سخان الجرافيت السيراميك السيليكون كربيد

انها أشباه الموصلات سخان الجرافيت السيراميك السيليكون كربيديجمع بين الموصلية الكهربائية والحرارية الممتازة للجرافيت ومقاومة درجة الحرارة العالية ومقاومة التآكل ومقاومة التآكل لطلاء السيراميك السيليكون ، وهو مصمم لبيئات تصنيع أشباه الموصلات القاسية. 

سخان الجرافيت السيراميك السيليكون كربيديستخدم بشكل أساسي في معدات الطلاء الفراغي (التبخر) ، والطرق المستخدمة عادة هي PCD (تجفيف المواد الكيميائية في البلازما) و PVD (ترسب البخار الفيزيائي). لعب هذا المنتج دورًا مهمًا في تعزيز التقدم التكنولوجي وتحسين كفاءة الإنتاج في صناعة أشباه الموصلات.نتطلع بصدق إلى مزيد من التعاون معك.

الملامح المادية والهيكلية لمدفأة الجرافيت السيراميك السيليكون كربيد هي كما يلي:

الركيزة الجرافيت: تشتهر الجرافيت بموصلية حرارية عالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض. يمكن أن يستجيب بسرعة لتغيرات درجة الحرارة والحفاظ على الاستقرار الهيكلي في درجات حرارة عالية.

طلاء السيراميك السيليكون السيليكون: طلاء SIC مغلف بالتساوي على سطح الجرافيت من خلال ترسب البخار الكيميائي أو غيرها من العمليات المتقدمة. تتمتع SIC بارتفاع صلابة للغاية ومقاومة للتآكل الكيميائي ، والتي يمكن أن تحمي الركيزة الجرافيت من الأكسدة عالية الحرارة والبيئات التآكل.

يحدد التصميم الهيكلي للمنتج الهيكلي للسيليكون كربيد المدفأة السخرية الجرافيتمزايا المنتج التي لا يمكن تعويضها لهذا المنتج في عملية معالجة أشباه الموصلات:

تسخين فعال وموحدة:

الموصلية الحرارية: يتيح الموصلية الحرارية العالية للجرافيت السخان الوصول بسرعة إلى درجة الحرارة المطلوبة والحفاظ عليها ، ويضمن طلاء SIC توزيعًا موحدًا للحرارة. هذا مهم بشكل خاص لعمليات أشباه الموصلات التي تتطلب التحكم الدقيق في درجة الحرارة ، مثل المعالجة الحرارية السريعة (RTP) وترسب البخار الكيميائي (CVD).

توحيد درجة الحرارة: من خلال توزيع الحرارة الموحدة ، يمكن أن يقلل سخان الجرافيت السيليكون للقرص السيليكون بشكل فعال من الإجهاد الحراري وتدرج درجة الحرارة ، مما يضمن تناسق وقياس رقائق أشباه الموصلات طوال عملية التدفئة.

حماية مكافحة التآكل:

المقاومة الكيميائية: تتيح مقاومة التآكل الكيميائي لطلاء SIC السخان من العمل بشكل ثابت ولوقت طويل في الغاز التآكل والبيئات الكيميائية ، وتجنب الأضرار التي لحقت بركيزة الجرافيت. هذه الميزة مهمة بشكل خاص في عمليات مثل ترسب البخار الكيميائي (CVD) وترسب البخار الكيميائي المعزز للبلازما (PECVD).

مقاومة الأكسدة: في درجات حرارة عالية ، يمكن أن يمنع طلاء SIC أكسدة الركيزة الجرافيت ، وتوسيع عمر خدمة المدفأة ، ويقلل من تواتر وصيانة المعدات.

تقليل تلوث الجسيمات:

استقرار السطح: طلاء SIC ليس مقاومًا للارتداء فحسب ، بل يمنع أيضًا الجزيئات من السقوط من سطح المادة بسبب ركوب الدراجات الحرارية أو التفاعلات الكيميائية ، وبالتالي تقليل خطر تلوث الجسيمات الذي قد يحدث أثناء تصنيع أشباه الموصلات وضمان بيئة عملية التنظيف العالي.

تحسين موثوقية العملية والكفاءة:

تصميم الحياة الطويلة: نظرًا لمزيج القوة الميكانيكية للجرافيت ومقاومة التآكل لطلاء SIC ، يمكن أن يحافظ سخان الجرافيت على كربيد السيليكون على تشغيل عملية عالية الكفاءة لفترة طويلة في ظل ظروف العملية القاسية ، مما يحسن بشكل كبير الموثوقية الشاملة للمعدات.

استخدام الطاقة الفعال: إن الموصلية الحرارية العالية للجرافيت والاستقرار عالي درجة الحرارة لطلاء SIC تمكن السخان من تقليل استهلاك الطاقة مع تحسين دقة التحكم في درجة الحرارة ، وبالتالي تحسين الكفاءة الكلية لإنتاج أشباه الموصلات.

الخصائص الفيزيائية الأساسية لـسخان الجرافيت السيراميك السيليكون كربيد:

انها أشباه الموصلاتسخان الجرافيت السيراميك السيليكون كربيدالمتاجر:

لمحة عامة عن سلسلة صناعة شريحة أشباه الموصلات:

/عملية أخرى