مستقبل الجرافيت المطلي بـ SiC لـ ASM

معلومات عامة عن المنتج

شروط عمل المنتج

✔ التطبيق: تعتبر ركيزة الجرافيت المطلية بـ SiC من Veteksemicon مادة مستهلكة رئيسية للمعدات الفوقي من سلسلة ASM. إنه يدعم الرقاقة بشكل مباشر ويوفر مجالًا حراريًا موحدًا ومستقرًا أثناء مرحلة الحرارة المرتفعة، مما يجعله مكونًا أساسيًا لضمان النمو عالي الجودة لمواد أشباه الموصلات المتقدمة مثل GaN وSiC.

✔ الخدمات التي يمكن تقديمها: تحليل سيناريو تطبيق العميل، مطابقة المواد، حل المشكلات الفنية. 

✔ نبذة عن الشركة： لدى Veteksemicon مختبرين، وفريق من الخبراء يتمتعون بخبرة 20 عامًا في مجال المواد، مع إمكانات البحث والتطوير والإنتاج والاختبار والتحقق.

المعلمات التقنية

مستقبل الجرافيت المطلي بـ Veteksemicon SiC للحصول على المزايا الأساسية لـ ASM

1. النقاء الشديد ومعدل الخلل المنخفض

باستخدام ركيزة جرافيت خاصة عالية النقاء وعالية الجودة، جنبًا إلى جنب مع عملية طلاء ترسيب البخار الكيميائي (CVD) الخاضعة للرقابة الصارمة، نضمن أن يكون الطلاء كثيفًا وخاليًا من الثقوب والشوائب. وهذا يقلل بشكل كبير من خطر التلوث بالجسيمات أثناء العملية الفوقي، مما يوفر بيئة ركيزة نظيفة لنمو الطبقات الفوقي عالية الجودة.

2. مقاومة ممتازة للتآكل ومقاومة التآكل

يمتلك طلاء كربيد السيليكون الحراري صلابة عالية للغاية وخمولًا كيميائيًا، ويقاوم بشكل فعال تآكل مصادر السيليكون (مثل SiH4، SiHCl3)، ومصادر الكربون (مثل C3H8)، وحفر الغازات (مثل HCl، H2) عند درجات حرارة عالية. يؤدي هذا إلى إطالة دورة صيانة القاعدة بشكل كبير وتقليل وقت توقف الماكينة الناتج عن استبدال المكونات.

3. التوحيد الحراري والاستقرار ممتازة

لقد قمنا بتحسين توزيع المجال الحراري ضمن نطاق درجة حرارة التشغيل من خلال تصميم هيكل الركيزة الدقيق والتحكم في سمك الطلاء. يُترجم هذا بشكل مباشر إلى سماكة ممتازة وتوحيد المقاومة في الرقاقة الفوقي، مما يساهم في تحسين إنتاجية تصنيع الرقائق.

4. قوة التصاق طلاء ممتازة

تعمل تقنية المعالجة المسبقة للسطح الفريدة وتقنية الطلاء المتدرج على تمكين طلاء كربيد السيليكون من تكوين طبقة ربط قوية مع ركيزة الجرافيت، مما يمنع بشكل فعال مشاكل تقشير الطلاء أو التقشر أو التشقق التي قد تحدث أثناء ركوب الدراجات الحرارية على المدى الطويل.

5. الحجم الدقيق والتكرار الهيكلي

نحن نمتلك قدرات تصنيع واختبار CNC ناضجة، مما يمكننا من تكرار الهندسة المعقدة وأبعاد التجويف وواجهات التثبيت للقاعدة الأصلية بشكل كامل، مما يضمن المطابقة المثالية ووظيفة التوصيل والتشغيل مع منصة العميل.

6. إقرار التحقق من السلسلة البيئية

يغطي جهاز Veteksemicon SiC المطلي بالجرافيت للتحقق من السلسلة البيئية لـ ASM المواد الخام إلى الإنتاج، وقد اجتاز شهادة المعايير الدولية، ولديه عدد من التقنيات الحاصلة على براءة اختراع لضمان موثوقيته واستدامته في مجالات أشباه الموصلات والطاقة الجديدة.

للحصول على المواصفات الفنية التفصيلية أو المستندات التقنية أو ترتيبات اختبار العينات، يرجى الاتصال بفريق الدعم الفني لدينا لاستكشاف كيف يمكن لـ Veteksemicon تعزيز كفاءة العملية لديك.

مجالات التطبيق الرئيسية

متجر منتجات منافسي