مسامي كذا الخزفية

يتكون هذا الخزانة السيراميك المسامية التي تقدمها VeteKsemicon من كربيد السيليكون المسامي عالي النقاء (SIC) ، ويضمن هذا تشاك الخزفي تدفق غاز موحد ، تسطيح ممتاز ، والاستقرار الحراري في ظل ظروف فراغ عالية ودرجات حرارة. إنه مثالي لأنظمة التثبيت الفراغ ، حيث يكون التعامل مع الرقاقة غير الممتاز ، خالية من الجسيمات أمرًا بالغ الأهمية.

ⅰ. خصائص المواد الرئيسية وفوائد الأداء

1. الموصلية الحرارية الممتازة ومقاومة درجة الحرارة

يوفر كربيد السيليكون الموصلية الحرارية العالية (120-200 واط/م · ك) ويمكن أن يصمد أمام درجات حرارة التشغيل التي تتجاوز 1600 درجة مئوية ، مما يجعل تشاك مثالية للحفر البلازما ، ومعالجة شعاع الأيونات ، وعمليات ترسيب درجة الحرارة العالية.

الدور: يضمن تبديد حرارة موحدة ، وتقليل الويفر واردة الحرب وتحسين توحيد العملية.

2. القوة الميكانيكية المتفوقة ومقاومة التآكل

تعطي البنية المجهرية الكثيفة لـ SIC صلابة Chuck استثنائية (> 2000 HV) والمتانة الميكانيكية ، وهي ضرورية لتكرار دورات التحميل/التفريغ وبيئات العملية القاسية.

الدور: يطيل عمر تشاك مع الحفاظ على الاستقرار الأبعاد ودقة السطح.

3. المسامية التي يتم التحكم فيها لتوزيع الفراغ الموحد

يتيح البنية المسامية المضبوطة بدقة للسيراميك شفط فراغ متسق عبر سطح الرقاقة ، مما يضمن وضع الويفر الآمن مع الحد الأدنى من تلوث الجسيمات.

الدور: يعزز توافق الغرفة النظيفة ويضمن معالجة رقاقة خالية من الأضرار.

4. مقاومة كيميائية ممتازة

إن الانتخابات التي تآكلها غازات التآكل وبيئات البلازما تحمي تشاك من التدهور أثناء الحفر الأيوني التفاعلي أو التنظيف الكيميائي.

الدور: يقلل من وقت التوقف عن العمل والتنظيف ، مما يقلل من التكلفة التشغيلية.

ⅱ. خدمات تخصيص ودعم Veteksemicon

في Veteksemicon ، نقدم مجموعة كاملة من الخدمات المصممة لتلبية المتطلبات الصارمة لمصنعي أشباه الموصلات:

● تصميم هندسة مخصصة وتصميم حجم المسام: نحن نقدم الخنازير بأحجام مختلفة ، وسمك ، وكثافة المسام المخصصة لمواصفات المعدات الخاصة بك ومتطلبات الفراغ.

● النماذج الأولية للتحول السريع: أوقات الرصاص القصيرة ودعم إنتاج MOQ المنخفض لخطوط البحث والتطوير والطيار.

● خدمة موثوقة بعد البيع: من إرشادات التثبيت إلى مراقبة دورة الحياة ، نضمن استقرار الأداء على المدى الطويل والدعم الفني.

ⅲ. التطبيقات

● معدات الحفر ومعالجة البلازما

● زرع أيون الغرس والصلصة

● أنظمة التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP)

● منصات القياس والتفتيش

● أنظمة القابض والتشبث بالفراغ في بيئات غرفة النظافة

متجر منتجات Vekekemeicon: