منتجات

يعد Halfmoon مكونًا من الجرافيت يستخدم داخل مفاعلات LPE SiC، ويتم تركيبه بشكل أساسي حول المنطقة الساخنة للغرفة. على الرغم من أنه لا يتصل مباشرة بالرقاقة، إلا أنه لا يزال يلعب دورًا في استقرار تدفق الغاز وتشغيل المفاعل أثناء النمو الفوقي. للتعامل مع درجات الحرارة المرتفعة وظروف العملية التفاعلية، عادةً ما يكون المكون محميًا بطبقة CVD SiC، بينما يتوفر طلاء TaC أيضًا لبعض التطبيقات. توفر VETEK أيضًا مواد عزل لباد الجرافيت وأجزاء الجرافيت المطلية الأخرى لأنظمة الفوقية SiC.

تعد الحلقة العلوية SiC epi مقاس 8 بوصة جزءًا من الأجهزة لمفاعلات أشباه الموصلات. إنه يعمل داخل أنظمة Si/SiC وأنظمة MOCVD/CVD. تعمل هذه الحلقة على تثبيت الحرارة داخل الحجرة. كما أنه يتحكم في تدفق الغازات. المادة عبارة عن كربيد السيليكون CVD عالي النقاء. ليس لديها قضايا إطلاق الغازات من الجرافيت. كما أنه يقلل من تلوث الجسيمات أثناء الإنتاج. نحن نرحب باستفساراتكم.

قامت VETEK بتطوير اللباد الناعم المصنوع من ألياف الكربون باستخدام مزيج من تقنية التمشيط الدقيقة وتقنية نفث الهواء. يمكننا ضمان بنية ألياف موحدة للغاية في جميع أنحاء المادة. لقد تم تصميمه ليتحمل الحرارة الشديدة للأفران الصناعية مع الحفاظ على وزنه الخفيف بشكل لا يصدق. بفضل هذه الكتلة الحرارية المنخفضة والملمس المرن، فإنه من السهل تركيبه وتناسبه بشكل مريح في زوايا الفرن، مما يساعد على زيادة كفاءة الطاقة في كل دورة.

إن جودة مادة المصدر الأولية هي العامل الأساسي الذي يحد من إنتاجية الرقاقة في إنتاج بلورات SiC المفردة. توفر مجموعة CVD SiC Bulk عالية النقاء 7N من VETEK بديلاً متعدد البلورات عالي الكثافة للمساحيق التقليدية، وهو مصمم خصيصًا لنقل البخار الفيزيائي (PVT). من خلال استخدام نموذج CVD بالجملة، فإننا نزيل عيوب النمو الشائعة ونحسن إنتاجية الفرن بشكل ملحوظ. نتطلع إلى سؤالكم.

في التصنيع المتقدم مثل الانتشار، أو الأكسدة، أو LPCVD، لا يعد قارب الويفر مجرد حامل - بل إنه جزء مهم من البيئة الحرارية. عند درجات حرارة تصل إلى 1000 درجة مئوية إلى 1400 درجة مئوية، غالبًا ما تفشل المواد القياسية بسبب التزييف أو إطلاق الغازات. تم تصميم حل VETEK's SiC-on-SiC (ركيزة عالية النقاء مع طلاء CVD كثيف) خصيصًا لتحقيق الاستقرار في هذه المتغيرات ذات الحرارة العالية.

تعد البيئات ذات درجة الحرارة العالية والتفاعل الكيميائي في MOCVD، وحماية غرفة التفاعل ودقة التحكم في العملية أمرًا بالغ الأهمية. توفر VETEK مكونات كوارتز غير شفافة (أبيض حليبي) ممتازة، مصممة خصيصًا لتكون بمثابة "غرفة الأبحاث" و"بوابة الدقة" داخل معدات أشباه الموصلات الخاصة بك. توفر هذه المكونات حلاً فعالاً من حيث التكلفة وعالي الأداء لإدارة الإشعاع الحراري ومنع التلوث.