سخان طلاء السيراميك السيليكون كربيد

انها أشباه الموصلاتسخان طلاء السيراميد السيليكون كربيد هو سخان مصمم لدرجة حرارة عالية وبيئات قاسية. إنه يعيد طبقة من طلاء السيراميك السيليكون (SIC) على سطح عنصر التدفئة لإعطاء المعدات مقاومة ممتازة للحرارة ومقاومة التآكل والتوصيل الحراري. 

سخان طلاء السيراميك السيليكون كربيديستخدم بشكل رئيسي في معدات الطلاء الفراغ (التبخر). الطرق الشائعة الاستخدام هي PCD (تجفيف المواد الكيميائية للبلازما) و PVD (ترسب البخار الفيزيائي) ، والتي تستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات والتطبيقات الصناعية عالية الطلب الأخرى.

جنبا إلى جنب مع تصميم الطلاء عالي الأداء لسخان طلاء السيراميد السيليكون ،يمكن أن يوفر حل تسخين ممتاز لعمليات درجات الحرارة العالية.

الموصلية الحرارية ممتازة: مادة SIC لها توصيل حراري ممتاز ، مما يضمن أن السخان يمكنه تحقيق توزيع حراري موحد في منطقة العمل ويقلل من تدرجات درجة الحرارة.

توفير توزيع حرارة موحدة: يستخدم سخان طلاء السيراميك السيليكون كربيد الموصلية الحرارية العالية للمواد SIC لتحقيق توزيع درجة حرارة موحدة في جميع أنحاء منطقة التدفئة. هذا أمر بالغ الأهمية لضمان المعالجة الحرارية الموحدة للرقائق شبه الموصلات في عمليات مختلفة في درجات الحرارة العالية مثل المعالجة الحرارية السريعة (RTP) ، والانتشار والأكسدة ، وتجنب عيوب المنتج الناتجة عن ارتفاع درجة الحرارة المحلية أو درجة حرارة غير متساوية.

ارتفاع درجة الحرارة: يمكّن طلاء SIC السخان من تحمل درجات حرارة عالية للغاية ، عادة ما يصل إلى 1600 درجة مئوية ، مناسبة لمختلف عمليات المعالجة عالية الحرارة.

تحسين مقاومة الحرارة: نظرًا لأن الطلاء يمكن أن يقاوم درجات حرارة عالية للغاية ، فإنه يؤدي بشكل جيد في العمليات التي تتطلب تشغيل درجة حرارة عالية الأجل. على سبيل المثال ، في عمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ، يمكن أن يضمن سخان طلاء السيراميك السيليكون كربيد السيليكون التشغيل المستقر على المدى الطويل للمعدات في درجات حرارة عالية والحفاظ على أداء تسخين متسق ، وبالتالي تحسين التكرار والموثوقية.

مقاومة التآكل الكيميائي: طلاء SIC له مقاومة عالية للغاية للحمض والقلويات والتآكل ، ويمكن أن تظل مستقرة لفترة طويلة في بيئة جو كيميائية معقدة ، مما يطيل عمر المعدات. 

تمديد حياة المعدات: طلاء SIC لديه مقاومة أكسدة ممتازة ومقاومة للتآكل ، ويمكن أن يقاوم بشكل فعال التآكل الكيميائي والأكسدة في درجات حرارة عالية. هذا أمر بالغ الأهمية في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، وخاصة في البيئة التي تتعامل مع الغازات والمواد الكيميائية المسببة للتآكل. يمكن أن يوسع التأثير الوقائي للطلاء بشكل كبير عمر خدمة السخان ويقلل من تواتر تكاليف استبدال المعدات وصيانتها.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لسخان طلاء السيراميك السيليكون:

حق النقض السيليكون سيليكون كربيد محلات سخان الطلاء السيراميك:

نظرة عامة على سلسلة صناعة الأبرشية النمطية النمطية: