فراغ تشاك

طلب: 

تشاك فراغ عالي الكفاءة مصنوع من أجل الامتزاز الدقيق وتثبيت الشركة للرقائق والسبائك. إنه مناسب بشكل جيد للحالات بما في ذلك تصنيع أشباه الموصلات ، وقطع الويفر ، ومعالجة الدقة ، وارتفاع درجة الحرارة ، والحفر ، وزرع أيون.

المعلمات الأساسية:

● المسامية القابلة للتعديل (تتراوح من 10 - 200μm).
● قادرة على تحمل درجات حرارة مرتفعة (تصل إلى -1600 درجة مئوية) وإظهار مقاومة صدمة حرارية ممتازة.
● فراغ الامتزاز: المعيار هو - 90kpa (قابل للتخصيص للوصول إلى 100 كيلو باسكال).

● أبعاد كأس الشفط: يمكن أن تدعم 4/6/8/12 - رقائق بوصة ، ويمكن تخصيص حجم السندات وفقًا للاحتياجات المحددة.

ⅰ. وصف

يستخدم Chuck Ceramic Ceramic Venteksemon بنية مشتركة من السيراميك المسامي وحلقة خارجي معدني. من خلال التصميم الشخصي للقنوات والمسامات الجوية ، فإنه يدرك توزيع قوة امتصاص وارتفاع الاستقرار. هذا Chuck يناسب تصنيع أشباه الموصلات ، وقطع الرقاقة ، والمعالجة الدقيقة ، وما إلى ذلك. يمكن أن تعمل في إعدادات الحركة العالية والسرعة عالية السرعة وتلبية متطلبات التوافق للرقائق/سبائك بأحجام مختلفة.

ⅱ. الهيكل الأساسي والمزايا المادية

تخطيط مركب متعدد الطبقات:

✔ الطبقة السطحية: مصنوعة من السيراميك المسامي (يمكنك الاختيار بين كربيد السيليكون المسامي أو الجرافيت المسامي). يمكن ضبط قطر المسام (10 - 200μm) ، مما يضمن نقل قوة الامتزاز بالتساوي إلى سطح الرقاقة ، وبالتالي منع بناء الإجهاد المحلي.

✔ المصفوفة: يتألف من إطار معدني جامد للغاية (إما الفولاذ المقاوم للصدأ أو سبيكة الألومنيوم) لتقديم الدعم الهيكلي وإكمال الهواء.

✔ الخطوط الجوية والمسام: تشكل الشعب الهوائي الداخلي المكشوف بدقة شبكة ، إلى جانب micropores متباعدة بالتساوي. يدعم هذا الإعداد استخراج الفراغ السريع (يمكن أن تصل قوة الامتزاز إلى - 90 كيلو باسكال) والإفراج الفوري.

Ⅲ . مقارنة ماخصائص terial

1. مقارنة خصائص المواد

2. سيناريوهات التطبيق والحالات

✔ أشباه الموصلات فابريساتيو

النمو الفوقي: يمكن أن يتم امتصاص رقائق SIC بحزم في درجات حرارة عالية ، مما يمنع الرقائق من التزييف والتلوث.

الطباعة الحجرية والحفر: يتيح تحديد موقع دقيق على منصات نقل عالية السرعة (تسارع ≤10g) ، مما يضمن دقة محاذاة الرسوم.

✔ معالجة السبل

القطع والطحن: يمكن أن تمتص سبائك ثقيلة (مثل الياقوت والسيليكون - سبائك الكربيد) ، مما يقلل من تكسير الحافة بسبب الاهتزاز.

✔ البحث العلمي والتقنيات الخاصة

ارتفاع درجة الحرارة الصلب: يمكن أن تعمل أكواب شفط الكربيد التي يسهل اختراقها بشكل مستمر عند 1600 درجة مئوية دون تشوه أو تلوث تنفيس.

طلاء فراغ: مع تصميم ضيق - الهواء ، يمكن أن يتكيف مع بيئة تجويف PVD/CVD.

3. خدمة مخصصة

✔ نحن نقدم التخصيص للحجم والتحميل.

✔ يمكن تحسين stomata ومجرى الهواء لتلبية متطلبات محددة.

✔ يمكن تكييفه مع بيئات خاصة.

ⅳ. التعليمات:

كيف تحقق خطيفة الفراغ توافقًا متعدد الحجم في الرقاقة (على سبيل المثال 12/8/6 ")؟

س: كيف يتناسب تشاك واحد مع رقاقة 12 بوصة و 8 بوصات و 6 بوصات في نفس الوقت؟ هل إعادة الهيكلة البدنية ضرورية؟

ج:توافق متعدد الأبعاد من خلال مجرى الهواء والتقسيم الثدي التكيفي:

✔ السيطرة على الثبات الديناميكي: يتم توزيع stomata على سطح المصاص في منطقة الحلقة ، ويتم التحكم في دائرة الهواء في مناطق مختلفة بواسطة صمام خارجي.

على سبيل المثال ، عند امتصاص رقاقة 8 بوصات ، يتم تمكين المسام في المنطقة المركزية فقط ويتم إغلاق المسام الخارجية (لتجنب تسرب قوة الامتزاز).

✔ تصميم مجرى الهواء المرن: تحتوي شبكة المنفذ على تصميم معياري يطابق ملامح الحافة من رقائق الأحجام المختلفة لضمان تغطية قوة الامتزاز الموحدة. و المزايا هي على النحو التالي:

استبدال الأجهزة الصفرية: لا حاجة لإزالة أو استبدال كوب الشفط ، من خلال مفتاح صمام البرمجيات أو الغاز يمكن تكييفه بأحجام مختلفة.

وفورات في التكاليف: تقليل تكاليف تجديد المعدات ووقت التوقف ، وزيادة مرونة خط الإنتاج.