كربيد tantalum المسامي

تعتبر كربيد Tantalum المسامية في VETEK عبارة عن مادة خزفية عالية الأداء تجمع بين خصائص التانتالوم والكربون. هيكله المسامي مناسب جدًا لتطبيقات محددة في درجة حرارة عالية وبيئات متطرفة. يجمع TAC بين الصلابة الممتازة والاستقرار الحراري والمقاومة الكيميائية ، مما يجعلها اختيارًا مثاليًا للمادة في معالجة أشباه الموصلات.

يتكون كربيد tantalum المسامي (TAC) من tantalum (TA) والكربون (C) ، حيث يشكل التانتالوم رابطة كيميائية قوية مع ذرات الكربون ، مما يمنح المادة متانة عالية للغاية ومقاومة التآكل. يتم إنشاء بنية المسامية من TAC المسامية أثناء عملية تصنيع المادة ، ويمكن التحكم في المسامية وفقًا لاحتياجات التطبيق المحددة. عادة ما يتم تصنيع هذا المنتج بواسطةترسيب البخار الكيميائي (CVD)الطريقة ، ضمان التحكم الدقيق في حجم المسام وتوزيعه.

التركيب الجزيئي لكربريد التانتالوم

يحتوي Carbide المسامي على أشباه الموصلات النقش (TAC) على ميزات المنتج التالية

● المسامية: يعطيه الهيكل المسامي وظائف مختلفة في سيناريوهات تطبيق محددة ، بما في ذلك انتشار الغاز أو الترشيح أو تبديد الحرارة المتحكم فيه.

● نقطة انصهار عالية: لدى Tantalum Carbide نقطة انصهار عالية للغاية تبلغ حوالي 3880 درجة مئوية ، وهي مناسبة لبيئات درجة الحرارة العالية للغاية.

● صلابة ممتازة: TAC المسامية لديها صلابة عالية للغاية حوالي 9-10 في مقياس صلابة MOHS ، على غرار الماس. ، ويمكن أن تقاوم التآكل الميكانيكي في ظل الظروف القاسية.

● الاستقرار الحراري: يمكن أن تظل مادة Tantalum Carbide (TAC) مستقرة في بيئات درجات الحرارة العالية ولها ثبات حراري قوي ، مما يضمن أداءها المتسق في بيئات درجات الحرارة العالية.

● الموصلية الحرارية العالية: على الرغم من مسامية ، لا يزال كربيد tantalum المسامي يحتفظ بالتوصيل الحراري الجيد ، مما يضمن نقل الحرارة الفعال.

● معامل التمدد الحراري المنخفض: يساعد معامل التوسع الحراري المنخفض في كربيد tantalum (TAC) على أن يظل المادة مستقرة أبعادًا في ظل تقلبات كبيرة في درجة الحرارة ويقلل من تأثير الإجهاد الحراري.

الخصائص الفيزيائية لطلاء TAC

في تصنيع أشباه الموصلات ، يلعب كربيد tantalum المسامي (TAC) دورًا رئيسيًا محددًا التاليs

في عمليات درجات الحرارة العالية مثلحفر البلازماو CVD ، غالبًا ما يتم استخدام كربيد tantalum المسامي في VETEK كطلاء واقعي لمعدات المعالجة. هذا بسبب مقاومة التآكل القويةطلاء TACواستقرار درجة الحرارة العالية. تضمن هذه الخصائص أنها تحمي بشكل فعال الأسطح المعرضة للغازات التفاعلية أو درجات الحرارة القصوى ، مما يضمن التفاعل الطبيعي لعمليات درجة الحرارة العالية.

في عمليات الانتشار ، يمكن أن يكون كربيد tantalum المسامي بمثابة حاجز انتشار فعال لمنع خلط المواد في عمليات درجة الحرارة العالية. غالبًا ما تستخدم هذه الميزة للتحكم في نشر المخدرات في عمليات مثل زرع الأيونات والتحكم في نقاء رقائق أشباه الموصلات.

يعد الهيكل المسامي لكربريد Tantalum المسامي الفيتيك مناسبًا جدًا لبيئات معالجة أشباه الموصلات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في تدفق الغاز أو الترشيح. في هذه العملية ، يلعب TAC المسامي بشكل رئيسي دور ترشيح الغاز وتوزيعه. يضمن القصص الكيميائية الخاصة به عدم إدخال ملوثات أثناء عملية الترشيح. هذا يضمن بفعالية نقاء المنتج المعالج.

طلاء كربيد tantalum (TAC) على مقطع عرضي مجهري