طلاء السيراميك السيليكون كربيد

انها أشباه الموصلات طلاء السيراميك السيليكون كربيدعبارة عن طلاء وقائي عالي الأداء مصنوع من مادة كربيد السيليكون (SIC) الصلبة للغاية والمقاومة للارتداء ، والتي توفر مقاومة تآكل كيميائية ممتازة واستقرار ارتفاع درجة الحرارة. هذه الخصائص حاسمة في إنتاج أشباه الموصلات ، لذلك يستخدم طلاء السيراميك السيليكون على نطاق واسع على المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات.

الدور المحدد الذي تلعبه الفيتوك شبه أشباه الموصلات السيليكون كربيد الطلاء في إنتاج أشباه الموصلات هوعلى النحو التالي:

تعزيز المتانة المعدات: يوفر طلاء السيراميك السيليكون Carbide حماية ممتازة لسطح معدات تصنيع أشباه الموصلات مع صلابة عالية للغاية ومقاومة التآكل. في درجات الحرارة العالية ، يمكن أن تمنع بيئات العمليات المتآكلة للغاية ، مثل ترسب البخار الكيميائي (CVD) وحفر البلازما ، طلاء سيراميك السيليكون كربيد ، بشكل فعال أن يمنع الأضرار التي لحقت بسطح المعدات بسبب التآكل الكيميائي أو التآكل الفيزيائي ، مما يمتد بشكل كبير من خدمة المعدات وخفض وقت التوقف عن التوقف عن التآكل والبداية.

تحسين نقاء العملية: في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، قد يتسبب أي تلوث صغير في عيوب المنتج. يتيح الصخور الكيميائية لطلاء سيراميك السيليكون كربيد أن تظل مستقرة في ظل الظروف القاسية ، ومنع المادة من إطلاق الجزيئات أو الشوائب ، وضمان نقاء البيئة أثناء العملية. هذا مهم بشكل خاص لخطوات التصنيع التي تتطلب نظافة عالية ونظافة عالية ، مثل PECVD وزرع أيون.

تحسين الإدارة الحرارية: في معالجة أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية ، مثل المعالجة الحرارية السريعة (RTP) وعمليات الأكسدة ، تتيح الموصلية الحرارية العالية لطلاء سيراميك سيليكون كربيد توزيع درجة حرارة موحدة داخل المعدات. هذا يساعد على تقليل الإجهاد الحراري وتشوه المواد الناجم عن تقلبات درجة الحرارة ، وبالتالي تحسين دقة تصنيع المنتجات والاتساق.

دعم بيئة عملية المعقدة: في العمليات التي تتطلب تحكمًا معقدًا في الجو ، مثل حفر الحفر ومقاومة PSS ، تضمن مقاومة الاستقرار والأكسدة لمدفأة طلاء السيربيد السيليكون كربيد السيليكون الأداء المستقر للمعدات في التشغيل على المدى الطويل ، مما يقلل من خطر تدهور المواد أو تلف المعدات بسبب التغيرات البيئية.

انها أشباه الموصلاتيركز على تصنيع وتزويد الأداء العاليطلاء السيراميك السيليكون كربيد، ويلتزم بتوفير حلول تقنية ومتقدمة للمنتجات لصناعة أشباه الموصلات.نأمل مخلصين أن نكون شريكك على المدى الطويل في الصين.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لـطلاء السيراميك السيليكون كربيد:

حق النقض السيليكون سيليكون كربيد محلات طلاء السيراميك:

لمحة عامة عن سلسلة صناعة شريحة أشباه الموصلات: