ما هو تشاك الكهروستاتيكي (ESC)؟

إن تشاك الإلكتروستاتيكي (ESC) ، المعروف أيضًا باسم electrostatic chuck (ESC ، e-chuck) ، هو تركيبات تستخدم مبدأ الامتزاز الإلكتروستاتيكي للاحتفاظ بالمواد الممتصة وإصلاحها. إنه مناسب لبيئات الفراغ والبلازما. وظيفتها الرئيسية هي امتصاص ultra-أوراق رقيقة نظيفة (مثل رقائق السيليكون) والحفاظ على المواد الممتصة عند تسطيح جيد ، والتي يمكن أن تمنع تشوه المادة الممتصة أثناء العملية ويمكنها ضبط درجة حرارة الامتصاص.

تشاك الإلكتروستاتيكي (ESC) هو نوع خاص من تشاك يستخدم القوة الإلكتروستاتيكية للاحتفاظ بالكائنات والضغط عليها والتقاطها (قطع العمل). أي مادة تحمل شحنات إيجابية وسلبية غير مرئية للعين المجردة. عندما يتم وضع المادة على ESC ويتم تطبيق الجهد الثنائي القطب على الأقطاب الداخلية للـ ESC ، ستتحرك الشحنات الإيجابية والسلبية داخل المادة لتتناسب مع قطبية الأقطاب الداخلية في ESC. يسمى هذا الجذب بين ESC والمواد القوة الإلكتروستاتيكية وهو أيضًا المبدأ الأساسي وراء الخزانة.

مزايا المنتج

لديها نطاق درجة حرارة تشغيل واسعة (-50 إلى 700 ℃)

تتميز أكواب الشفط الإلكتروستاتيكية هذه قوة ممتازة ، والتوصيل الحراري ومقاومة الصدمة الحرارية ، ويمكن أن تتكيف مع نطاق درجة حرارة واسعة من خلال التحكم في مقاومة حجم السيراميك الخاص بـ NGK.

مقاومة تآكل عالية

أكواب الشفط الإلكتروستاتيكية هذه لها مقاومة تآكل ممتازة لغازات الهالوجين.

معالجة الجسيمات المنخفضة

يمكن تحقيق علاج منخفض الجسيمات من خلال المعالجة السطحية والتنظيف الخاص

نقاء عالية

تتوفر أيضًا منتجات ذات نقاء بنسبة 99.9 ٪ أو أعلى أيضًا.

وظيفة التدفئة

يمكن دمج تقنية تضمين عنصر التدفئة عالي الدقة مع وظيفة السخان ، ويمكن التحكم في درجة حرارة الرقاقة في غضون ± 1 ٪.

وظيفة التبريد

تحتوي أكواب الشفط الإلكتروستاتيكية هذه على أداء تبريد مرتفع للغاية عن طريق ربط لوحات السيراميك مع موصلية حرارية عالية وألواح التبريد.

قطب التردد الراديوي

يمكن أن توفر أقطاب المعادن السائبة في وقت واحد تقليد رقاقة مستقر وتوليد البلازما التردد الراديوي.

Parameter

1.في مجال أشباه الموصلات والتصنيع الإلكتروني: خلال عمليات التصنيع شبه الموصل والتصنيع الإلكتروني ، تُستخدم أكواب الشفط الإلكتروستاتيكية لإصلاح ومعالجة رقائق السيليكون الرفيعة والهشة ، والرقم ، وما إلى ذلك.

2. صناعة الزجاج والسيراميك: خلال عمليات القطع والطحن والتعامل مع الزجاج والسيراميك ، يمكن لأكواب الشفط الإلكتروستاتيكي إجراء عمليات غير مدمرة على المواد الهشة ، مما يقلل من معدل كسر المنتج.

3. تصنيع الآلات الدقيقة والمكونات البصرية: للآلات الدقيقة والمكونات البصرية ، يمكن أن توفر أكواب الشفط الإلكتروستاتيكي قوة امتزاز مستقرة ، أو منع التشوه أو الخدوش أثناء المعالجة.

4. خطوط الإنتاج الآلية: في خطوط الإنتاج الآلية ، تستخدم أكواب الشفط الإلكتروستاتيكي على نطاق واسع في تحديد موقع الأجزاء والتعامل معها وتجميعها ، وما إلى ذلك ، مما يعزز درجة الأتمتة وكفاءة خط الإنتاج.