رأس دش الغاز الصلب

رأس دش غاز كربيد السيليكون الصلب

VeTek Semiconductor هي شركة متكاملة متخصصة في البحث والإنتاج والمبيعات. تعمل VeTek Semiconductor على تنضيد أشباه الموصلات والحفر وغيرها من المنتجات ذات الصلة بالعمليات لسنوات عديدة، وخاصة طلاء CVD SiC وطلاء CVD TaC وCVD Solid SiC هي منتجاتنا الرائدة.

يتم استخدام رأس دش الغاز الصلب من أشباه الموصلات النقش بشكل شائع لتوزيع غازات السلائف بالتساوي على سطح الركيزة أثناء عمليات CVD أشباه الموصلات. يوفر استخدام مواد CVD-SIC لرؤوس الدش العديد من المزايا. تساعد الموصلية الحرارية العالية على تبديد الحرارة المتولدة في عملية الأمراض القلبية الوعائية ، مما يضمن توزيع درجة الحرارة الموحدة على الركيزة. بالإضافة إلى ذلك ، يمكّنه الاستقرار الكيميائي في CVD SIC Duffe من الغازات المسببة للتآكل والبيئات القاسية التي تمت مواجهتها عادة في عمليات CVD. 

يمكن تصميم تصميم رؤوس دش CVD SIC لأنظمة محددة من الأمراض القلبية الوعائية ومتطلبات العملية. ومع ذلك ، فإنها تتكون عادةً من لوحة أو مكون على شكل قرص مع سلسلة من الثقوب أو فتحات الحفر الدقيقة. تم تصميم نمط الثقب والهندسة بعناية لضمان توزيع غاز موحد وسرعة التدفق على سطح الركيزة.

الخصائص الفيزيائية لسكاكة صلبة