منتجات

في العملية الأساسية للنمو الفوقي لكربيد السيليكون، تدرك Veteksemicon أن أداء المستقبِل يحدد بشكل مباشر جودة وكفاءة إنتاج الطبقة الفوقي. تستخدم مستقبلات EPI عالية النقاء لدينا، والمصممة خصيصًا لمجال SiC، ركيزة جرافيت خاصة وطلاء CVD SiC كثيف. بفضل ثباتها الحراري الفائق، ومقاومتها الممتازة للتآكل، ومعدل توليد الجسيمات المنخفض للغاية، فإنها تضمن سماكة لا مثيل لها وتجانس المنشطات للعملاء حتى في بيئات المعالجة القاسية ذات درجات الحرارة العالية. إن اختيار Veteksemicon يعني اختيار حجر الزاوية للموثوقية والأداء لعمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة لديك.

يعد مُستقبل الجرافيت المطلي بـ Veteksemicon SiC لـ ASM مكونًا حاملًا أساسيًا في العمليات الفوقي لأشباه الموصلات. يستخدم هذا المنتج تقنية طلاء كربيد السيليكون الحراري الخاصة بنا وعمليات التصنيع الدقيقة لضمان الأداء الفائق وعمر الخدمة الطويل جدًا في بيئات العمليات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل. نحن نفهم بعمق المتطلبات الصارمة للعمليات الفوقية فيما يتعلق بنقاء الركيزة، والاستقرار الحراري، والاتساق، ونلتزم بتزويد العملاء بحلول مستقرة وموثوقة تعمل على تحسين الأداء العام للمعدات.

تعتبر بوتقات الكوارتز من فئة أشباه الموصلات من Veteksemicon من المواد الاستهلاكية الرئيسية في عملية نمو بلورة Czochralski الفردية. مع التركيز الأساسي على النقاء الشديد والاستقرار الحراري الفائق، فإننا ملتزمون بتزويد العملاء بمنتجات عالية الجودة تتميز بأداء مستقر ومقاومة ممتازة للتبلور في ظل درجات الحرارة المرتفعة وبيئات الضغط العالي. وهذا يضمن جودة القضبان البلورية من المصدر، مما يساعد في تصنيع رقائق السيليكون شبه الموصلة على تحقيق إنتاجية أعلى وفعالية أفضل من حيث التكلفة.

تم تصميم حلقة التركيز Veteksemicon خصيصًا لمعدات حفر أشباه الموصلات المطلوبة، وخاصة تطبيقات حفر SiC. يتم تركيبه حول الظرف الكهروستاتيكي (ESC)، على مقربة من الرقاقة، وتتمثل وظيفته الأساسية في تحسين توزيع المجال الكهرومغناطيسي داخل غرفة التفاعل، مما يضمن عمل البلازما الموحد والمركّز عبر سطح الرقاقة بأكمله. تعمل حلقة التركيز البؤري عالية الأداء على تحسين اتساق معدل الحفر بشكل كبير وتقليل تأثيرات الحواف، مما يعزز إنتاجية المنتج وكفاءة الإنتاج بشكل مباشر.

تعتبر لوحة Veteksemicon Silicon Carbide Carrier لحفر LED، المصممة خصيصًا لتصنيع شرائح LED، من المواد الاستهلاكية الأساسية في عملية النقش. مصنوع من كربيد السيليكون عالي النقاء الملبد بدقة، وهو يوفر مقاومة كيميائية استثنائية واستقرار الأبعاد في درجات الحرارة العالية، ويقاوم بشكل فعال التآكل الناتج عن الأحماض والقواعد والبلازما القوية. تضمن خصائص التلوث المنخفضة الخاصة بها إنتاجية عالية لرقائق LED الفوقية، في حين أن متانتها، التي تتجاوز بكثير المواد التقليدية، تساعد العملاء على تقليل تكاليف التشغيل الإجمالية، مما يجعلها خيارًا موثوقًا به لتحسين كفاءة عملية الحفر واتساقها.

تم تصنيع قارب الجرافيت Veteksemicon الخاص بـ PECVD بدقة من الجرافيت عالي النقاء ومصمم خصيصًا لعمليات ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما. من خلال الاستفادة من فهمنا العميق لمواد المجال الحراري لأشباه الموصلات وقدرات التصنيع الدقيقة، فإننا نقدم قوارب الجرافيت ذات الاستقرار الحراري الاستثنائي، والتوصيل الممتاز، وعمر الخدمة الطويل. تم تصميم هذه القوارب لضمان ترسيب الأغشية الرقيقة بشكل موحد للغاية عبر كل رقاقة في بيئة معالجة PECVD الصعبة، مما يؤدي إلى تحسين إنتاجية العملية وإنتاجيتها.