ما هي معدات القياس الموجودة في مصنع Fab؟ - انتصار النقش في VETEK

هناك العديد من أنواع معدات القياس في مصنع FAB. فيما يلي بعض المعدات الشائعة:

معدات قياس عملية التصوير الضوئي

• معدات قياس محاذاة آلة توافق الآلات الضوئية: مثل نظام قياس محاذاة ASML ، والذي يمكن أن يضمن التراكب الدقيق لأنماط الطبقة المختلفة.

• أداة قياس سماكة مقاوم الضوء: بما في ذلك مقاييس الإهليلجيات ، وما إلى ذلك ، والتي تحسب سماكة مقاوم الضوء على أساس خصائص الاستقطاب للضوء.

• معدات الكشف عن ADIT و AEI: اكتشف تأثير تطوير مقاوم الضوء وجودة النمط بعد التصوير الفوتوغرافي الضوئي ، مثل معدات الكشف ذات الصلة للإلكترونات الضوئية لكبار الشخصيات.

معدات قياس عملية الحفر

• معدات قياس عمق الحفر: مثل مقياس تداخل الضوء الأبيض ، والذي يمكن أن يقيس بدقة التغييرات الطفيفة في عمق الحفر.

• أداة قياس الملف الشخصي للحفر: استخدام تقنية شعاع الإلكترون أو تقنية التصوير البصري لقياس معلومات الملف الشخصي مثل زاوية الجدار الجانبي للنمط بعد الحفر.

• CD-SEM: يمكن قياس حجم الهياكل المجهرية بدقة مثل الترانزستورات.

معدات قياس عملية ترسب الأفلام الرقيقة

• أدوات قياس سمك الأفلام: المقاييس المنعكسة البصرية ، مقاييس الأشعة السينية ، وما إلى ذلك ، يمكن أن تقيس سمك الأفلام المختلفة المودعة على سطح الرقاقة.

• معدات قياس إجهاد الأفلام: عن طريق قياس الإجهاد الناتج عن الفيلم على سطح الرقاقة ، يتم الحكم على جودة الفيلم وتأثيره المحتمل على أداء الرقاقة.

معدات قياس عملية المنشطات

• معدات قياس جرعة زرع الأيونات: تحديد جرعة زرع الأيونات عن طريق مراقبة المعلمات مثل شدة الشعاع أثناء زرع أيون أو إجراء اختبارات كهربائية على الرقاقة بعد الزرع.

• تركيز المنشطات وقياس التوزيع: على سبيل المثال ، يمكن لمطيف الكتلة الأيوني الثانوية (SIMS) وتحقيقات مقاومة الانتشار (SRP) قياس تركيز وتوزيع عناصر المنشطات في الويفر.

معدات قياس عملية CMP

• معدات قياس التسطيح بعد التوحيد: استخدام المقاييس البصرية وغيرها من المعدات لقياس تسطيح سطح الرقاقة بعد التلميع.

• معدات قياس إزالة التلميع: تحديد كمية المواد التي تم إزالتها أثناء التلميع عن طريق قياس العمق أو تغيير سمك العلامة على سطح الرقاقة قبل وبعد التلميع.

معدات الكشف عن جسيمات الرقاقة

• KLA SP 1/2/3/5/7 والمعدات الأخرى: يمكن أن يكتشف بفعالية تلوث الجسيمات على سطح الرقاقة.

• سلسلة تورنادو: يمكن أن تكتشف معدات سلسلة Tornado من إلكترونيات بصرية VIP عيوبًا مثل الجزيئات الموجودة على الرقاقة ، وتوليد خرائط العيوب ، والتعليقات على العمليات ذات الصلة للتعديل.

• معدات التفتيش البصري الذكي ALFA-X: من خلال نظام التحكم في صور CCD-AI ، استخدم تقنية الإزاحة والاستشعار البصري لتمييز صور الويفر واكتشاف العيوب مثل الجزيئات على سطح الرقاقة.

معدات القياس الأخرى

• المجهر البصري: تستخدم لمراقبة البنية المجهرية والعيوب على سطح الرقاقة.

• مسح المجهر الإلكتروني (SEM): يمكن أن توفر صورًا أعلى دقة لمراقبة التشكل المجهري لسطح الرقاقة.

• مجهر القوة الذرية (AFM): يمكن قياس المعلومات مثل خشونة سطح الرقاقة.

• مقياس القطع: بالإضافة إلى قياس سماكة مقاوم الضوء ، يمكن أيضًا استخدامه لقياس المعلمات مثل سمك ومؤشر الانكسار للأفلام الرقيقة.

• اختبار الروب الرباعي: تستخدم لقياس معلمات الأداء الكهربائي مثل مقاومة الرقاقة.

• مقياس حيود الأشعة السينية (XRD): يمكن تحليل التركيب البلوري وحالة الإجهاد للمواد الويفر.

• مطياف إلكترون الأشعة السينية (XPS): يستخدم لتحليل التكوين الأولي والحالة الكيميائية لسطح الرقاقة.

• مجهر شعاع أيون مركّز (FIB): يمكن إجراء معالجة وتحليل النانو الصغيرة على الرقاقات.

• معدات عدي الماكرو: مثل آلة الدائرة ، المستخدمة للكشف عن العيوب النمطية بعد الطباعة الحجرية.

• معدات الكشف عن عيب قناع: اكتشف العيوب على القناع لضمان دقة نمط الطباعة الحجرية.

• مجهر الإلكترون الإرسال (TEM): يمكن مراقبة البنية المجهرية والعيوب داخل الرقاقة.

• مستشعر رقاقة قياس درجة الحرارة اللاسلكية: مناسبة لمجموعة متنوعة من معدات العمليات ، وقياس دقة درجة الحرارة والتوحيد.