مهم للغاية ، وإلا ستكون هناك مشاكل أثناء التشغيل
3. لا تشوه ولا شوائب معدنية
لذلك ، تصل قيمة امتصاص الهواء للسيراميك المسامي للتربؤات النقلية إلى -45KPa. في الوقت نفسه ، يتم تخفيفها عند 1200 ℃ لمدة 1.5 ساعة قبل مغادرة المصنع لإزالة الشوائب وتعبئتها في أكياس فراغ.
تستخدم سيراميك SIC المسامية على نطاق واسع في تكنولوجيا معالجة الرقاقة والنقل والروابط الأخرى. لقد حققوا إنجازات كبيرة في الترابط ، والتركيب ، والتصاعد ، والتلميع وغيرها من الروابط.
Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.
Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.
Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.
Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.
+86-579-87223657
طريق وانغدا ، شارع زيانغ ، مقاطعة ووي ، مدينة جينهوا ، مقاطعة تشجيانغ ، الصين
حقوق الطبع والنشر © 2024 شركة Vetek Semiconductor Technology Co. ، Ltd. جميع الحقوق محفوظة.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |