دعم طلاء كربيد tantalum

الوظيفة الرئيسية لأشباه الموصلات النقضطلاء Tantalum Carbide (TAC)الدعم هو تحسينمقاومة الحرارة ومقاومة التآكل ومقاومة التآكلمن الركيزة عن طريق طلاء طبقة من طلاء كربيد tantalum ، وذلك لتحسين دقة وموثوقية العملية وتوسيع عمر خدمة المكونات. إنه منتج طلاء عالي الأداء يستخدم في مجال معالجة أشباه الموصلات.

إن الداعمة من طلاء كربيد Tantalum Carbide في VETEK لها صلابة MOHS تتراوح ما يقرب من 9 ~ 10 ، في المرتبة الثانية فقط إلى الماس. لديها مقاومة قوية للغاية للارتداء ويمكن أن تقاوم التآكل السطحي وتأثيره بشكل فعال أثناء المعالجة ، وبالتالي تمديد عمر خدمة مكونات المعدات بشكل فعال. إلى جانب نقطة الانصهار العالية التي تبلغ حوالي 3880 درجة مئوية ، يتم استخدامها غالبًا لطلاء مكونات المعدات شبه الموصلات ، مثل الطلاء السطحي لهياكل الدعم ، ومعدات المعالجة الحرارية ، والغابات أو الحشوات في معدات أشباه الموصلات لتعزيز مقاومة التآكل ومقاومة ارتفاع درجة الحرارة.

نظرًا لنقطة انصهار عالية للغاية من كربيد tantalum حوالي 3880 درجة مئوية ، في عمليات معالجة أشباه الموصلات مثلترسيب البخار الكيميائي (CVD)وترسب البخار المادي (PVD)، يمكن أن يحمي طلاء TAC مع مقاومة قوية في درجة الحرارة ومقاومة التآكل الكيميائي مكونات المعدات بشكل فعال ومنع التآكل أو الضرر للركيزة في البيئات القاسية ، مما يوفر حماية فعالة لبيئات درجات الحرارة العالية في تصنيع الويفر. تحدد هذه الميزة أيضًا أن دعم طلاء كربيد Tantalum Carbide في VETEK غالبًا ما يستخدم في عمليات الحفر والتآكل.

دعم طلاء كربيد tantalum لديه أيضا وظيفة تقليل تلوث الجسيمات. أثناء معالجة الرقاقة ، عادة ما ينتج عن ارتداء السطح تلوثًا للجسيمات ، مما يؤثر على جودة منتج الرقاقة. يمكن أن تقلل خصائص منتج TAC Coating المتطرفة من صلابة ما يقرب من 9-10 MOHS بشكل فعال من هذا التآكل ، مما يقلل من توليد الجسيمات. بالاقتران مع الموصلية الحرارية الممتازة لطلاء TAC (حوالي 21 واط/م · ك) ، يمكن أن تحافظ على الموصلية الحرارية الجيدة في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة ، وبالتالي تحسين العائد واتساق تصنيع الويفر.

تشمل منتجات طلاء TAC الرئيسية لطلاب TAC في VETEKسخان طلاء TAC, CVD TAC طلاء بوتقة, تحسس دوران طلاء TACوقطع الغيار طلاء TAC، وما إلى ذلك ، ودعم خدمات المنتج المخصصة. تلتزم أن أشباه الموصلات Vetek بتوفير منتجات ممتازة وحلول تقنية لصناعة أشباه الموصلات. نأمل مخلصين أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

طلاء كربيد tantalum (TAC) على مقطع عرضي مجهري:

الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء CVD TAC：