ALD قاعدة الكوارتز المنصهرة

تلعب VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal دورًا رئيسيًا في عملية تصنيع أشباه الموصلات كهيكل دعم لـقارب الكوارتز، والذي يستخدم لعقدرقاقة. تساعد قاعدة الكوارتز المنصهرة على تحقيق ترسيب موحد للأغشية من خلال الحفاظ على درجة حرارة ثابتة، مما يؤثر بشكل مباشر على أداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات. بالإضافة إلى ذلك، تضمن قاعدة الكوارتز التوزيع الموحد للحرارة والضوء في غرفة العملية، وبالتالي تحسين الجودة الشاملة لعملية الترسيب.

دمجت ALD مزايا مادة قاعدة الكوارتز

مقاومة درجات الحرارة العالية: إن نقطة التليين لقاعدة الكوارتز المنصهرة تصل إلى حوالي 1730 درجة مئوية ، ويمكن أن تصمد أمام تشغيل درجة حرارة عالية تتراوح من 1100 درجة مئوية إلى 1250 درجة مئوية لفترة طويلة ، ويمكن أن تتعرض لبيئات درجة الحرارة القصوى حتى 1450 درجة مئوية لفترة قصيرة.

مقاومة تآكل ممتازة: الكوارتز تنصهر خامل كيميائيًا للغاية لجميع الأحماض تقريبًا باستثناء حمض الهيدروفلوريك. مقاومة الحمض أعلى 30 مرة من السيراميك وأعلى 150 مرة من الفولاذ المقاوم للصدأ. الكوارتز تنصهر لا مثيل له كيميائيا في درجات حرارة عالية ، مما يجعلها مادة مثالية للعمليات الكيميائية المعقدة.

الاستقرار الحراري: ميزة رئيسية لمواد قاعدة الكوارتز تنصهر هي معاملها المنخفض للغاية للتوسع الحراري. هذا يعني أنه يمكن أن يتعامل بسهولة مع تقلبات درامية لدرجة الحرارة دون تكسير. على سبيل المثال ، يمكن تسخين الكوارتز السيليكا المنصهر بسرعة إلى 1100 درجة مئوية وانغماسها مباشرة في الماء البارد دون تلف ، وهي ميزة مهمة في ظروف التصنيع عالية الضغط.

عملية تصنيع صارمة: تلتزم عملية إنتاج قواعد السيليكا المنصهرة بشكل صارم بمعايير الجودة العالية. تستخدم عملية الإنتاج عمليات التشكيل واللحام الساخنة، والتي عادة ما يتم الانتهاء منها في بيئة غرفة نظيفة من فئة 10,000. بعد ذلك، يتم تنظيف قاعدة زجاج الكوارتز المنصهر جيدًا باستخدام الماء عالي النقاوة (18 MΩ) لضمان نقاء المنتج والأداء الأمثل. يتم فحص كل منتج نهائي وتنظيفه وتعبئته بدقة في غرفة نظيفة من فئة 1000 أو أعلى للوفاء بالمعايير العالية لصناعة أشباه الموصلات.

مادة كوارتز السيليكا غير الشفافة عالية النقاء

تستخدم قاعدة الكوارتز المنصهرة VeTeksemi ALD مادة كوارتز غير شفافة عالية النقاء لعزل الحرارة والضوء بشكل فعال. إن خصائص التدريع الحراري والضوء الممتازة التي تتمتع بها تمكنها من الحفاظ على توزيع موحد لدرجة الحرارة في غرفة المعالجة، مما يضمن التوحيد والاتساق الرقيقترسب الفيلمعلى سطح الرقاقة.

حقول التطبيق

تستخدم الركائز الكوارتز المنصهرة على نطاق واسع في العديد من مجالات صناعة أشباه الموصلات بسبب أدائها الممتاز. فيعملية ترسيب الطبقة الذرية (ALD).فهو يدعم التحكم الدقيق في نمو الفيلم ويضمن تقدم أجهزة أشباه الموصلات. فيعملية ترسيب البخار الكيميائي المنخفض (LPCVD)، يوفر الثبات الحراري وقدرة التدريع الضوئي لقاعدة الكوارتز عالية النقاء ضمانات لترسيب موحد للأغشية الرقيقة، وبالتالي تحسين أداء الجهاز وإنتاجيته.

بالإضافة إلى ذلك ، في عملية رقاقة الانتشار ، تضمن مقاومة درجة الحرارة العالية ومقاومة التآكل الكيميائي لقاعدة الكوارتز المنصهرة موثوقية واتساق عملية المنشطات لمواد أشباه الموصلات. تحدد هذه العمليات الرئيسية الأداء الكهربائي لأجهزة أشباه الموصلات ، وتلعب مواد الكوارتز المنصهرة عالية الجودة دورًا لا غنى عنه في تحقيق أفضل نتائج هذه العمليات.

حقوق النقل النقض في متاجر الكوارتز الكوارتز تنصهر: