نيتريد السيليكون

1. الاستقرار الكيميائي الممتاز

السيراميك نيتريد السيليكون له استقرار كيميائي ممتاز ويمكنه تحمل مجموعة متنوعة من الأحماض القوية والقلويات والغازات التآكل. في عملية تصنيع أشباه الموصلات غالبًا ما تحتاج إلى التعامل مع المواد الكيميائية المسببة للتآكل ، يمكن أن توفر سيراميك نيتريد السيليكون ضمان أداء مستقر على المدى الطويل.

2. خصائص ميكانيكية ممتازة

تتمتع سيراميك نيتريد السيليكون بصلابة عالية ، وقوة ضغط ممتازة ومقاومة للارتداء ، قادرة على تحمل الإجهاد الميكانيكي وارتداء السطح ، وليس من السهل تشوه أو تمزق. هذه الخاصية الميكانيكية تجعلها مناسبة جدًا كمواد للأجزاء الهيكلية والمعالجة في معدات أشباه الموصلات.

3. استقرار درجة الحرارة العالية

يمكن لسيراميك نيتريد السيليكون الحفاظ على الاستقرار في بيئات درجات الحرارة العالية ، وليس من السهل التليين أو الذوبان ، ويمكن أن يقاوم معالجة ومعالجة درجات الحرارة العالية في عملية تصنيع أشباه الموصلات. يتيح ذلك استخدامه في تصنيع مكونات معدات المعدات ذات درجة الحرارة العالية ، مثل القبضات ومكونات غرفة التفاعل وما إلى ذلك.

4. خصائص عزل ممتازة

الخصائص العازلة أمر بالغ الأهمية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. تحتوي السيراميك على نيتريد السيليكون على خصائص عازلة جيدة ، والتي يمكن أن تعزل وحماية مكونات الدائرة بشكل فعال من التسرب الحالي أو التداخل الكهرومغناطيسي ، مما يساعد على تحسين استقرار وموثوقية الجهاز.

5. الموصلية الحرارية والتوصيل الحراري

تحتوي السيراميك النيتريد السيليكون على توصيل حراري عالي ، يمكن أن يقوم بفعالية وتبديد الحرارة الناتجة عن الجهاز ، مما يساعد على الحفاظ على استقرار درجة حرارة الجهاز في عملية التشغيل. هذا أمر بالغ الأهمية للتشغيل عالي الأداء لأجهزة أشباه الموصلات.

1.

غالبًا ما يتم استخدام سيراميك نيتريد السيليكون كمواد لخطوط الكهروستاتيكية ومكونات غرفة الحفر في تصنيع أشباه الموصلات بسبب استقرارها الكيميائي الممتاز ومقاومة درجة الحرارة العالية. تُستخدم الخنازير الإلكتروستاتيكية لإصلاح رقائق أو ركائز ، في حين يتم استخدام مكونات غرفة الحفر لتحمل الغازات المسببة للتآكل والبيئات ذات درجة الحرارة العالية.

2. لوحات توزيع الغاز والانعكاسات

يتم استخدام سيراميك نيتريد السيليكون أيضًا في تصنيع معدات أشباه الموصلات في لوحات توزيع الغاز وعاكسات. تُستخدم لوحات توزيع الغاز لتوزيع غازات تفاعلية أو وقائية بشكل موحد في غرفة التفاعل ، بينما يتم استخدام العاكسات لتحسين توزيع وانعكاس الضوء داخل غرفة التفاعل لتحسين كفاءة التفاعل والتوحيد.

3. حاملي المكونات الحرارية

غالبًا ما يتم استخدام سيراميك نيتريد السيليكون كحاملين ومكونات الإدارة الحرارية في معدات تصنيع أشباه الموصلات. تحتاج هذه المكونات إلى قوة ميكانيكية جيدة ، ومقاومة التآكل والتوصيل الحراري لضمان تشغيل المعدات المستقرة ودقة معالجة الأجهزة.

4. منصات التلميع الميكانيكية الكيميائية (CMP)

يستخدم السيراميك السيليكون على نطاق واسع كمواد وسادة في عملية التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP). يتمتع بالتسوم الممتاز ومقاومة التآكل ، ويمكن أن يوفر دعمًا مستقرًا أثناء عملية التلميع لضمان تسطيح ودقة سطح رقاقة أشباه الموصلات.