رأس دش من كربيد السيليكون المطلي بـ CVD (SiC).

الميزات الرئيسية

• درجة نقاء عالية للغاية - تعمل طبقة SiC على عزل الجرافيت تمامًا، لذلك لا يوجد إطلاق غازات أو تلوث معدني.

• توزيع ممتاز للغاز - يتم تصنيع كل رأس دش لتوفير سرعة غاز ثابتة عبر الرقاقة بأكملها.

• مقاومة فائقة للتآكل – لا يتفاعل CVD SiC مع الهالوجينات أو بقايا العمليات. يدوم لفترة أطول بكثير من الجرافيت أو الكوارتز.

• أداء حراري متميز - يتطابق الطلاء مع التمدد الحراري للجرافيت بشكل وثيق، لذلك لا يتشقق أثناء درجات الحرارة المرتفعة السريعة.

• التصنيع الدقيق - نستخدم التصنيع باستخدام الحاسب الآلي وطلاء CVD الداخلي. يتم الاحتفاظ بأقطار وأنماط الثقب بتفاوتات صارمة.

المواصفات الفنية

التطبيقات

تستخدم رؤوس الدش هذه في:

• أنظمة CVD لأشباه الموصلات (سواء الإنتاج أو البحث والتطوير)

• معدات PECVD – المواد العازلة ذات درجات الحرارة المنخفضة

• مفاعلات MOCVD – مركبات III-V مثل GaN وInP

• طبقة السيليكون (Si Epi) – لأجهزة الطاقة وCMOS

• SiC epitaxy – إلكترونيات الطاقة ذات الجهد العالي

• مصانع أشباه الموصلات المركبة

• التغليف المتقدم (على سبيل المثال، ترسيب بطانة TSV)

• أي أداة ذات أغشية رقيقة تحتاج إلى موزع غاز عالي النقاء ومقاوم للتآكل

لماذا تختار فيتيك؟

• نحن لسنا شركة تجارية. كل شيء - بدءًا من تصنيع الجرافيت وحتى طلاء CVD SiC النهائي - يتم تنفيذه داخل الشركة. وهذا يعني أننا نتحكم في الجودة والمهلة الزمنية والتكلفة.

• تصنيع داخلي كامل – لا توجد مفاجآت في الاستعانة بمصادر خارجية

• تقنية طلاء متقدمة - CVD SiC كثيفة وخالية من الثقوب

• دعم هندسي مخصص - أرسل لنا رسم رأس الدش الخاص بك أو نموذج المفاعل فقط

• سلسلة توريد موثوقة لأشباه الموصلات - نقوم بتوريد الشركات المصنعة ومصنعي المعدات الأصلية لسنوات

• ليس عليك إعادة تأهيل تصميم جديد في كل مرة. لقد قمنا بالفعل بتغطية رؤوس الدش للعديد من المنصات الشائعة (AMAT، وTEL، وLAM، وASM، وما إلى ذلك).