ما هو قارب الجرافيت PECVD؟

ⅰ. ما هي مادة قارب الجرافيت PECVD؟

المادة الأساسية لقارب الجرافيت PECVD(قارب الجرافيت البخاري المحسن في البلازما) مصنوع من نظرية عاليةمادة الجرافيت المتناحية(عادة ما يكون النقاء 99.999 ٪) ، ويتم تعديله بواسطة عمليات خاصة (مثل ترسب البخار الكيميائي CVD أو طلاء السطح). يستخدم الجرافيت عالي النقاء على نطاق واسع في أنظمة PECVD بسبب الموصلية الكهربائية الممتازة والتوصيل الحراري العالي (80 ~ 150 W/M · K). هذامادة الجرافيت عالية النقاءيمكن أن تحافظ على الاستقرار الهيكلي الجيد والاستقرار الكيميائي في بيئات درجات الحرارة العالية ، ويمكن أن يقاوم التآكل من الغازات التفاعلية والبلازما.

ⅱ. ما هي الخصائص الفيزيائية لقارب الجرافيت؟

تتضمن الخصائص الفيزيائية لقوارب الجرافيت PECVD:

● الموصلية الكهربائية: لدى الجرافيت المتساوي الموصلية الكهربائية الممتازة ، والتي تمكنه من إدارة الطاقة الكهربائية بشكل فعال وتعزيز توليد وصيانة البلازما أثناء عملية PECVD.

●  الموصلية الحرارية: يساعد الموصلية الحرارية العالية للجرافيت (حوالي 80 ~ 150 واط/م · ك) في الحفاظ على بيئة درجة حرارة مستقرة أثناء عملية PECVD وضمان ترسب موحد للأفلام الرقيقة.

●  كثافة: تتراوح كثافة الجرافيت متعدد البلورات من 1.30 جم/سم إلى 1.88 جم/سم. كلما زادت الكثافة ، كلما كانت الخصائص المادية والميكانيكية أفضل ، والتي يمكن أن تحسن عمر خدمة المنتج.

ⅲ. ما هي مزايا قارب الجرافيت PECVD مقارنة بقارب الجرافيت العادي؟

بالمقارنة مع قوارب الجرافيت العادية ، فإن قوارب الجرافيت PECVD لها المزايا التالية:

ⅳ. لماذا تختار قارب الجرافيت PECVD الخاص بـ VETEKSEMICON؟

كما نعلم جميعًا ، فإن Veteksemicon هي شركة تصنيع رائدة ومورد لمنتجات طلاء أشباه الموصلات ومنتجات الجرافيتفي الصين. ملكناقوارب الجرافيت PECVDتستخدم بشكل أساسي في صناعات أشباه الموصلات والصور الكهروضوئية ، وخاصة في عمليات PECVD و CVD.

عادةً ما تستخدم قوارب الجرافيت كحاملات لحمل رقائق السيليكون أو مواد أخرى لضمان معالجة ونقل هذه المواد الآمنة في بيئات درجة الحرارة والبلازما المرتفعة. على سبيل المثال ، في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، تم تصميم قوارب الجرافيت PECVD من Veteksemicon لعمليات ترسيب البخار الكيميائي المحسّن للبلازما. يلعب قارب الجرافيت دور إيداع طبقات النيتريد السيليكون (SINₓ) والأفلام الثابتة العازلة المنخفضة (منخفضة K).

في الحقل الكهروضوئي ، يتم استخدام قوارب الجرافيت PECVD لإعداد الخلايا الشمسية الرقيقة القائمة على السيليكون (مثل طبقات التخميل السيليكون A-Si: H) و PERC. يعمل قارب PECVD من PECVD من Veteksemicon على تحسين عملية الطلاء عن طريق تباعد رقائق السيليكون بشكل فعال وتحفيز تصريف التوهج لتحقيق ترسب موحد.

والأهم من ذلك ، يمكن لـ VeteKsemicon توفير منتجات مخصصة وخدمات فنية ، ويمكنها تصميم وتصنيع منتجات قوارب الجرافيت من مواصفات مختلفة وفقًا لمتطلبات العملية الفعلية. إن اختيار VeteKsemicon يعني اختيار رائدة في الصناعة بقوة قوية في صناعات أشباه الموصلات والصناعة الكهروضوئية. نتطلع بصدق إلى أن تصبح شريكك على المدى الطويل.