لوحات سيراميك السيليكون المسامية (SIC): مواد عالية الأداء في تصنيع أشباه الموصلات

ⅰ. ما هي لوحة السيراميك التي يسهل اختراقها؟

لوحة سيراميك السيليكون التي يسهل اختراقها عبارة عن مادة سيراميك بنية مسامية مصنوعة من كربيد السيليكون (SIC) بواسطة عمليات خاصة (مثل الرغوة ، الطباعة ثلاثية الأبعاد أو إضافة عوامل تشكيل المسام). تشمل ميزاتها الأساسية:

● مسامية يمكن التحكم فيها: 30 ٪ -70 ٪ قابلة للتعديل لتلبية احتياجات سيناريوهات التطبيق المختلفة.

● توزيع حجم المسام الموحد: ضمان ثبات انتقال الغاز/السائل.

● تصميم خفيف الوزن: تقليل استهلاك طاقة المعدات وتحسين كفاءة التشغيل.

ⅱ.

1.

● مقاومة درجات الحرارة القصوى: تصل درجة حرارة العمل المستمرة إلى 1600 درجة مئوية (أعلى بنسبة 30 ٪ من السيراميك الألومينا).

● الموصلية الحرارية عالية الكفاءة: معامل التوصيل الحراري هو 120 واط/(م · ك) ، يحمي تبديد الحرارة السريعة المكونات الحساسة.

● التمدد الحراري منخفض منخفض: معامل التمدد الحراري هو 4.0 × 10⁻⁶/درجة مئوية فقط ، مناسب للتشغيل تحت درجة حرارة عالية ، وتجنب بشكل فعال تشوه درجات الحرارة العالية.

2. الاستقرار الكيميائي (تقليل تكاليف الصيانة في البيئات المسببة للتآكل)

● مقاومة للأحماض القوية والقلويات: هل يمكن تحمل وسائل الإعلام المسببة للتآكل مثل HF و H₂so₄

● مقاومة لتآكل البلازما: يتم زيادة الحياة في معدات الحفر الجافة بأكثر من 3 مرات

3. القوة الميكانيكية (تمديد عمر المعدات)

● صلابة عالية: صلابة Mohs تصل إلى 9.2 ، ومقاومة التآكل أفضل من الفولاذ المقاوم للصدأ

● قوة الانحناء: 300-400 ميجا باسكال ، دعم رقائق دون صوف

4.

● توزيع غاز موحد: يتم زيادة توحيد فيلم CVD إلى 98 ٪.

● التحكم الدقيق للامتزاز: دقة تحديد موقع تشاك الكهروستاتيكي (ESC) هي ± 0.01mm.

5. ضمان النظافة (وفقًا لمعايير فئة أشباه الموصلات)

● الصفر التلوث المعدني: نقاء> 99.99 ٪ ، وتجنب تلوث الويفر

● خصائص التنظيف الذاتي: بنية microporous يقلل من ترسب الجسيمات

ثالثا. أربعة تطبيقات رئيسية لألواح SIC المسامية في تصنيع أشباه الموصلات

السيناريو 1: معدات العملية ذات درجة الحرارة العالية (فرن الانتشار/فرن الصلب)

● نقطة ألم المستخدم: يتم تشويه المواد التقليدية بسهولة ، مما يؤدي إلى تخفيض الرقاقة

● الحل: كوحة حامل ، تعمل بشكل ثابت أقل من 1200 درجة مئوية

● مقارنة البيانات: التشوه الحراري أقل بنسبة 80 ٪ من الألومينا

السيناريو 2: ترسيب البخار الكيميائي (CVD)

● نقطة ألم المستخدم: يؤثر توزيع الغاز غير المتكافئ على جودة الفيلم

● الحل: الهيكل المسامي يجعل توحيد انتشار غاز التفاعل يصل إلى 95 ٪

● حالة الصناعة: تم تطبيقه على ترسب فيلم رفيع للذاكرة 3D NAND

السيناريو 3: معدات الحفر الجافة

● نقطة ألم المستخدم: تآكل البلازما شوRtens مكون حياة

● الحل: أداء مضاد اللاسما يمتد دورة الصيانة إلى 12 شهرًا

● فعالية التكلفة: يتم تقليل وقت تعطل المعدات بنسبة 40 ٪

السيناريو 4: نظام تنظيف الرقاقة

● نقطة ألم المستخدم: استبدال متكرر للأجزاء بسبب التآكل الحمضي والقلوي

● الحل: مقاومة حمض HF تجعل عمر الخدمة تصل إلى أكثر من 5 سنوات

● بيانات التحقق: معدل الاحتفاظ بالقوة> 90 ٪ بعد 1000 دورة تنظيف

رابعا. 3 مزايا اختيار رئيسية مقارنة بالمواد التقليدية

V. الأسئلة الشائعة لمستخدمي الصناعة

Q1: هل لوحة السيراميك التي يسهل اختراقها مناسبة لإنتاج أجهزة نيتريد غاليوم (GAN)؟

إجابة: نعم ، تعد مقاومة ارتفاع درجة الحرارة والتوصيل الحراري العالي مناسبة بشكل خاص لعملية النمو الفوقي GAN وتم تطبيقها على تصنيع رقائق المحطة الأساسية 5G.

س 2: كيف تختار المعلمة المسامية؟

إجابة: اختر وفقًا لسيناريو التطبيق:

● غاز التوزيعنشوئها: يوصى بنسبة 40 ٪ -50 ٪ المسامية المفتوحة

● امتصاص فراغ: يوصى بنسبة 60 ٪ -70 ٪ المسامية المرتفعة

س 3: ما هو الفرق مع سيراميك كربيد السيليكون الأخرى؟

إجابة: بالمقارنة مع الكثافةكذا السيراميك، الهياكل المسامية لها المزايا التالية:

● 50 ٪ تقليل الوزن

● زيادة 20 مرة في مساحة سطح محددة

● انخفاض بنسبة 30 ٪ في الإجهاد الحراري