تشاك فراغ السيراميك المسامية

Vetek Semiconductor هي شركة صينية لتصنيع ظرف الفراغ الخزفي المسامي، والذي يستخدم لتثبيت وإمساك رقائق السيليكون أو الركائز الأخرى عن طريق الامتزاز الفراغي لضمان عدم تحرك هذه المواد أو تشوهها أثناء المعالجة. يمكن لـ Vetek Semiconducto توفير منتجات Chuck Vacuum Ceramic عالية النقاء بأداء عالي التكلفة. مرحبا بكم في الاستفسار.

تقدم شركة Vetek Semiconductor سلسلة من منتجات Chuck Vacuum Chuck الخزفية المسامية الممتازة، المصممة خصيصًا لتلبية المتطلبات الصارمة لتصنيع أشباه الموصلات الحديثة. تُظهر هذه الناقلات أداءً ممتازًا في النظافة والتسطيح وتكوين مسار الغاز القابل للتخصيص.

نظافة لا مثيل لها:

القضاء على النجاسة: يتم تلبيد كل ظرف فراغ من السيراميك المسامي عند درجة حرارة 1200 درجة مئوية لمدة 1.5 ساعة لإزالة الشوائب تمامًا والتأكد من أن السطح نظيف كالجديد.

التعبئة والتغليف فراغ: للحفاظ على الحالة النظيفة، يتم تعبئة ظرف الفراغ الخزفي المسامي بتفريغ الهواء لمنع التلوث أثناء التخزين والنقل.

التسطيح ممتازة:

امتزاز الرقاقة الصلبة: يحافظ ظرف الفراغ الخزفي المسامي على قوة امتصاص تبلغ -60 كيلو باسكال و -70 كيلو باسكال قبل وبعد وضع الرقاقة، على التوالي، مما يضمن امتصاص الرقاقة بقوة ويمنعها من السقوط أثناء النقل عالي السرعة.

الآلات الدقيقة: الجزء الخلفي من الحامل مصنوع بدقة لضمان سطح مستوٍ تمامًا، وبالتالي الحفاظ على ختم ثابت للفراغ ومنع التسرب.

تصميم حسب الطلب:

تتمحور حول العملاء: تعمل Vetek Semiconductor بشكل وثيق مع العملاء لتصميم تكوينات مسار الغاز التي تلبي متطلبات العملية المحددة الخاصة بهم لتحسين الكفاءة والأداء.

اختبار الجودة الصارمة:

تجري Vetek اختبارات شاملة على كل قطعة من ظرف الفراغ المسامي SiC لضمان جودتها:

اختبار الأكسدة: يتم تسخين ظرف التفريغ SiC بسرعة إلى 900 درجة مئوية في بيئة خالية من الأكسجين لمحاكاة عملية الأكسدة الفعلية. قبل ذلك، يتم تلدين الحامل عند 1100 درجة مئوية لضمان الأداء الأمثل.

اختبار بقايا المعادن: لمنع التلوث يتم تسخين الحامل على درجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية للكشف عن وجود أي شوائب معدنية مترسبة.

اختبار الفراغ: من خلال قياس فرق الضغط بين ظرف الفراغ المسامي SiC مع الرقاقة وبدونها، يتم اختبار أداء الختم الفراغي بدقة. يجب التحكم في فرق الضغط ضمن ±2 كيلو باسكال.

جدول خصائص ظرف فراغ السيراميك المسامي:

محلات VeTek Semiconductor Porous SiC Vacuum Chuck: