تشاك الإلكتروستاتيكي الخزفي

يتم تنفيذ عمليات إنتاج أشباه الموصلات ، وخاصة معالجة الويفر ، في بيئة فراغ ، وتحمل رقائق التثبيت ميكانيكيا 

مخاطر معينة. عندما تتركز القوة على نقطة التثبيط ، قد تتخلى رقائق السيليكون الهشة شظايا صغيرة ، مما تسبب في أضرار جسيمة لإنتاج الرقاقة.

في هذه الحالة ، يصبح تشاك الإلكتروستاتيكي الخزفي خيارًا أفضل ، والذي يعمل على إصلاح الرقاقة بالقوة الإلكتروستاتيكية. تعمل القوة الإلكتروستاتيكية بالتساوي على الرقاقة ، بحيث يمكن إصلاح الرقاقة بشكل قاطع ، مما يحسن دقة العملية.

وفقًا للأوراق البحثية ذات الصلة ، فإن تشاك الإلكتروستاتيكي الخزفي له شفط أقوى من غيرها من الخنازير الإلكتروستاتيكية. على سبيل المثال ، لدى Chuck الإلكتروستاتيكي السيراميك شفطًا أقوى بكثير من فيلم Pet Film Electrostatic Chuck.

عادةً ما تكون السيراميك تشاك مصنوعة من مواد سيراميك عالية الأداء مثل AL2O3 أو ALN أو SIC ، والتي لديها مقاومة عالية للحرارة ، عزل ومقاومة للتآكل. إن تشاك السيراميك المسامي ليس مستقرًا في درجات الحرارة القصوى فحسب ، بل يمنع أيضًا بشكل فعال chuck الخزفي الإلكترونية من التدهور بسبب الكواشف الكيميائية وحفر البلازما أثناء عملية التصنيع.

التحكم في درجة الحرارة: إن الموصلية الحرارية العالية والخصائص الحرارية المستقرة للمواد السيرامية تتيح تشاك الفراغ الخزفي للألومينا للتحكم في درجة الحرارة بشكل فعال ، وبالتالي تحسين توزيع درجة الحرارة أثناء العملية.

قابلية التكيف الفراغ: تشاك الإلكتروستاتيكي الخزفي مناسب لبيئات الفراغ ، وخاصة في عمليات الحفر ذات الضغط المنخفض والاحتياط العالي.

توليد الجسيمات منخفضة: يحتوي chuck السيراميك الإلكتروني المسامي على سطح أملس ، والذي يمكن أن يقلل من تلوث الجسيمات أثناء تثبيت الرقاقة ويساعد على تحسين محصول المنتج.

التطبيق: يستخدم بشكل رئيسي في تصنيع أشباه الموصلات ، تشاك كهربائي للسيراميك القابل للفصل الذي يوفر تحديد موقع واستقرار دقيق ، وهو مفيد للغاية لعمليات تصنيع الطباعة الحجرية وغيرها من عمليات تصنيع معالجة رقاقة أشباه الموصلات. تأكد من أن الرقاقة سليمة أثناء المعالجة وتحسين جودة إنتاج الرقائق.

انها أشباه الموصلاتمتاجر إنتاج السيراميك الإلكترونية: