CVD TAC طلاء بوتقة

يلعب Coating Coating Coating دورًا رئيسيًا في عمليات ترسب درجة الحرارة العالية مثل CVD و MBE ، وهو مكون مهم لمعالجة الرقاقة في تصنيع أشباه الموصلات. فيما بينها،طلاء TACيتمتع بمقاومة ممتازة لدرجة الحرارة عالية ، ومقاومة التآكل والاستقرار الكيميائي ، مما يضمن الدقة العالية والجودة العالية أثناء معالجة الرقاقة.

عادة ما يتكون طلاء CVD TAC من طلاء TAC والجرافيتالركيزة. من بينها ، TAC هي مادة سيراميك ذوبان عالية مع نقطة انصهار تصل إلى 3880 درجة مئوية. لديها صلابة عالية للغاية (صلابة فيكرز تصل إلى 2000 HV) ، ومقاومة التآكل الكيميائي ومقاومة الأكسدة القوية. لذلك ، طلاء TAC هو مادة مقاومة للدرجات عالية عالية في درجة الحرارة في تقنية معالجة أشباه الموصلات.

تتمتع الركيزة الجرافيت بالتوصيل الحراري الجيد (الموصلية الحرارية حوالي 21 واط/م · ك) والاستقرار الميكانيكي الممتاز. تحدد هذه الخاصية أن الجرافيت يصبح طلاءًا مثاليًاالركيزة.

يستخدم CVD TAC Coating Cruitible بشكل أساسي في تقنيات معالجة أشباه الموصلات التالية:

تصنيع الويفر: crucible CVD TAC Coating Coating CVD VETEK لها مقاومة ممتازة عالية في درجة الحرارة (نقطة انصهار تصل إلى 3880 درجة مئوية) ومقاومة التآكل ، لذلك غالبًا ما يتم استخدامه في عمليات تصنيع الويفر الرئيسية مثل ترسب بخار درجة الحرارة المرتفعة (CVD) والنمو المحوري. بالاقتران مع الاستقرار الهيكلي الممتاز للمنتج في بيئات درجات الحرارة العالية للغاية ، فإنه يضمن أن المعدات يمكن أن تعمل بشكل ثابت لفترة طويلة في ظل ظروف قاسية للغاية ، وبالتالي تحسين كفاءة الإنتاج وجودة الرقائق بشكل فعال.

عملية النمو الفوقي: في العمليات الفوقية مثلترسيب البخار الكيميائي (CVD)و epitaxy الشعاع الجزيئي (MBE) ، يلعب CVD TAC Coating Crucible دورًا رئيسيًا في الحمل. لا يمكن أن يحافظ طلاء TAC الخاص به على ارتفاع نقاء المادة في ظل درجة الحرارة القصوى والجو المتهور ، ولكن أيضًا يمنع بشكل فعال تلوث المواد المتفاعلة على المادة وتآكل المفاعل ، مما يضمن دقة عملية الإنتاج واتساق المنتج.

بصفته الشركة الرائدة في CVD TAC Coating CritaBrant Cruitible ، يمكن أن توفر أشباه الموصلات Vetek منتجات مخصصة وخدمات فنية وفقًا للمعدات والمتطلبات الخاصة بك. نأمل مخلصين أن نصبح شريكك على المدى الطويل في الصين.

طلاء كربيد tantalum (TAC) على مقطع عرضي مجهري：

الخصائص الفيزيائية لطلاء TAC：

انها أشباه الموصلات CVD TAC Coating Crucible Shops ：