لوحة توزيع غاز الكوارتز

تعد لوحات توزيع الغاز الكوارتز ، والمعروفة أيضًا باسم رؤوس دش الكوارتز ، مكونات مهمة في تصنيع أشباه الموصلات. الاستفادة من النقاء الاستثنائي ، ومقاومة درجات الحرارة العالية ، ومقاومة التآكل للكوارتز ، تضمن هذه اللوحات تدفقًا موحدًا ومستقرًا من غازات العملية على سطح الرقاقة. يعد هذا التسليم الدقيق ضروريًا للحفاظ على جودة وتوحيد الأفلام المودعة أو الميزات المحفورة.

الميزات الرئيسية للكوارتز المنصهر

● المواد: 99.99 ٪ من تنصهر الكوارتز المنصهر

● مقاومة ارتفاع درجة الحرارة: صمد درجات حرارة أعلى من 1000 ℃

● مقاومة التآكل: المتانة الممتازة ضد غازات العملية وبيئات البلازما

● تدفق الغاز الدقيق: توزيع الفتحة الدقيقة الموحدة لتسليم الغاز الأمثل وتوحيد الترسيب

● تصميم قابل للتخصيص: يمكن تصميم الحجم ونمط الثقب وميزات التثبيت لنماذج معدات محددة

الأدوار الأساسية في تصنيع أشباه الموصلات

1. ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) وترسب البخار الكيميائي (CVD)

دور: في عمليات PVD و CVD ، توجه لوحة توزيع الغاز على وجه التحديد الغازات التفاعلية (على سبيل المثال ، السيلان ، الأمونيا ، الأكسجين) أو السلائف على الرقاقة لتشكيل فيلم رفيع مطلوب.

استخدامات محددة:

● التحكم في التوحيد: تضمن الثقوب الدقيقة المصممة بالهندسة على وجه التحديد أن تدفق الغاز وتركيزه موحد عبر سطح الرقاقة بأكمله. هذا أمر حيوي لإيداع الأفلام بسمك وأداء متسق.

● الوقاية من التلوث: إن نقاء الكوارتز العالي يمنع اللوحة من التفاعل مع غازات العملية أو إطلاق الشوائب. هذا يحافظ على نقاء الفيلم ويمنع العيوب على سطح الرقاقة.

2. ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)

دور: في PECVD ، لا يقدم رأس دش الكوارتز الغازات التفاعلية فحسب ، بل يعمل أيضًا كقطب لتوليد البلازما.

استخدامات محددة:

● اشتعال البلازما: عادةً ما يتم توصيل رأس الدش بمصدر طاقة التردد الراديوي (RF) لإنشاء بلازما. تعزز جزيئات الطاقة العالية داخل البلازما تحلل المواد المتفاعلة الغازية ، مما يتيح ترسب الأفلام في درجات حرارة أقل.

● الاستقرار الحراري: يعرض الكوارتز ثباتًا حراريًا ممتازًا ، مما يسمح له بتحمل بيئة البلازما عالية الحرارة. يساعد هذا في الحفاظ على درجة حرارة موحدة داخل غرفة العملية ، مما يضمن جودة الفيلم واتساقه.

3. الحفر الجاف

دور: في الحفر الجاف ، تقدم لوحة توزيع الغاز غازات الحفر التفاعلية (على سبيل المثال ، fluorocarbons ، الكلور) في غرفة الحفر.

استخدامات محددة:

● توحيد الحفر: تضمن اللوحة تدفقًا موحدًا وتركيزًا لغازات الحفر ، مما يضمن عمق الحفر المتسق والملف الشخصي عبر الرقاقة بأكملها. هذا أمر بالغ الأهمية لتحقيق الأنماط الدقيقة المطلوبة لأجهزة أشباه الموصلات المتقدمة.

● مقاومة التآكل: تتطلب الخواص القوية التآكل لغازات الحفر مادة متينة. تمتد مقاومة التآكل العالية من كوارتز عمر دش ويقلل من خطر انقطاع العملية.

4. رقاقة تنظيف

دور: في عمليات تنظيف رقاقة محددة ، يتم استخدام لوحة توزيع غاز الكوارتز لتسليم غازات التنظيف (على سبيل المثال ، الأوزون ، الأمونيا) بشكل موحد لسطح الرقاقة لإزالة البقايا أو الملوثات.

استخدامات محددة:

● التنظيف المتسق: تضمن اللوحة أن تصل غازات التنظيف إلى كل جزء من الرقاقة ، مما يتيح عملية تنظيف شاملة وموحدة.

● التوافق الكيميائي: توافق الكوارتز مع مجموعة واسعة من المواد الكيميائية التنظيف يمنع التفاعلات ويحافظ على نقاء وفعالية عملية التنظيف.