قطع الغيار طلاء TAC

انها أشباه الموصلاتلوحة طلاء TACهي مادة خاصة تستخدم على نطاق واسع فيأشباه الموصلاتعملية التصنيع. جنبا إلى جنب مع صلابة عالية ومقاومة التآكل ، ومقاومة درجات الحرارة العالية ، ومقاومة التآكل ، ومعامل الاحتكاك المنخفض والتوصيل الحراري الجيد ، تلعب لوحة طلاء TAC دورًا لا يمكن الاستغناء عنه في العديد من روابط معالجة أشباه الموصلات.

بشكل عام ، تطبيقاتلوحات TAC المطليةفي معالجة أشباه الموصلات هي كما يلي:

● CVD/ALD النمو الركيزة: مقاومة درجة الحرارة العالية ، والاستقرار الكيميائي ومعامل الاحتكاك المنخفض للألواح المغلفة TAC يجعلها ركائز النمو المثالية CVD/ALD. يمكن أن يوفر بيئة نمو مستقرة لضمان توحيد وكثافة الفيلم.

●  لوحة قناع الحفر: تمكنها مقاومة الصلابة العالية والتآكل للألواح المغلفة TAC من تحمل عمليات الطاقة عالية الطاقة مثل حفر البلازما ، كلوحات قناع الحفر ، وحماية الفيلم الأساسي.

●  لوحة تلميع CMP: إن مقاومة التآكل ومعامل الاحتكاك المنخفض للألواح المطلية TAC تجعلها مواد مثالية لمنصات تلميع CMP ، والتي يمكن أن تزيل الجسيمات والعيوب على سطح الفيلم بشكل فعال.

●  أنبوب فرن درجة حرارة عالية: تتيح مقاومة درجة الحرارة العالية ومقاومة التآكل للألواح المغلفة TAC استخدامها كأنابيب للفرن في أفران درجات الحرارة العالية لارتفاع درجات الحرارة ، والانتشار وغيرها من العمليات.

CVD TAC Coating Technical المعلمات：

Vetek Semiconductor TAC Coating Prapp Products Products：