فوهة سيراميك أشباه الموصلات

تلعب الفوهة الخزفية لأشباه الموصلات دورًا مهمًا فيعملية HDP-CVDتستخدم للسيطرة على تدفق الغاز بدقة وضمانترسب فيلم عالي الجودة. تم تصميم رذاذ فوهة السيراميك بدقة لضمان معدلات تدفق الغاز المتسقة ويمكن التحكم فيها ، مما يقلل من الاضطراب المحتمل عندما يدخل الغاز في غرفة التفاعل.

المواصفات الفنية:

1. التكوين المادي:

عادةً ما تكون فوهة تفجير الرمل الخزفية VeTeK Semiconductor مصنوعة من سيراميك أشباه الموصلات مثل أكسيد الألومنيوم (Al2O3)،كربيد السيليكون (كذا)أو أكسيد الزركونيوم (Zro2) ، هذه المواد لها خصائص ممتازة:

    • ثبات حراري عالي (يمكن أن يتحمل درجات حرارة أعلى من 1000 درجة مئوية)

    • مقاومة التآكل بواسطة الغازات التفاعلية المستخدمة فيهاعمليات الأمراض القلبية الوعائية(مثل سيلان ، الأمونيا)

    • مقاومة التعرض المستمر للبلازما.

2. التصميم الهيكلي:

    • حجم الفتحة: تم تصميم فتحة فوهة السيراميك أشباه الموصلات علمياً لتمكين التحكم الدقيق في تدفق الغاز ، مما يؤثر بدوره على توحيد الفيلم وسمكه.

    • الزوايا والأشكال الهندسية: مصممة بدقة لضمان التوزيع الموحد للغاز عبر الركيزة، وتقليل العيوب في الطبقة المترسبة.

في صناعة أشباه الموصلات ، تلعب فوهة الانفجار الخزفي أشباه الموصلات دورًا رئيسيًا في عملية HDP-CVD. كما أنها تستخدم لإيداع الأفلام الرقيقة لإنتاج الإلكترونيات الدقيقة ، مما يضمن الطلاءات السطحية عالية الجودة موحدة وخالية من الملوثات.

نقض متاجر فوهة السيراميك النقش: