البحث عن تكنولوجيا حاملة الرقاقة كذا

شركات النقل الويفر كذا، باعتبارها المواد الاستهلاكية الرئيسية في سلسلة صناعة أشباه الموصلات من الجيل الثالث ، تؤثر خصائصها التقنية بشكل مباشر على إنتاجية النمو الفوقي وتصنيع الأجهزة. مع ارتفاع الطلب على الأجهزة عالية الجهد ودرجات الحرارة العالية في الصناعات مثل المحطات الأساسية 5G ومركبات الطاقة الجديدة ، تواجه البحث وتطبيق ناقلات الويفر SIC الآن فرص تنمية مهمة.

في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، تتولى حاملات رقائق كربيد السيليكون بشكل رئيسي الوظيفة المهمة لحمل الرقائق ونقلها في المعدات الفوقية. بالمقارنة مع ناقلات الكوارتز التقليدية ، تُظهر حاملات SIC ثلاث مزايا أساسية: أولاً ، معامل التوسع الحراري (4.0 × 10^-6/℃) يتطابق بشكل كبير مع معامل رقائق SIC (4.2 × 10^-6/℃) ، مما يقلل بشكل فعال من الإجهاد الحراري في درجة الحرارة العالية ؛ ثانياً ، يمكن أن تصل نقاء ناقلات SIC عالية النقاء التي أعدتها طريقة ترسب البخار الكيميائي (CVD) إلى 99.995 ٪ ، وتجنب مشكلة تلوث أيون الصوديوم الشائعة لناقلات الكوارتز. علاوة على ذلك ، فإن نقطة انصهار مادة SIC في 2830 ℃ تتيح لها التكيف مع بيئة العمل طويلة الأجل فوق 1600 ℃ في معدات MOCVD.

في الوقت الحاضر ، تتبنى المنتجات الرئيسية مواصفات بحجم 6 بوصات ، مع سمك يتم التحكم فيه في حدود 20-30 مم ومتطلبات خشونة السطح أقل من 0.5μm. لتعزيز التوحيد الفوقي ، تقوم الشركات المصنعة البارزة ببناء هياكل طوبولوجية محددة على سطح الناقل من خلال تصنيع CNC. على سبيل المثال ، يمكن أن يتحكم تصميم الأخدود على شكل قرص العسل الذي تم تطويره بواسطة Semiceri في تقلب سمك الطبقة الفوقية خلال 3 ٪. فيما يتعلق بتكنولوجيا الطلاء ، يمكن للطلاء المركب TAC/TASI2 إطالة عمر خدمة الناقل إلى أكثر من 800 مرة ، وهو أطول ثلاث مرات من المنتج غير المصقول.

على مستوى التطبيق الصناعي ، تخللت شركات النقل SIC تدريجياً عملية التصنيع بأكملها لأجهزة طاقة كربيد السيليكون. في إنتاج ثنائيات SBD ، يمكن أن يؤدي استخدام ناقلات SIC إلى تقليل كثافة العيوب الفوقية إلى أقل من 0.5 سم ². بالنسبة لأجهزة MOSFET ، يساعد توحيد درجات الحرارة الممتازة على زيادة تنقل القناة بنسبة 15 ٪ إلى 20 ٪. وفقًا لإحصائيات الصناعة ، تجاوز حجم سوق شركة SIC العالمية 230 مليون دولار أمريكي في عام 2024 ، مع الحفاظ على معدل نمو سنوي مركب عند حوالي 28 ٪.

ومع ذلك ، لا تزال الاختناقات التقنية موجودة. لا يزال التحكم في الصفحات الحربية في شركات النقل كبيرة الحجم يمثل تحديًا-يجب ضغط التسامح في التسطيح لحاملات 8 بوصات إلى ضمن 50μm. في الوقت الحاضر ، تعد Semicera واحدة من الشركات المحلية القليلة التي يمكنها التحكم في التزييف. حققت المؤسسات المحلية مثل Tianke Heda إنتاجًا كبيرًا من شركات النقل بحجم 6 بوصات. تساعد Semicera حاليًا Tianke Heda في تخصيص شركات النقل الخاصة بهم. في الوقت الحاضر ، اقترب من العمالقة الدولية من حيث عمليات الطلاء والتحكم في العيوب. في المستقبل ، مع استحقاق تكنولوجيا heteroepitaxy ، ستصبح شركات النقل المخصصة لتطبيقات GAN-on-SIC اتجاهًا جديدًا للبحث والتطوير.