كيفية اختيار صينية الجرافيت MOCVD؟

السؤال 1: ما هي صينية الجرافيت MOCVD ولماذا هي مهمة للغاية للعملية الفوقية؟

يعد ترسب البخار الكيميائي المعدني (MOCVD) لوحة الجرافيت ، والمعروفة أيضًا باسم صينية الجرافيت MOCVD أو مصور الجرافيت MOCVD ، مكونًا عالي النقاء يستخدم لإصلاح رقائق أشباه الموصلات أثناء النمو الفوقي. في العملية الفوقية ، يعمل كعنصر تسخين ويضمن توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة ، والذي يلعب دورًا لا يمكن الاستغناء عنه في إيداع الأفلام الرقيقة في تطبيقات مثل أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة ، وتصنيع LED ، والخلايا الشمسية.

يمكن لدرج الجرافيت تحمل درجات الحرارة القصوى (ما يصل إلى 1800 درجة مئوية) وبيئات الغاز المسببة للتآكل ، مما يجعلها مادة لا غنى عنها لأنظمة MOCVD عالية الحرارة ، مقاومة للتآكل. يؤثر أدائها بشكل مباشر على تناسق العملية وعائد الرقاقة.

السؤال 2: ما هي خصائص المواد التي يجب تحديد أولوياتها عند اختيار صواني الجرافيت MOCVD؟

يتطلب اختيار لوحة الجرافيت الصحيحة تقييم خصائصها الفيزيائية والكيميائية:

● نقاء مرتفع (أكثر من 99.999 ٪):

عادةً ما يمكن أن تلوث الشوائب مثل المعادن أو الرماد العملية الفوقية. إن اختيار مورد حساس الجرافيت عالي النقاء مثل Veteksemicon يضمن الحد الأدنى من العيوب في Epilayer أشباه الموصلات.

●  استقرار حراري ممتاز:

أثناء المعالجة الفعلية ، يجب أن تكون ألواح الجرافيت قادرة على تحمل بعض الصدمات الحرارية والحفاظ على السلامة الهيكلية تحت دورات درجة الحرارة السريعة. يضمن الجرافيت عالي الكثافة في PeteKsemicon توزيعًا موحدًا للحرارة ، وهو أمر بالغ الأهمية لنمو الأفلام الموحدة.

●  مقاومة تآكل ممتازة:

في بيئة عملية MOCVD ، يتعرض الجرافيت عمومًا للغازات المسببة للتآكل (على سبيل المثال ، الأمونيا ، الهيدروجين). ألواح الجرافيت MOCVD المقاومة للترسيب عالية الحرارة مع بنية الحبيبات الدقيقة تقلل من التآكل وتمديد عمر الخدمة.

●  القوة الميكانيكية عالية الأداء:

في العملية الفوقية ، يجب أن تدعم صواني الجرافيت MOCVD رقائق متعددة دون توصيلها. وفقًا لإحصائيات Veteksemicon في المعالجة الفعلية ، يجب أن تكون قوة الانحناء في لوحة الجرافيت ≥50 ميجا باسكال لمنع تكسير الدرج.

س 3: كيف يؤثر سيناريو التطبيق على اختيار صواني الجرافيت MOCVD؟

تتطلب عمليات MOCVD المختلفة تصميمات لوحة الجرافيت المصممة:

●  النمو الفوقي لـ LED/الفوتونيك:

يتم استخدام ألواح الجرافيت MOCVD فائقة السلع في عملية Epitaxy لتقليل توليد الجسيمات وضمان طبقات خالية من العيوب.

على سبيل المثال ، تم تصميم ألواح الجرافيت MOCVD VETEKSEMICON MOCVD (أو لوحات الجرافيت VETEKSEMON لـ MOCVD) لـ GAN و GAAs Epitaxy وتوفر إدارة حرارية محسنة.

●  تصنيع أشباه أشباه الموصلات:

بالاقتران مع الإحصاءات التجريبية لأشباه الموصلات شبه شبه ، تفضل عمومًا من الأطباق مع مقاومة الأكسدة المعززة لعمليات كربيد السيليكون (SIC) أو نيتريد الغاليوم (GAN).

●  إنتاج عالي الإنتاجية:

تتطلب صواني Multi-Affer معالجة دقيقة للتوافق مع تصميم المفاعل. يمكن لتخصيص صواني الجرافيت MOCVD من مورد موثوق semikera semiconductor مطابقة تكوينات الأدوات المحددة.

Q4: ما هي الاعتبارات الرئيسية لإيجاد مورد لوحة الجرافيت MOCVD موثوق؟

●  الشهادة والاختبار:

تحقق من أن المورد يوفر شهادة المواد (مثل تقرير النقاء ، اختبار الكثافة) ويوفر معالجة سطح ما بعد المعالجة (مثل الطلاء للحد من المسامية). بصفتها الشركة الرائدة في مجال طلاء أشباه الموصلات الصينية وتصنيع معدات العمليات الفوقية ، تم اعتماد لوحات الجرافيت Veteksemicon MOCVD من قبل الإدارات الحكومية لإجراء تجارب صارمة ، ونتائج اختبار النقاء والكثافة من منتجاتها قبل أقرانها.

●  قدرات التخصيص:

يجب على الموردين الأعلى للجرافيت في الجرافيت تخصيص الحجم ونمط الثقب والطلاء لتلبية متطلبات المفاعل. يتمتع كل من فتيكسيمون وشبكيات أشباه الموصلات semikera بإمكانيات خدمة التخصيص للمنتجات والتقنيات ذات الصلة ، وهي قادرة تمامًا على تلبية احتياجاتك المخصصة المختلفة.

●  العمر وكفاءة التكلفة:

على الرغم من أن الجرافيت الأرخص يمكن أن يوفر التكاليف المقدمة ، إلا أن لوحات الجرافيت السفلية ستؤدي إلى استبدال وتوقف متكرر ، مما يؤثر بشكل خطير على كفاءة الإنتاج العادية. سيمكّن اختيار لوحات الجرافيت Veteksemicon وغيرها من المنتجات من أعمالك من تحقيق إنتاج موثوق به على المدى الطويل.

س 5: كيف تمدد عمر خدمة صواني الجرافيت MOCVD؟

●  منع الأكسدة: استخدام تطهير الغاز الخامل أثناء دورات التدفئة/التبريد.

●  تنظيف بانتظام: استخدام طرق غير كاشفة (مثل الحفر الجاف) لإزالة البقايا المودعة.

●  تجنب الإجهاد الميكانيكي: التعامل مع الدرج بعناية أثناء تحميل الويفر/التفريغ.

أفضل نصيحة لك:

بالنسبة لألواح الجرافيت MOCVD المقاومة للتآكل المرتفع في درجات الحرارة ، تعطي أولوية للموردين ذوي الخبرة في مواد الدرجة شبه الموصل.

اختبار العينات في ظل ظروف العملية الفعلية للتحقق من الأداء.

استكشاف الطلاء المتقدم (مثل طلاء SIC ، طلاء TAC) لتعزيز المتانة والموثوقية في البيئات القاسية.

لمزيد من المعلومات حول لوحة الجرافيت MOCVD طلاء SIC ، انقر هنا.

لمزيد من المعلومات حول لوحة الجرافيت MOCVD TAC ، انقر هنا.