درع ومصراع كوارتز غير شفاف عالي النقاء لـ MOCVD

1. المواصفات الفنية

نحن نقدم تصنيعًا عالي الدقة استنادًا إلى الرسومات الفنية الخاصة بك لضمان التوافق التام مع نماذج المعدات المحددة الخاصة بك.

2. مجالات التطبيق الأساسية

● حماية عملية MOCVD: بمثابة دروع/بطانات داخلية أساسية لحماية بيئة التفاعل.

● نشوء أشباه الموصلات: تستخدم كمصاريع عالية الدقة لتثبيت التدفق ودرجة الحرارة أثناء نمو الأغشية الرقيقة.

● تصنيع أشباه الموصلات واسعة النطاق: متوافق مع البيئات عالية الطلب على GaN والمواد المتقدمة الأخرى.

3. لماذا تختار حلول الكوارتز VETEK؟

● إدارة متفوقة للإشعاع الحراري: يحتوي الكوارتز الأبيض الحليبي الخاص بنا على كثافة عالية من الفقاعات الصغيرة التي تعمل بشكل فعال على تشتيت ومنع الإشعاع الحراري عالي الحرارة (> 1000 درجة مئوية). فهو يمتص الضوء المرئي والأشعة تحت الحمراء القريبة من عناصر التسخين ويحوله إلى إشعاع تحت الحمراء البعيدة، مما يضمن تسخينًا موحدًا للغاية.
● التحكم في التلوث وسهولة الصيانة: باعتباره بطانة داخلية مضحية أو قابلة للاستبدال، يحافظ درع الكوارتز على نظافة غرفة التفاعل عن طريق منع ترسب المنتجات الثانوية على جدران الغرفة والسخانات باهظة الثمن. يمكن تجديد هذه الأجزاء من خلال التنظيف الرطب (مثل محاليل SPM+DHF) أو استبدالها بسهولة لضمان إنتاجية عالية من الرقاقات.
● المقاومة الكيميائية القصوى: تم تصميم الكوارتز VETEK لتحمل الدورات الحرارية المتكررة ومقاومة التآكل الناتج عن المواد العضوية المعدنية (مثل TMGA) والهيدريدات (مثل AsH₃).
● التحكم الدقيق في العمليات: تحافظ مصاريع الكوارتز لدينا على ثبات الأبعاد العالي تحت تسخين الأشعة تحت الحمراء أو الفتيل. يسمح القصور الذاتي الحراري المنخفض الخاص بها بالاستجابة الميكانيكية السريعة، مما يتيح التحكم الدقيق في نمو "المستوى الذري" ومنع التلوث المتبادل أثناء التبديل متعدد الرقاقات أو العمليات المتعددة.
● بديل فعال من حيث التكلفة: بالنسبة للمشاريع ذات متطلبات الميزانية الصارمة، توفر منتجات الكوارتز لدينا نقطة دخول موثوقة مقارنة بالجرافيت المطلي، مما يوفر الحماية والوظائف الأساسية لأنظمة MOCVD.