ما هو Tantalum Carbide (TAC)？

كربيد تانتالوم (TAC)هو مركب ثنائي من tantalum (TA) والكربون (C) ، مع الصيغة الكيميائية التي يتم التعبير عنها عادة على أنها tacₓ (حيث يتراوح x من 0.4 إلى 1). يتم تصنيفه على أنه مادة سيراميك حراري مع صلابة ممتازة ، واستقرار في درجة الحرارة العالية والتوصيل المعدني.

1. هيكل كربيد tantalum

1.1 التركيب الكيميائي والبنية البلورية

كربيد tantalum هو مركب خزفي ثنائي يتكون من tantalum (TA) والكربون (C).

هيكلها البلوري مكعب يركز على الوجه (FCC) ، مما يمنحها صلابة واستقرار ممتازة.

1.2 خصائص الترابط

الترابط التساهمي القوي يجعل كربيد tantalum صعبًا للغاية ومقاومًا للتشوه.

TAC لديه معامل انتشار منخفض للغاية ويظل مستقرًا حتى في درجات حرارة عالية.

طلاء كربيد tantalum (TAC) على مقطع عرضي مجهري

2. الخصائص الفيزيائية لكربيد تانتالوم

2.1 نقطة انصهار عالية

مع نقطة انصهار تبلغ 3880 درجة مئوية ، يحتوي كربيد Tantalum على واحدة من أعلى نقاط ذوبان في أي مادة معروفة ، مما يؤدي إلى استقرار ممتاز في درجات الحرارة القصوى.

2.2 صلابة ممتازة

مع صلابة MOHS حوالي 9-10 ، فهي قريبة من الماس وبالتالي فهي تستخدم على نطاق واسع في الطلاء المقاوم للارتداء.

2.3 الموصلية الكهربائية الجيدة

على عكس معظم مواد السيراميك ، تتمتع TAC بتوصيل كهربائي شبيه بالمعادن عالية ، مما يجعلها ذات قيمة للتطبيقات في بعض الأجهزة الإلكترونية.

2.4 مقاومة التآكل والأكسدة

TAC مقاومة للغاية للتآكل الحمضي ويحافظ على سلامته الهيكلية في البيئات القاسية على مدى فترات زمنية طويلة.

ومع ذلك ، قد يتأكسد TAC إلى بنتوكسيد tantalum (ta₂o₅) في الهواء فوق 1500 درجة مئوية. 

3. منتجات كربيد tantalum الشائعة

3.1 الأجزاء المطلية بالكربيد التانتالوم

● CVD Tantalum carbide المغلفة: تستخدم في epitaxy أشباه الموصلات ومعالجة درجة الحرارة العالية.

● أجزاء الجرافيت المغلفة بالكربيد tantalum: تستخدم في أفران درجة الحرارة العالية وغرف معالجة الرقاقة. ومن الأمثلة على ذلك الجرافيت المغطى بالكربيد المغلفة بالكربيد التانتالوم ، والذي يحسن بشكل كبير كفاءة العملية وجودة البلورة عن طريق تحسين تدفق الغاز أثناء نمو البلورة SIC ، وتقليل الإجهاد الحراري ، وتحسين التوحيد الحراري ، وتعزيز مقاومة التآكل ، وتثبيط انتشار الشوائب.

● لوحة الدوران المغلفة بالكربيد تانتالوم: تحتوي لوحة الدوران المغلفة على TAC من Venteksemon على تركيبة عالية من النقاء مع محتوى أقل من 5PPM شوائب وهيكل كثيف وموحد ، والذي يستخدم على نطاق واسع في نظام EPI LPE ، ونظام AIXTRON ، ونظام NUFLARE ، ونظام TEL CVD ، ونظام VEECO ، ونظام TSI. النظم ، TSI الأنظمة.

● سخان TAC المغلفة: يتيح الجمع بين نقطة الانصهار المرتفعة للغاية لطلاء TAC (~ 3880 درجة مئوية) أن يعمل في درجات حرارة عالية جدًا ، وخاصة في نمو طبقات نيتريد غاليوم (GAN) في عملية ترسب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD).

● بوتقة المغلفة كربيد تانتالوم: غالبًا ما تلعب البوتقات المغلفة CVD TAC دورًا رئيسيًا في نمو البلورات الفردية SIC بواسطة PVT.

3.2 أدوات القطع والمكونات المقاومة للارتداء

● أدوات قطع كربيد المغلفة كربيد تانتالوم: تحسين حياة الأداة ودقة الآلات.

● فوهات الطيران والدروع الحرارية: توفير الحماية في الحرارة الشديدة والبيئات التآكل.

3.3 Tantalum Carbide عالية الأداء منتجات سيراميك

● أنظمة الحماية الحرارية للمركبة الفضائية (TPS): للمركبات الفضائية والمركبات الفائقة الصعود.

● طلاء الوقود النووي: حماية كريات الوقود النووي من التآكل.

4. تطبيقات كربيد تانتالوم في تصنيع أشباه الموصلات

4.1 شركات النقل المغلفة بالكربيد (SESSOPSOR) للعمليات الفوقية

الدور: طلاء كربيد tantalum المطبقة على ناقلات الجرافيت تعمل على تحسين التوحيد الحراري والاستقرار الكيميائي في ترسب البخار الكيميائي (CVD) وترسب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD).

ميزة: تقليل تلوث العملية وحياة الناقل الممتدة.

4.2 مكونات الحفر والترسب

حلقات نقل الرقاقة والدروع: طلاء كربيد tantalum يحسن متانة غرف حفر البلازما.

ميزة: تحمل بيئات الحفر العدوانية ويقلل من هطول الأمطار الملوث.

4.3 عناصر التدفئة عالية الحرارة

التطبيق في نمو CVD SIC: تعمل عناصر التدفئة المغلفة على كربيد Tantalum على تحسين استقرار وكفاءة عملية تصنيع رقاقة السيليكون (SIC).

4.4 الطلاء الواقي لمعدات تصنيع أشباه الموصلات

لماذا تحتاج طلاء TAC؟  يتضمن تصنيع أشباه الموصلات درجات حرارة شديدة والغازات المسببة للتآكل ، وطلاءات كربيد tantalum فعالة في تحسين استقرار المعدات وعمرها.

5. لماذا تختارSemicon?

Semicon هي الشركة المصنعة الرائدة والمورد لـطلاء كربيد تانتالوممواد لصناعة أشباه الموصلات في الصين. تشمل منتجاتنا الرئيسية الأجزاء المغلفة CVD Tantalum carbide ، وأجزاء مغلفة TAC الملبدة لنمو البلورة أو أشباه الموصلات. تلتزم Veteksemicon بأن تكون مبتكرًا ورائد في صناعة طلاء كربيد Tantalum من خلال التكرار المستمر للبحث والتطوير.