حامل من كربيد السيليكون CVD (SiC) مطلي بالجرافيت RTP RTA

ميزات المنتج

· المعدات الأساسية:مصممة لأنظمة التلدين الحراري السريع (RTA) والمعالجة الحرارية السريعة (RTP).

· بريماراي Aالتطبيق: الأمثل لعمليات التلدين لرقائق أشباه الموصلات.

· مرجع سابقeتصنيف تيدرجة الحرارة:عملية مستقرة من 200 درجة مئوية إلى 700 درجة مئوية.

· Excهناكالتوحيد: يضمن توزيعًا متساويًا للحرارة لمعالجة الرقائق بشكل متسق.

· الجسيمات المنخفضةGالتوليد: يعمل طلاء CVD SiC الكثيف على تقليل التلوث وتحسين إنتاجية الإنتاج.

· مقاومة كيميائية متفوقة:مقاومة للأكسدة والغازات المسببة للتآكل أثناء المعالجة الحرارية.

· رائعز ثيرممقاومة الصدمات: يحافظ على السلامة الهيكلية من خلال دورات التسخين والتبريد السريعة المتكررة.

· عمر الخدمة الطويل:تعمل طبقة SiC المقاومة للاهتراء على إطالة عمر المكونات بشكل كبير وتقليل تكاليف الصيانة.

· مخصصتصنيع:متوفر بأحجام وتكوينات مختلفة لتتناسب مع معدات RTP/RTA المختلفة.

المواصفات الفنية

التطبيقات

·التلدين الحراري السريع (RTA)

· المعالجة الحرارية السريعة (RTP)

· تلدين رقاقة السيليكون

· تفعيل المنشطات

· أكسدة

· انتشار

·تصنيع أشباه الموصلات المركبة

·تصنيع ممس

·معالجة أشباه الموصلات الطاقة

التعليمات

1. ما هو ناقل RTP/RTA؟

يعتبر حامل RTP/RTA أحد مكونات دعم الرقاقة المستخدمة داخل المعالجة الحرارية السريعة وأنظمة التلدين الحراري السريع. إنه يحمل بشكل آمن رقائق أشباه الموصلات مع توفير نقل حرارة موحد طوال الدورة الحرارية.

2. لماذا يُفضل طلاء CVD SiC؟

بالمقارنة مع الجرافيت العاري، فإن طلاء CVD SiC يوفر مقاومة فائقة للأكسدة، وتوليد جزيئات أقل، واستقرار كيميائي أفضل، وعمر خدمة أطول بشكل ملحوظ.

3. هل يمكن لشركة VETEK توفير ناقلات RTP/RTA مخصصة؟

نعم. تقدم VETEK ناقلات RTP/RTA مخصصة بناءً على رسومات العملاء.