طلاء CVD SiC قابل للنزع الفوقي

Veteksemicon's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor هي أداة مصممة بدقة لمعالجة رقائق أشباه الموصلات. يلعب جهاز Epitaxy Susceptor المطلي بطبقة SiC دورًا حيويًا في تعزيز نمو الأغشية الرقيقة والطبقات الخارجية والطلاءات الأخرى، ويمكنه التحكم بدقة في درجة الحرارة وخصائص المواد. نرحب بمزيد من الاستفسارات الخاصة بك.

أساسيالخصائص الفيزيائية لطلاء CVD SiC:

مزايا المنتج لطبقة CVD SiC Susceptor:

● ترسيب دقيق: يجمع Susceptor بين ركيزة جرافيت عالية التوصيل للحرارة مع طبقة SiC لتوفير منصة دعم مستقرة للركائز (مثل الياقوت أو SiC أو GaN). يمكن لموصليتها الحرارية العالية (مثل SiC حوالي 120 واط/م·ك) أن تنقل الحرارة بسرعة وتضمن توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة على سطح الركيزة، وبالتالي تعزيز النمو عالي الجودة للطبقة الفوقي.

● تقليل التلوث: يتميز طلاء SiC المحضر بواسطة عملية CVD بدرجة نقاء عالية للغاية (محتوى الشوائب أقل من 5 جزء في المليون) ومقاوم للغاية للغازات المسببة للتآكل (مثل Cl₂، NH₃)، مما يتجنب تلوث الطبقة الفوقي.

● متانة: صلابة SiC العالية (صلابة Mohs 9.5) ومقاومة التآكل تقلل من الفقد الميكانيكي للقاعدة أثناء الاستخدام المتكرر وهي مناسبة لعمليات إنتاج أشباه الموصلات عالية التردد.

تلتزم VeTeksemicon بتقديم منتجات عالية الجودة وأسعار تنافسية. نحن نتطلع إلى أن نكون شريكك على المدى الطويل في الصين.

فيتيك لأشباه الموصلات محلات المنتجات: