CVD SIC حامل رقاقة برميل المغلفة

يعد ترسب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD) هو أكثر تقنية النمو الفوقي في الوقت الحاضر ، والتي تستخدم على نطاق واسع في تصنيع ليزر أشباه الموصلات ومصابيح LED ، وخاصة Gan Epitaxy. يشير Epitaxy إلى نمو فيلم بلوري واحد آخر على الركيزة البلورية. يمكن أن تضمن تقنية Epitaxy أن الفيلم البلوري المزروع حديثًا يتماشى هيكليًا مع الركيزة البلورية الأساسية. تتيح هذه التقنية نمو الأفلام ذات الخصائص المحددة على الركيزة ، وهو أمر ضروري لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء.

حامل الرقاقة برميل هو عنصر رئيسي في فرن النمو الفوقي. يستخدم حامل رقاقة طلاء CVD SIC على نطاق واسع في مختلف أفران النمو الفوقي CVD ، وخاصة أفران النمو الفوقي MOCVD.

وظائف و Features من CVD SIC حامل رقاقة برميل

● ركائز حمل وتدفئة: يتم استخدام شباك البرميل المغلفة CVD SIC لحمل ركائز وتوفير التدفئة اللازمة أثناء عملية MOCVD. يتكون حامل برميل رقاقة الويفر المغلفة من CVD من طلاء الجرافيت العالي والكذا ، ولديه أداء ممتاز.

● التوحيد: أثناء عملية MOCVD ، يدور حامل برميل الجرافيت بشكل مستمر لتحقيق نمو موحد للطبقة الفوقية.

● الاستقرار الحراري والتوحيد الحراري: يتمتع طلاء SIC من شباك البرميل المغلفة SIC بالاستقرار الحراري الممتاز والتوحيد الحراري ، مما يضمن جودة الطبقة الفوقية.

● تجنب التلوث: يحمل حامل برميل الويفر المغطى بـ CVD SIC ثباتًا رائعًا ، بحيث لا ينتج ملوثات تنخفض أثناء التشغيل.

● حياة الخدمة الطويلة للغاية: بسبب طلاء SIC ، CVD SIC المغلفة بلا يزال لدى Arrel Sumboseor متانة كافية في درجة الحرارة المرتفعة وبيئة الغاز المسببة للتآكل من MOCVD.

تخطيطي لمفاعل برميل CVD

أكبر ميزة لحامل برميل رقاقة في CVD SIC المغلفة في VETEK

● أعلى درجة من التخصيص: تكوين المواد من الركيزة الجرافيت ، وتكوين المواد وسمك طلاء SIC ، ويمكن تخصيص بنية حامل الرقاقة وفقًا لاحتياجات العملاء.

● التقدم في الموردين الآخرين: يمكن أيضًا تخصيص حسابي برميل الجرافيت المغطى بالموصلات في VETEK SIC لـ EPI وفقًا لاحتياجات العملاء. على الجدار الداخلي ، يمكننا صنع أنماط معقدة للاستجابة لاحتياجات العملاء.

منذ إنشائها ، تم التزام أشباه الموصلات الفيتيك بالاستكشاف المستمر لتكنولوجيا طلاء SIC. واليوم ، يتمتع أشباه الموصلات الفيتيكية بقوة منتج طلاء SIC الرائدة في هذا المجال. تتطلع أشباه الموصلات الفيتيكية إلى أن تصبح شريكًا في منتجات حامل برميل الويفر المغلفة.

بيانات SEM من CVD SIC Film Film Structure

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD SIC