ما هو طلاء TAC؟ - انتصار النقش في VETEK

طلاء TAC (طلاء كربيد تانتالوم) هي مادة طلاء عالية الأداء تنتجها عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD). نظرًا للخصائص الممتازة لطلاء TAC في ظل الظروف القاسية ، يتم استخدامه على نطاق واسع في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، وخاصة في المعدات والمكونات التي تتطلب درجة حرارة عالية وبيئة تآكل قوية. عادةً ما يستخدم طلاء TAC لحماية الركائز (مثل الجرافيت أو السيراميك) من التلف بسبب ارتفاع درجة الحرارة والغازات المسببة للتآكل والارتداء الميكانيكي.

الخصائص الفيزيائية لطلاء TAC

ميزات المنتج والمزايا

● الاستقرار الحراري العالي للغاية:

وصف الميزة: يحتوي طلاء TAC على نقطة انصهار تزيد عن 3880 درجة مئوية ويمكن أن تحافظ على الاستقرار دون تحلل أو تشوه في بيئة درجة حرارة عالية للغاية.

الميزة: هذا يجعلها مادة لا غنى عنها في معدات أشباه الموصلات عالية الحرارة مثل طلاء CVD TAC و TAC المغلفة ، وخاصة للتطبيقات في مفاعلات MOCVD ، مثل معدات Aixtron G5.

● مقاومة تآكل ممتازة:

وصف الميزة: TAC لديه القصص الكيميائية القوية للغاية ويمكن أن تقاوم بشكل فعال تآكل الغازات المسببة للتآكل مثل الكلوريد والفلوريدات.

المزايا: في عمليات أشباه الموصلات التي تنطوي على مواد كيميائية متآكلة للغاية ، يحمي طلاء TAC مكونات المعدات من الهجوم الكيميائي ، ويطيل عمر خدمة ويحسن ثبات العملية ، وخاصة في تطبيق قارب رقاقة كربيد السيليكون وغيرها من المكونات الرئيسية.

● صلابة ميكانيكية ممتازة:

الوصف الميزة: تصل صلابة طلاء TAC إلى 9-10 MOHS ، مما يجعله مقاومًا للارتداء الميكانيكي وارتفاع درجة الحرارة.

الميزة: إن خاصية الصلابة العالية تجعل طلاء TAC مناسبًا بشكل خاص للاستخدام في بيئات التآكل العالي والتوتر العالي ، مما يضمن الاستقرار على المدى الطويل وموثوقية المعدات في ظل ظروف قاسية.

● انخفاض التفاعل الكيميائي:

وصف الميزة: نظرًا لخطوته الكيميائية ، يمكن أن يحافظ طلاء TAC على تفاعل منخفض في بيئات درجة الحرارة العالية وتجنب التفاعلات الكيميائية غير الضرورية مع الغازات التفاعلية.

الميزة: هذا مهم بشكل خاص في عملية تصنيع أشباه الموصلات لأنه يضمن نقاء بيئة العملية وترسب المواد عالية الجودة.

دور طلاء TAC في معالجة أشباه الموصلات

● حماية مكونات المعدات الرئيسية:

وصف الوظيفة: يستخدم طلاء TAC على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات ، مثل TAC Coated Sountor ، والتي تحتاج إلى العمل في ظل الظروف القاسية. من خلال الطلاء مع TAC ، يمكن أن تعمل هذه المكونات لفترات طويلة من الوقت في بيئات غاز عالية درجة الحرارة والغاز دون أن تتلف.

● تمديد عمر المعدات:

وصف الوظيفة: في معدات MOCVD مثل Aixtron G5 ، يمكن أن يحسن طلاء TAC بشكل كبير من متانة مكونات المعدات ويقلل من الحاجة إلى صيانة المعدات واستبدالها بسبب التآكل والارتداء.

● تعزيز استقرار العملية:

وصف الوظيفة: في تصنيع أشباه الموصلات ، يضمن طلاء TAC توحيد واتساق عملية الترسب من خلال توفير درجة حرارة عالية وبيئة كيميائية مستقرة. هذا مهم بشكل خاص في عمليات النمو الفوقي مثل سيليكون Epitaxy و Gallium Nitride (GAN).

● تحسين كفاءة العملية:

وصف الوظيفة: من خلال تحسين الطلاء على سطح المعدات ، يمكن لطلاء TAC تحسين الكفاءة الكلية للعملية ، وتقليل معدل العيب ، وزيادة عائد المنتج. هذا أمر بالغ الأهمية لتصنيع مواد أشباه الموصلات عالية الدقة عالية الدقة.

إن الاستقرار الحراري العالي ، ومقاومة التآكل الممتازة ، والصلابة الميكانيكية ، والتفاعل الكيميائي المنخفض الذي تظهره طلاء TAC أثناء معالجة أشباه الموصلات يجعلها خيارًا مثاليًا لحماية مكونات معدات تصنيع أشباه الموصلات. مع استمرار زيادة الطلب على صناعة أشباه الموصلات على درجة حرارة عالية ، يستمر ارتفاع نقاء وعمليات التصنيع الفعالة ، فإن طلاء TAC له آفاق تطبيقات واسعة ، وخاصة في المعدات والعمليات التي تتضمن طلاء TAC CVD ، و TAC Coated Coated و Aixtron G5.

تعد شركة Vetek Semiconductor Technology Co. ، Ltd مزودًا رائدًا لمواد الطلاء المتقدمة لصناعة أشباه الموصلات. تركز شركتنا على تطوير حلول متطورة لهذه الصناعة.

تشمل عروض المنتجات الرئيسية لديناCVD Cilicon Carbide (SIC) الطلاء, الطلاء Tantalum Carbide (TAC)، والجملة SIC ، ومساحيق SIC ، ومواد SIC عالية النقاء ، وصعوبة الجرافيت المغلفة SIC ، وحلقات التسخين المسبق ، وحلقة التحويل المغلفة TAC ، وأجزاء نصفونية ، وما إلى ذلك ، يمكن أن تفي نقاء 5PPM ، بمتطلبات العملاء.

تركز أشباه الموصلات النقش على تطوير حلول تطوير المنتجات المتطورة وحلول تطوير المنتجات لصناعة أشباه الموصلات.نأمل مخلصين أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.