CVD SIC Pancake Soundor

انها أشباه الموصلات يتم تصنيع CVD SIC Pancake Sumpceptor باستخدام أحدث تقنية ترسب البخار الكيميائي (CVD) لضمان المتانة الممتازة والقدرة على التكيف في درجة الحرارة. فيما يلي خصائصه الفيزيائية الرئيسية:

● الاستقرار الحراري: الثبات الحراري العالي لـ CVD SIC يضمن أداء مستقر في ظل ظروف درجة الحرارة المرتفعة.

● معامل التمدد الحراري المنخفض: تحتوي المادة على معامل تمدد حراري منخفض للغاية ، مما يقلل من التزييف والتشوه الناجم عن التغيرات في درجة الحرارة.

● مقاومة التآكل الكيميائي: تمكنها المقاومة الكيميائية الممتازة من الحفاظ على أداء عالي في مجموعة متنوعة من البيئات القاسية.

الدعم الدقيق ونقل الحرارة المحسّن

تم تصميم SIC المغلفة المغلفة في Veteksemi القائم على الفطيرة المغلفة لاستيعاب رقائق أشباه الموصلات وتوفير دعم ممتاز أثناء الترسب الفوقي. تم تصميم SIC Pancake Sectrosor باستخدام تقنية المحاكاة الحسابية المتقدمة لتقليل التزييف والتشوه في ظل درجات الحرارة والضغط المختلفة. يبلغ معامل التمدد الحراري النموذجي حوالي 4.0 × 10^-6/درجة مئوية ، مما يعني أن ثباته الأبعاد أفضل بكثير من المواد التقليدية في البيئات ذات درجة الحرارة العالية ، مما يضمن اتساق سمك الويفر (عادة من 200 ملم إلى 300 مم).

بالإضافة إلى ذلك ، يتفوق Sacceptor Pancake CVD في نقل الحرارة ، مع توصيل حراري يصل إلى 120 واط/م · ك. يمكن أن تؤدي هذه الموصلية الحرارية العالية بسرعة وفعالية إلى الحرارة ، مما يعزز توحيد درجة الحرارة داخل الفرن ، ويضمن توزيع حرارة موحدة أثناء الترسب الفوقي ، ويقلل من عيوب الترسب الناتجة عن حرارة غير متساوية. يعد أداء نقل الحرارة المحسّن أمرًا بالغ الأهمية لتحسين جودة الترسيب ، والذي يمكن أن يقلل بشكل فعال من تقلبات العملية ويحسن العائد.

من خلال تحسينات التصميم والأداء هذه ، يوفر CVD SIC Pancake Secake CVD SIC Fantek أساسًا متينًا لتصنيع أشباه الموصلات ، وضمان الموثوقية والاتساق في ظل ظروف المعالجة القاسية وتلبية المتطلبات الصارمة لصناعة أشباه الموصلات الحديثة من أجل الدقة العالية والجودة.

CVD SIC Film بنية البلورة

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SIC

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SIC
ملكية	القيمة النموذجية
بنية البلورة	FCC β polycrystalline المرحلة ، بشكل رئيسي (111) موجه
كثافة	3.21 جم/سم
صلابة	2500 Vickers Hardness （500G Load）
حجم الحبوب	2 ~ 10mm
نقاء كيميائي	99.99995 ٪
سعة الحرارة	640 ي · كجم-1· ك-1
درجة حرارة التسامي	2700 ℃
قوة الانثناء	415 ميجا باسكال RT 4 نقاط
معامل يونغ	430 GPA 4pt Bend ، 1300 ℃
الموصلية الحرارية	300W · م-1· ك-1
التمدد الحراري (CTE)	4.5 × 10-6K-1